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    一種多探頭測量裝置及其測量方法制造方法及圖紙

    技術編號:44435721 閱讀:3 留言:0更新日期:2025-02-28 18:46
    本發明專利技術提供了一種多探頭測量裝置及其測量方法,其中多探頭測量裝置包括:多種類型的探頭,每種類型的探頭均包括4個探針;多個測量電路,每個所述測量電路連接一種類型的探頭;所述測量電路利用相應的所述探針來對測量對象進行測量,所述測量電路經配置以:選擇兩個所述探針作為電流載運引腳注入電流,另外兩個所述探針作為電壓計量引腳測量電壓;處理模塊,根據所述電流和所述電壓計算出所述測量對象的參數。本發明專利技術根據測量對象的不同,選擇適合類型的探頭和測量電路,得到測量對象的參數,提高了測量裝置的通用性,提高測量速度。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及半導體檢測,具體涉及一種多探頭測量裝置及其測量方法


    技術介紹

    1、四探針測量儀是測量半導體材料電阻率以及方塊電阻的專用儀器,用于測量棒狀、塊狀半導體材料(包括厚片和薄片)的電阻率以及硅片上的擴散層、離子注入層、反新外延層的方塊電阻。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好,測量范圍廣,結構緊湊的特點,并且測量結果由數字直接顯示,使用方便。

    2、但是由于不同測量對象表面性質不同,需要匹配不同類型的探頭,如襯底測量專用探頭,用于測量金屬的探頭,用于高阻抗表面(如低注入劑量、淺結、摻雜多晶硅)的探頭,以及用于離子注入、摻雜多晶硅、硅化物、外延和擴散的通用探頭等。

    3、由于1個四探針測量儀在使用時只搭配一種類型的探頭,在測量不同測量對象時需要更換不同的四探針測量儀或者更換探頭,影響工作效率。

    4、因此,如果提高測量儀的通用性,提高測量儀的工作效率,是本領域技術人員關注的焦點。


    技術實現思路

    1、本專利技術的目的是提出一種多探頭測量裝置及其測量方法,能夠提高測量裝置的通用性,提高測量效率。

    2、為了實現上述目的,本專利技術提供了一種多探頭測量裝置,包括:

    3、多種類型的探頭,每種類型的探頭均包括4個探針;

    4、多個測量電路,每個所述測量電路連接一種類型的探頭;

    5、所述測量電路利用相應的所述探針來對測量對象進行測量,所述測量電路經配置以:

    6、選擇兩個所述探針作為電流載運引腳注入電流,另外兩個所述探針作為電壓計量引腳測量電壓;

    7、處理模塊,根據所述電流和所述電壓計算出所述測量對象的參數。

    8、可選方案中,每種類型的所述探頭的所述4個探針排列為一條直線。

    9、可選方案中,所述探頭的相鄰的所述探針之間的間距相同。

    10、可選方案中,所述測量對象的類型包括:襯底片、外延片、金屬片、擴散片、離子注入片或吸雜片;所述多種類型的探頭分別用于測量不同類型的所述測量對象。

    11、本專利技術還提供了一種多探頭測量裝置的測量方法,基于上述的多探頭測量裝置,所述方法包括:

    12、根據測量對象的類型,選擇出相應類型的探頭;

    13、基于選擇出來的所述探頭,建立所述探頭的探針與測量對象之間的電接觸;

    14、選擇兩個探針作為電流載運引腳注入電流,另外兩個探針作為電壓計量引腳測量電壓;

    15、通過處理模塊獲得所述測量對象的參數。

    16、本專利技術還提供了另一種多探頭測量裝置,包括:

    17、多種類型的探頭,每種類型的探頭包括至少5個探針;

    18、多個測量電路,每個所述測量電路連接一種類型的所述探頭;

    19、所述測量電路利用相應的所述探針來對測量對象進行測量,所述測量電路經配置以:

    20、選擇兩個所述探針作為電流載運引腳注入電流,選擇剩余多個所述探針同時作為電壓計量引腳同時測量多個電壓;

    21、處理模塊,基于所述多個電壓獲得電壓分布曲線,根據所述電流和所述電壓分布曲線計算出所述測量對象的參數。

    22、可選方案中,每種類型的所述探頭的所述探針排列為一條直線。

    23、可選方案中,所述探頭的相鄰的所述探針之間的間距相同或者不同。

    24、可選方案中,所有的所述探頭的探針排列為一條直線或者多條平行的直線或或呈“米”字型排列。

    25、本專利技術還提供了另一種多探頭測量裝置的測量方法,基于上述的多探頭測量裝置,所述方法包括:

    26、根據測量對象的類型,選擇出相應類型的探頭;

    27、基于選擇出來的所述探頭,建立所述探頭的探針與測量對象之間的電接觸;

    28、選擇兩個探針作為電流載運引腳注入電流,選擇剩余多個探針同時作為電壓計量引腳同時測量多個電壓;

    29、通過處理模塊獲得所述測量對象的參數。

    30、本專利技術的有益效果在于:

    31、本專利技術將多種類型的探頭集成在一個測量裝置中,根據測量對象的不同,選擇適合類型的探頭和測量電路,得到測量對象的參數,提高了測量裝置的通用性,提高測量效率;

    32、進一步地,探頭的探針可以是4個,經過多次測量,利用常規的方式得到測量對象的參數。探頭的探針可以是5個以上,這樣可同時獲得多個電壓,提高測量準確性,并能夠節省測量時間。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種多探頭測量裝置,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的多探頭測量裝置,其特征在于,每種類型的所述探頭的所述4個探針排列為一條直線。

    3.如權利要求2所述的多探頭測量裝置,其特征在于,所述探頭的相鄰的所述探針之間的間距相同。

    4.如權利要求1所述的多探頭測量裝置,其特征在于,所述測量對象的類型包括:襯底片、外延片、金屬片、擴散片、離子注入片或吸雜片;所述多種類型的探頭分別用于測量不同類型的所述測量對象。

    5.一種多探頭測量裝置,其特征在于,包括:

    6.如權利要求5所述的多探頭測量裝置,其特征在于,每種類型的所述探頭的所述探針排列為一條直線。

    7.如權利要求6所述的多探頭測量裝置,其特征在于,所述探頭的相鄰的所述探針之間的間距相同或者不同。

    8.如權利要求6所述的多探頭測量裝置,其特征在于,所有的所述探頭的探針排列為一條直線或者多條平行的直線或或呈“米”字型排列。

    9.一種多探頭測量裝置的測量方法,其特征在于,基于權利要求1至4任一項所述的多探頭測量裝置,所述方法包括:

    10.一種多探頭測量裝置的測量方法,其特征在于,基于權利要求5至8任一項所述的多探頭測量裝置,所述方法包括:

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種多探頭測量裝置,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的多探頭測量裝置,其特征在于,每種類型的所述探頭的所述4個探針排列為一條直線。

    3.如權利要求2所述的多探頭測量裝置,其特征在于,所述探頭的相鄰的所述探針之間的間距相同。

    4.如權利要求1所述的多探頭測量裝置,其特征在于,所述測量對象的類型包括:襯底片、外延片、金屬片、擴散片、離子注入片或吸雜片;所述多種類型的探頭分別用于測量不同類型的所述測量對象。

    5.一種多探頭測量裝置,其特征在于,包括:

    6.如權利要求5所述的多探頭測量...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:施朱斌劉相華
    申請(專利權)人:麥嶠里上海半導體科技有限責任公司
    類型:發明
    國別省市:

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