【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及碳化硅材料制造設備傳輸，特別地涉及一種管道對接裝置及連續碳化硅材料制造系統。
技術介紹
1、碳化硅是一種具有代表性的陶瓷材料，由于其優異的物理、化學和電學性能，因此在整個工業領域得到廣泛應用。
2、近年來，隨著使用碳化硅材料的半導體加工部件的開發積極進展，碳化硅材料的重要性日益增加。特別地，碳化硅材料由于其高等離子體耐受性而被廣泛用作半導體工藝部件中用于蝕刻工藝的部件。用于半導體蝕刻工藝零件的碳化硅材料是制造碳化硅的傳統方法。由于用這種方法不能滿足質量和性能，因此現有技術中，常常采用化學氣相沉積法制造。
3、在化學氣相沉積碳化硅的過程中，采用含si氣體如sih4、sicl2、sicl4和含c氣體如c2h2、ch4、c3h8等的混合物作為原料氣體，或采用ch3sicl3、ch3sih3，(ch3)3sih)等單一氣體作為原材料，進行沉積。現有技術中，目前采用人工的方式將用于注入原料氣體的管道與現有設備相應的管道進行對接，效率低下，且氣密性差。
技術實現思路
1、為了解決或至少部分地解決上述技術問題，本專利技術提供了一種管道對接裝置及連續碳化硅材料制造系統。
2、本專利技術提供了一種管道對接裝置，該管道對接裝置包括反應箱、罩殼、氣體模塊；反應箱設于位移軌道上，且能夠沿位移軌道的長度方向移動；反應箱包括出氣通道和多個進氣通道，出氣通道和多個進氣通道分別設于反應箱的兩側；罩殼設于位移軌道的上方，且與位移軌道之間形成處理腔室；氣體模塊包括供氣
3、可選地，驅動組件包括第一液壓缸，第一液壓缸的伸縮端與供氣管連接，第一液壓缸用于驅動供氣管移動。
4、可選地，供氣管包括供氣子管，供氣子管的一端具有第一螺紋；進氣通道具有與第一螺紋相適配的第二螺紋；供氣子管與進氣通道通過螺紋連接的方式實現了二者的可拆卸連接。
5、可選地，所述驅動組件還包括底座、電機、電動推桿、多個轉輪、傳動皮帶，底座滑動連接于罩殼的側板；電機設于底座上；電動推桿設于底座與罩殼之間；一轉輪設于電機的驅動軸上，其余轉輪分別設于多根供氣子管上；傳動皮帶套設于多個轉輪上，且傳動皮帶的帶齒與轉輪的輪齒相嚙合。
6、可選地，供氣子管上具有兩個限位片，兩個限位片之間形成限位夾層。
7、可選地，驅動組件還包括卡接板，卡接板設于第一液壓缸的伸縮端，卡接板上具有多個弧形缺口；當卡接板位于限位夾層內時，供氣子管的一部分位于弧形缺口內。
8、可選地，驅動組件包括第二液壓缸，第二液壓缸的伸縮端與排氣管連接，第二液壓缸用于驅動排氣管移動。
9、可選地，排氣管包括排氣子管，排氣子管的一端具有第一螺紋；出氣通道內具有與第一螺紋相適配的第二螺紋；排氣子管與出氣通道通過螺紋連接的方式實現了二者的可拆卸連接。
10、可選地，驅動組件還包括底座、電機、電動推桿、多個轉輪、傳動皮帶，底座滑動連接于罩殼的側板；電機設于底座上；電動推桿設于底座與罩殼之間；一轉輪設于電機的驅動軸上，另一轉輪設于排氣子管上；傳動皮帶套設于多個轉輪上，且傳動皮帶的帶齒與轉輪的輪齒相嚙合。
11、可選地，驅動組件還包括固定板、彈簧，固定板設于側板上，彈簧設于電機與固定板之間。
12、可選地，排氣子管上具有兩個限位片，兩個限位片之間形成限位夾層；
13、可選地，驅動組件還包括卡接板，卡接板設于第二液壓缸的伸縮端，卡接板上具有弧形缺口；當卡接板位于限位夾層內時，排氣子管的一部分位于弧形缺口內。
14、本專利技術還提供了一種連續碳化硅材料制造系統，包括至少三個如上任一項所述的管道對接裝置，所述至少三個管道對接裝置沿所述位移軌道的長度方向依次設置。
15、相比于現有技術而言，在本實施例中，通過采用一組驅動組件驅動供氣組件的供氣管與進氣通道實現了自動化的可拆卸連接，且將供氣管與進氣通道的連接方式為螺紋連接，這樣的設置進一步提高了供氣管與進氣通道的氣密性。同時，通過采用另一組驅動組件驅動排氣組件的排氣管與出氣通道實現了自動化的可拆卸連接，且將排氣管與出氣通道的連接方式為螺紋連接，這樣的設置進一步提高了排氣管與出氣通道的氣密性。本實施例公開的管道對接裝置提高了管道對接的效率、節約了人力，提高了安全性。
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1.一種管道對接裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件包括：
3.根據權利要求2所述的管道對接裝置，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括：
5.根據權利要求4所述的管道對接裝置，其特征在于，所述供氣子管上具有兩個限位片，兩個限位片之間形成限位夾層；所述驅動組件還包括：
6.根據權利要求1所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件包括：
7.根據權利要求6所述的管道對接裝置，其特征在于，
8.根據權利要求7所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括：
9.根據權利要求4或8所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括：
10.根據權利要求8所述的管道對接裝置，其特征在于，
11.一種連續碳化硅材料制造系統，其特征在于，包括：
【技術特征摘要】
1.一種管道對接裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件包括：
3.根據權利要求2所述的管道對接裝置，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的管道對接裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括：
5.根據權利要求4所述的管道對接裝置，其特征在于，所述供氣子管上具有兩個限位片，兩個限位片之間形成限位夾層；所述驅動組件還包括：
6.根...
【專利技術屬性】
技術研發人員：樸鐘熏，崔海珍，金錫津，
申請(專利權)人：蘇州精材半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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