【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及真空設(shè)備，更具體地，涉及一種縫閥。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，常常需要工藝腔室保持真空狀態(tài)，目前常用的縫閥(slitvalve)如圖1所示，閥體200與法蘭100采用螺栓固定連接，再通過螺栓穿過法蘭100將縫閥與真空腔室700固定連接，安裝后閥板300位于真空腔室內(nèi)，閥體以及閥板操控部位于真空腔室外。
2、為保證真空腔室的真空度，各連接部位需要密封連接。因此在閥體200與法蘭100之間通常都安裝有o型圈(o?ring)，法蘭100與真空腔室連接處也設(shè)置有o型圈，從而實(shí)現(xiàn)閥體200與法蘭100、法蘭100與真空腔室之間的真空密封。為實(shí)現(xiàn)上述要求，法蘭100需比閥體200及閥板尺寸大。
3、但半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)真空性能及整體占地有較高的要求，真空腔室為了與相鄰的一個(gè)或多個(gè)工藝腔室連接，可能具有多個(gè)縫閥，由于法蘭100的尺寸大，半導(dǎo)體工藝設(shè)備中為了可正常使用，不同的縫閥不能有干涉，不同工藝腔體無干涉，則需加大真空腔室的尺寸，從而增大了達(dá)到真空指標(biāo)和平臺(tái)腔室設(shè)計(jì)的難度，加大了半導(dǎo)體工藝設(shè)備的整體占地面積，因此縮小縫閥的占用空間十分重要。
4、并且在閥組裝完成后，閥板裝入真空腔室內(nèi)。由于閥板在真空腔室內(nèi)部，如果閥板損傷及密封有問題時(shí)，無法直觀發(fā)現(xiàn)，第一時(shí)間判斷。需要整體拆除縫閥來解決，半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)較為緊湊，整體拆除閥比較費(fèi)時(shí)費(fèi)力。因此，在不影響真空性能的情況下，看見閥板在腔體內(nèi)部的狀態(tài)及閥板易拆除替換十分重要。
5、針對(duì)目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備中常用的縫閥，法蘭尺寸較大所造成的設(shè)備空間
6、因此，亟需研究能夠減小縫閥的安裝空間，進(jìn)而減小半導(dǎo)體工藝設(shè)備尺寸的方法。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、【技術(shù)問題】
2、為了解決如上所述的問題，本專利技術(shù)的目的在于，提供一種縫閥，取消常規(guī)技術(shù)上的法蘭連接，采用閥體直接安裝在真空腔室的方法，可以減少設(shè)備占用空間，節(jié)省材料以及安裝成本。
3、【技術(shù)方案】
4、本專利技術(shù)為了實(shí)現(xiàn)如上所述的目的，提供一種縫閥，包括：
5、閥體，固定連接在真空腔室的外壁上；
6、閥板，位于真空腔室內(nèi)，通過閥板連接桿與真空腔室外的閥板操控部連接；
7、第一密封圈，設(shè)置在所述閥板連接桿外周的閥體與真空腔室接合處；
8、波紋管，設(shè)置在所述閥板連接桿外周，其一端與閥板連接桿固定連接，另一端與所述第一密封圈接觸。
9、可選的，所述閥體嵌入安裝在真空腔室外壁的凹槽內(nèi)。
10、可選的，在閥體與真空腔室的外壁的接合面處圍繞所述閥板連接桿設(shè)置有第一密封圈安裝槽，所述第一密封圈安裝在所述第一密封圈安裝槽內(nèi)。
11、可選的，在所述真空腔室的外壁上設(shè)置有階梯型槽，所述階梯型槽包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽內(nèi)，在所述閥體的外周延伸出安裝板，通過螺栓將所述安裝板安裝在所述第一凹槽上；從所述安裝板的板面沿閥體的軸向延伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)嵌入在所述第二凹槽內(nèi)。
12、可選的，所述第一密封圈安裝槽設(shè)置在所述第二凹槽上。
13、可選的，在所述閥體的中心設(shè)置有第一閥板連接桿通過孔，在真空腔室的外壁上設(shè)置有第二閥板連接桿通過孔，所述第一閥板連接桿通過孔與第二閥板連接桿通過孔同軸，所述閥板連接桿的一端穿過第一閥板連接桿通過孔、第二閥板連接桿通過孔進(jìn)入到真空腔室內(nèi)與閥板固定連接。
14、可選的，所述波紋管與所述閥板連接桿采用焊接連接。
15、可選的，在所述真空腔室的上端開設(shè)有觀察孔，所述觀察孔設(shè)置有蓋板，并且所述蓋板與所述觀察孔之間采用第二密封圈密封。
16、可選的，所述第一和第二密封圈是o型密封圈。
17、可選的，所述蓋板是透明材質(zhì)。
18、【有益效果】
19、如上所述，本專利技術(shù)提供一種縫閥，不僅適用于pvd工藝設(shè)備，也適用于半導(dǎo)體設(shè)備其他真空腔室，并且不局限于半導(dǎo)體設(shè)備中，本申請(qǐng)具有以下有益效果：
20、(1)本申請(qǐng)由于省略了法蘭與閥體的連接，將閥體直接安裝到真空腔室上，可以減小真空腔室的尺寸，并進(jìn)一步減小整個(gè)工藝設(shè)備的尺寸。
