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    基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器制造技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):44531024 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-03-07 13:20
    本發(fā)明專利技術(shù)公開(kāi)了一種基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,該四模模分復(fù)用分解復(fù)用器包括四模復(fù)用器和四模解復(fù)用器,四模復(fù)用器和四模解復(fù)用器通過(guò)四模總線波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)四個(gè)傳導(dǎo)模式的復(fù)用,四模復(fù)用器和四模解復(fù)用器互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu),均由雙模Y型波導(dǎo)、四模Y型波導(dǎo)、2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI和2×2多模輸入一般干涉型MMI基本單元組成。本發(fā)明專利技術(shù)通過(guò)在Y型波導(dǎo)和MMI多模耦合器中對(duì)模式相位控制實(shí)現(xiàn)四個(gè)模式復(fù)用和解復(fù)用,四模模分復(fù)用器和解復(fù)用器具有低損耗、大帶寬、尺寸小和制造容差大特點(diǎn)。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)屬于多模硅基光子學(xué)多模模分復(fù)用/解復(fù)用,具體涉及一種基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器。


    技術(shù)介紹

    1、相比于傳統(tǒng)的銅線電互聯(lián),基于soi(silicon-on-insulator,絕緣體上si)的片上光互連在數(shù)據(jù)傳輸上有巨大的潛在優(yōu)勢(shì)。目前,有以下幾種復(fù)用技術(shù)用于開(kāi)發(fā)光子學(xué)通信的數(shù)據(jù)容量:wdm(wave-division?multiplexing,波分復(fù)用)技術(shù)和pdm(polarizationdivision?multiplexing,極分復(fù)用)技術(shù)。作為一種互補(bǔ),mdm(mode-divisionmultiplexing,模分復(fù)用)技術(shù)為片上光互連復(fù)用提供了另一個(gè)維度以進(jìn)一步提高片上光學(xué)通信的數(shù)據(jù)容量。模分復(fù)用器件是mdm系統(tǒng)的核心器件,用來(lái)激發(fā)、復(fù)用和解復(fù)用各階傳導(dǎo)模式。一個(gè)理想的模分復(fù)用器件應(yīng)該滿足低串?dāng)_、低插入損耗、較大的光學(xué)帶寬、制造容差和尺寸小?,F(xiàn)在已經(jīng)提出了多種模分復(fù)用器件,包括:非對(duì)稱定向耦合器、絕熱耦合器、非對(duì)稱y分支、級(jí)聯(lián)非對(duì)稱y分支和mmi(multimode?interference?coupler,多模干涉耦合器等。

    2、但是,這些器件并沒(méi)有完全滿足理想的模分復(fù)用器件的要求。非對(duì)稱定向耦合器雖然帶寬很大,但是其制造容差很小,需要精準(zhǔn)控制耦合長(zhǎng)度以及波導(dǎo)的寬度,并且對(duì)于更多模式難以擴(kuò)展;絕熱耦合器、非對(duì)稱y分支、級(jí)聯(lián)非對(duì)稱y分支的尺寸很大,不利于高密度集成;單純利用mmi的模分復(fù)用器,雖然帶寬較大,尺寸較小,但是受制于級(jí)聯(lián)的相移器,其制造容差受到一定限制。>

    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題,本專利技術(shù)提供了一種基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器。本專利技術(shù)要解決的技術(shù)問(wèn)題通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):

    2、第一方面,本專利技術(shù)實(shí)施例提供了一種基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,所述四模模分復(fù)用分解復(fù)用器包括四模復(fù)用器和四模解復(fù)用器,所述四模復(fù)用器和所述四模解復(fù)用器通過(guò)四??偩€波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)四個(gè)傳導(dǎo)模式的復(fù)用,所述四模復(fù)用器和所述四模解復(fù)用器互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu);所述四模復(fù)用器包括:

    3、第一單模輸入波導(dǎo)~第四單模輸入波導(dǎo),用于分別接收入射光的功率,以分別在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)基模、二階模、一階模和三階模;

    4、第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi,用于根據(jù)所述入射光的功率分別產(chǎn)生第四單模輸入波導(dǎo)的二階像和第三單模輸入波導(dǎo)的二階像;

    5、第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi,用于根據(jù)所述入射光的功率分別產(chǎn)生第二單模輸入波導(dǎo)的二階像和第一單模輸入波導(dǎo)的二階像;

    6、第一雙模y型波導(dǎo),用于將所述第四單模輸入波導(dǎo)的二階像和所述第三單模輸入波導(dǎo)的二階像分別進(jìn)行π/2相位延遲后,再進(jìn)行光功率合成;

