一種取放料機構(gòu)制造技術(shù)

本技術(shù)公開了一種取放料機構(gòu)，包括機架、直線驅(qū)動件、滑臺、旋轉(zhuǎn)電機、轉(zhuǎn)動塊、滾輪、升降架、吸嘴及復(fù)位件，直線驅(qū)動件設(shè)于機架上，直線驅(qū)動件連接滑臺以驅(qū)使滑臺沿X軸方向往復(fù)移動，旋轉(zhuǎn)電機固設(shè)于滑臺上，旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接轉(zhuǎn)動塊，滾輪可轉(zhuǎn)動設(shè)于轉(zhuǎn)動塊上，滾輪的中心軸與旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸的中心軸不共軸，升降架可升降設(shè)于滑臺上，升降架的頂部抵觸滾輪，復(fù)位件連接滑臺與升降架，吸嘴設(shè)于升降架的底部。本取放料機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單新穎，通過控制旋轉(zhuǎn)電機的旋轉(zhuǎn)角度即可調(diào)整吸嘴處于低點位置時的高度，從而令取放料機構(gòu)能夠適應(yīng)于機臺上不同高度的接收晶粒的物體，提高了取放料機構(gòu)的使用靈活性。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種取放料機構(gòu)。

技術(shù)介紹

1、在固晶機等半導(dǎo)體加工生產(chǎn)設(shè)備中，需要使用取放料機構(gòu)從藍膜或其他部件上取下晶粒并將晶粒放置到接收晶粒的物體上，現(xiàn)有技術(shù)中，取放料機構(gòu)中普遍通過使用升降氣缸來驅(qū)使吸嘴升降，但升降氣缸的行程固定，導(dǎo)致吸嘴取放晶粒時，其高點位置和低點位置固定，這要求接收晶粒的物體在機臺上的高度是固定的，取放料機構(gòu)的使用靈活性偏低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是：提供一種使用靈活性高的取放料機構(gòu)。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)采用的技術(shù)方案為：一種取放料機構(gòu)，包括機架、直線驅(qū)動件、滑臺、旋轉(zhuǎn)電機、轉(zhuǎn)動塊、滾輪、升降架、吸嘴及復(fù)位件，所述直線驅(qū)動件設(shè)于所述機架上，所述直線驅(qū)動件連接所述滑臺以驅(qū)使所述滑臺沿x軸方向往復(fù)移動，所述旋轉(zhuǎn)電機固設(shè)于所述滑臺上，所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接所述轉(zhuǎn)動塊，所述滾輪可轉(zhuǎn)動設(shè)于所述轉(zhuǎn)動塊上，所述滾輪的中心軸與所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸的中心軸不共軸，所述升降架可升降設(shè)于所述滑臺上，所述升降架的頂部抵觸所述滾輪，所述復(fù)位件連接所述滑臺與所述升降架，所述吸嘴設(shè)于所述升降架的底部。

3、進一步地，所述復(fù)位件的數(shù)量為多個，所述升降架的兩側(cè)分別對應(yīng)設(shè)有所述復(fù)位件。

4、進一步地，所述復(fù)位件為拉簧。

5、進一步地，所述直線驅(qū)動件為氣缸、電動推桿、液壓桿或電機絲桿組件。

6、進一步地，所述滾輪為軸承，所述轉(zhuǎn)動塊上設(shè)有固定軸，所述固定軸偏離所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸設(shè)置，所述軸承套設(shè)在所述固定軸上，所述軸承的內(nèi)圈與所述固定軸固定連接，所述軸承的外圈的外壁面抵觸所述升降架的頂面。

7、進一步地，所述滾輪上套設(shè)有耐磨環(huán)，所述耐磨環(huán)的材質(zhì)為鐵氟龍。

8、進一步地，還包括導(dǎo)軌滑塊組件，所述導(dǎo)軌滑塊組件連接所述滑臺與所述升降架。

9、本技術(shù)的有益效果在于：本取放料機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單新穎，通過控制旋轉(zhuǎn)電機的旋轉(zhuǎn)角度即可調(diào)整吸嘴處于低點位置時的高度，從而令取放料機構(gòu)能夠適應(yīng)于機臺上不同高度的接收晶粒的物體，提高了取放料機構(gòu)的使用靈活性。

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【技術(shù)保護點】

1.一種取放料機構(gòu)，其特征在于，包括機架、直線驅(qū)動件、滑臺、旋轉(zhuǎn)電機、轉(zhuǎn)動塊、滾輪、升降架、吸嘴及復(fù)位件，所述直線驅(qū)動件設(shè)于所述機架上，所述直線驅(qū)動件連接所述滑臺以驅(qū)使所述滑臺沿X軸方向往復(fù)移動，所述旋轉(zhuǎn)電機固設(shè)于所述滑臺上，所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接所述轉(zhuǎn)動塊，所述滾輪可轉(zhuǎn)動設(shè)于所述轉(zhuǎn)動塊上，所述滾輪的中心軸與所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸的中心軸不共軸，所述升降架可升降設(shè)于所述滑臺上，所述升降架的頂部抵觸所述滾輪，所述復(fù)位件連接所述滑臺與所述升降架，所述吸嘴設(shè)于所述升降架的底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，所述復(fù)位件的數(shù)量為多個，所述升降架的兩側(cè)分別對應(yīng)設(shè)有所述復(fù)位件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，所述復(fù)位件為拉簧。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，所述直線驅(qū)動件為氣缸、電動推桿、液壓桿或電機絲桿組件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，所述滾輪為軸承，所述轉(zhuǎn)動塊上設(shè)有固定軸，所述固定軸偏離所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸設(shè)置，所述軸承套設(shè)在所述固定軸上，所述軸承的內(nèi)圈與所述固定軸固定連接，所述軸承的外圈的外壁面抵觸所述升降架的頂面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，所述滾輪上套設(shè)有耐磨環(huán)，所述耐磨環(huán)的材質(zhì)為鐵氟龍。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，還包括導(dǎo)軌滑塊組件，所述導(dǎo)軌滑塊組件連接所述滑臺與所述升降架。

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【技術(shù)特征摘要】

1.一種取放料機構(gòu)，其特征在于，包括機架、直線驅(qū)動件、滑臺、旋轉(zhuǎn)電機、轉(zhuǎn)動塊、滾輪、升降架、吸嘴及復(fù)位件，所述直線驅(qū)動件設(shè)于所述機架上，所述直線驅(qū)動件連接所述滑臺以驅(qū)使所述滑臺沿x軸方向往復(fù)移動，所述旋轉(zhuǎn)電機固設(shè)于所述滑臺上，所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接所述轉(zhuǎn)動塊，所述滾輪可轉(zhuǎn)動設(shè)于所述轉(zhuǎn)動塊上，所述滾輪的中心軸與所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸的中心軸不共軸，所述升降架可升降設(shè)于所述滑臺上，所述升降架的頂部抵觸所述滾輪，所述復(fù)位件連接所述滑臺與所述升降架，所述吸嘴設(shè)于所述升降架的底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取放料機構(gòu)，其特征在于，所述復(fù)位件的數(shù)量為多個，所述升降架的兩側(cè)分別對應(yīng)設(shè)有所述復(fù)位件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的取...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李金龍，吳后強，
申請(專利權(quán))人：佑光智能半導(dǎo)體科技深圳有限公司，
類型：新型
國別省市：