21、(2)本申請(qǐng)將閥體直接安裝在真空腔室上，可以節(jié)約法蘭以及法蘭與閥體之間密封圈的材料及安裝成本。
22、(3)本申請(qǐng)將閥體嵌入安裝在真空腔室的外壁上，可以進(jìn)一步減少縫閥的占用空間，并且減少與其他機(jī)構(gòu)碰撞的風(fēng)險(xiǎn)。
23、(4)本申請(qǐng)利用波紋管的彈性可以時(shí)刻與第一密封圈保持?jǐn)D壓狀態(tài)，保證縫閥的密封性。
24、(5)本申請(qǐng)通過觀察孔可以看見閥板在真空腔室內(nèi)的狀態(tài)，方便判斷閥板是否損傷及易更換。
25、(6)本申請(qǐng)?jiān)谏w板與觀察孔之間設(shè)置有第二密封圈，能夠保證真空腔室的密封性。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種縫閥，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，所述閥體嵌入安裝在真空腔室外壁的凹槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，在閥體與真空腔室的外壁的接合面處圍繞所述閥板連接桿設(shè)置有第一密封圈安裝槽，所述第一密封圈安裝在所述第一密封圈安裝槽內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的縫閥，其特征在于，在所述真空腔室的外壁上設(shè)置有階梯型槽，所述階梯型槽包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽內(nèi)，在所述閥體的外周延伸出安裝板，通過螺栓將所述安裝板安裝在所述第一凹槽上；從所述安裝板的板面沿閥體的軸向延伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)嵌入在所述第二凹槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的縫閥，其特征在于，所述第一密封圈安裝槽設(shè)置在所述第二凹槽上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，在所述閥體的中心設(shè)置有第一閥板連接桿通過孔，在真空腔室的外壁上設(shè)置有第二閥板連接桿通過孔，所述第一閥板連接桿通過孔與第二閥板連接桿通過孔同軸，所述閥板連接桿的一端穿過第一閥板連接桿通過孔、第二閥板連接桿通過孔進(jìn)入到真空腔室內(nèi)與閥板固定連
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，所述波紋管與所述閥板連接桿采用焊接連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，在所述真空腔室的上端開設(shè)有觀察孔，所述觀察孔設(shè)置有蓋板，并且所述蓋板與所述觀察孔之間采用第二密封圈密封。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的縫閥，其特征在于，所述第一和第二密封圈是O型密封圈。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的縫閥，其特征在于，所述蓋板是透明材質(zhì)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種縫閥，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，所述閥體嵌入安裝在真空腔室外壁的凹槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的縫閥，其特征在于，在閥體與真空腔室的外壁的接合面處圍繞所述閥板連接桿設(shè)置有第一密封圈安裝槽，所述第一密封圈安裝在所述第一密封圈安裝槽內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的縫閥，其特征在于，在所述真空腔室的外壁上設(shè)置有階梯型槽，所述階梯型槽包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽內(nèi)，在所述閥體的外周延伸出安裝板，通過螺栓將所述安裝板安裝在所述第一凹槽上；從所述安裝板的板面沿閥體的軸向延伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)嵌入在所述第二凹槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的縫閥，其特征在于，所述第一密封圈安裝槽設(shè)置在所述第二凹槽上。
<...【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李曉雅，金秀憲，樸海允，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：盛吉盛半導(dǎo)體技術(shù)上海有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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