    7、第二雙模y型波導(dǎo),用于將所述第二單模輸入波導(dǎo)的二階像和所述第一單模輸入波導(dǎo)的二階像分別進(jìn)行π/2相位延遲后,再進(jìn)行光功率合成;

    8、2×2多模輸入一般干涉型mmi,用于根據(jù)所述第一雙模y型波導(dǎo)的光功率合成結(jié)果、所述第二雙模y型波導(dǎo)的光功率合成結(jié)果,分別產(chǎn)生所述第一雙模y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)的二階像和所述第二雙模y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)的二階像;

    9、第三雙模y型波導(dǎo),用于將所述2×2多模輸入一般干涉型mmi上輸出端輸出的二階像分解為基模,對(duì)該基模進(jìn)行等路徑等相位控制,并對(duì)所述2×2多模輸入一般干涉型mmi下輸出端輸出的二階像進(jìn)行π/2相位延遲控制;

    10、第四雙模y型波導(dǎo),用于將經(jīng)所述第三雙模y型波導(dǎo)相位控制后的基模進(jìn)行光功率合成;

    11、第五雙模y型波導(dǎo),用于將所述2×2多模輸入一般干涉型mmi下輸出端輸出的二階像分解為基模,對(duì)該基模進(jìn)行等路徑等相位控制,并對(duì)所述2×2多模輸入一般干涉型mmi上輸出端輸出的二階像進(jìn)行π/2相位延遲控制;

    12、第六雙模y型波導(dǎo),用于將經(jīng)所述第五雙模y型波導(dǎo)相位延遲后的基模進(jìn)行光功率合成;

    13、四模y型波導(dǎo),用于將經(jīng)所述第六雙模y型波導(dǎo)的光功率合成結(jié)果、經(jīng)所述第四雙模y型波導(dǎo)的光功率合成結(jié)果繼續(xù)進(jìn)行光功率合成并將該光功率合成結(jié)果輸入四模總線波導(dǎo),以實(shí)現(xiàn)同時(shí)傳輸所述基模、所述一階模、所述二階模和所述三階模。

    14、在本專利技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例中,將所述第一單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后等相,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像并移相后等相,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)基模;將所述第二單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相差π,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像并移相后等相,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)二階模;將所述第三單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后等相,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相位差π,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)一階模;將所述第四單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相位差π,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相位差π,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)三階模。

    15、在本專利技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例中,所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi的輸入/輸出端的端口均設(shè)計(jì)有漸變波導(dǎo),通過(guò)改變?cè)摑u變波導(dǎo)長(zhǎng)度,實(shí)現(xiàn)各端口π/2的相位差。

    16、在本專利技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例中,所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi的輸入/輸出端的端口位于±we1/6處,we1為所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi考慮了goos-hahnchen位移后的有效寬度;

    17、所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi的長(zhǎng)度為lπ1/2,lπ1為所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi中基模和一階模的拍長(zhǎng)。

    18、在本專利技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例中,所述2×2多模輸入一般干涉型mmi的輸入/輸出端設(shè)計(jì)有漸變波導(dǎo),該漸變波導(dǎo)與所述2×2多模輸入一般干涉型mmi的主波導(dǎo)的邊沿對(duì)齊。

    19、在本專利技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例中,所述2×2多模輸入一般干涉型mmi的長(zhǎng)度為3lπ2,lπ2為所述2×2多模輸入一般干涉型mmi中基模和一階模的拍長(zhǎng)。

    20、在本專利技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例中,所述第一雙模y型波導(dǎo)~第六雙模y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)支持基模、一階模兩個(gè)傳導(dǎo)模式,所述第一雙模y型波導(dǎo)~第六雙模y型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)支持基模一個(gè)傳導(dǎo)模式;所述第三雙模y型波導(dǎo)和所述第四雙模y型波導(dǎo)互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu),所述第五雙模y型波導(dǎo)和所述第六雙模y型波導(dǎo)互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu);所述第三雙模y型波導(dǎo)和所述第四雙模y型波導(dǎo)組成的上分支與所述第五雙模y型波導(dǎo)和所述第六雙模y型波導(dǎo)組成的下分支構(gòu)成π/2的相位本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述四模模分復(fù)用分解復(fù)用器包括四模復(fù)用器和四模解復(fù)用器,所述四模復(fù)用器和所述四模解復(fù)用器通過(guò)四??偩€波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)四個(gè)傳導(dǎo)模式的復(fù)用,所述四模復(fù)用器和所述四模解復(fù)用器互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu);所述四模復(fù)用器包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,將所述第一單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI產(chǎn)生的二階像移相后等相,在所述2×2多模輸入一般干涉型MMI產(chǎn)生的二階像并移相后等相,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)基模;將所述第二單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI產(chǎn)生的二階像移相后相差Π,在所述2×2多模輸入一般干涉型MMI產(chǎn)生的二階像并移相后等相,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)二階模;將所述第三單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI產(chǎn)生的二階像移相后等相,在所述2×2多模輸入一般干涉型MMI產(chǎn)生的二階像移相后相位差Π,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)一階模;將所述第四單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI產(chǎn)生的二階像移相后相位差Π,在所述2×2多模輸入一般干涉型MMI產(chǎn)生的二階像移相后相位差Π,以在四模總線波導(dǎo)中激發(fā)三階模。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI的輸入/輸出端的端口均設(shè)計(jì)有漸變波導(dǎo),通過(guò)改變?cè)摑u變波導(dǎo)長(zhǎng)度,實(shí)現(xiàn)各端口π/2的相位差。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI的輸入/輸出端的端口位于±We1/6處,We1為所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI考慮了Goos-Hahnchen位移后的有效寬度;

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述2×2多模輸入一般干涉型MMI的輸入/輸出端設(shè)計(jì)有漸變波導(dǎo),該漸變波導(dǎo)與所述2×2多模輸入一般干涉型MMI的主波導(dǎo)的邊沿對(duì)齊。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述2×2多模輸入一般干涉型MMI的長(zhǎng)度為3Lπ2,Lπ2為所述2×2多模輸入一般干涉型MMI中基模和一階模的拍長(zhǎng)。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述第一雙模Y型波導(dǎo)~第六雙模Y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)支持基模、一階模兩個(gè)傳導(dǎo)模式,所述第一雙模Y型波導(dǎo)~第六雙模Y型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)支持基模一個(gè)傳導(dǎo)模式;所述第三雙模Y型波導(dǎo)和所述第四雙模Y型波導(dǎo)互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu),所述第五雙模Y型波導(dǎo)和所述第六雙模Y型波導(dǎo)互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu);所述第三雙模Y型波導(dǎo)和所述第四雙模Y型波導(dǎo)組成的上分支與所述第五雙模Y型波導(dǎo)和所述第六雙模Y型波導(dǎo)組成的下分支構(gòu)成π/2的相位差。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述四模Y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)的寬度與所述四模總線波導(dǎo)的寬度相同,且所述四模Y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)支持基模、一階模、二階模和三階模四個(gè)傳導(dǎo)模式;所述四模Y型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)的寬度與所述第一雙模Y型波導(dǎo)~第六雙模Y型波導(dǎo)的主波導(dǎo)的寬度均相同,且所述四模Y型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)支持基模和一階模兩個(gè)傳導(dǎo)模式。

    9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述第一單模輸入波導(dǎo)~所述第四單模輸入波導(dǎo)、所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型MMI、所述第一雙模Y型波導(dǎo)~所述第六雙模Y型波導(dǎo)、所述2×2多模輸入一般干涉型MMI、所述四模Y型波導(dǎo)的橫截面均為矩形。

    10.一種模式干涉幅度均衡器,其特征在于,所述模式干涉幅度均衡器包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的基于Y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述四模模分復(fù)用分解復(fù)用器包括四模復(fù)用器和四模解復(fù)用器,所述四模復(fù)用器和所述四模解復(fù)用器通過(guò)四??偩€波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)四個(gè)傳導(dǎo)模式的復(fù)用,所述四模復(fù)用器和所述四模解復(fù)用器互為鏡像對(duì)稱結(jié)構(gòu);所述四模復(fù)用器包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,將所述第一單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后等相,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像并移相后等相,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)基模;將所述第二單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相差π,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像并移相后等相,以在四模總線波導(dǎo)中激發(fā)二階模;將所述第三單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后等相,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相位差π,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)一階模;將所述第四單模輸入波導(dǎo)作為輸入端,則在所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相位差π,在所述2×2多模輸入一般干涉型mmi產(chǎn)生的二階像移相后相位差π,以在四??偩€波導(dǎo)中激發(fā)三階模。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi的輸入/輸出端的端口均設(shè)計(jì)有漸變波導(dǎo),通過(guò)改變?cè)摑u變波導(dǎo)長(zhǎng)度,實(shí)現(xiàn)各端口π/2的相位差。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于y分支和多模干涉耦合器的四模模分復(fù)用分解復(fù)用器,其特征在于,所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi的輸入/輸出端的端口位于±we1/6處,we1為所述第一2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi、所述第二2×2單模輸入配對(duì)干涉型mmi考慮了goos-hahnchen位移后的有效寬度;

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:李亞明韓寶彬,張博閆勝虎,宋瑞良劉軍,張海鵬,姚明旿
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:西安電子科技大學(xué),
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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