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    一種尺寸可調式硅片花籃制造技術

    技術編號:44301394 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-02-18 20:19
    本技術涉及一種尺寸可調式硅片花籃,屬于硅片花籃技術領域。主要包括第一承載板、第二承載板、緊固螺釘、支撐螺桿、套環、放置機構、套接螺桿;本技術可以適配不同尺寸的硅片,扭動緊固螺釘,拉動第二承載板,第二承載板在滑槽內部移動,根據刻度線將第二承載板移動至合適的位置時,再次扭動緊固螺釘,將第二承載板鎖止在第一承載板的直槽口上固定即可,調節完畢后則將硅片放置在放置機構上即可,可以適配不同大小的硅片使用。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術屬于硅片花籃,具體涉及一種尺寸可調式硅片花籃


    技術介紹

    1、硅片花籃是用于裝載硅片的載具,保證硅片不被劃傷,對于實驗室來說,為了模擬現場實驗條件,經常要切換不同的硅片,目前,不同尺寸的硅片,需要使用與之型號對應的承載花籃,無法根據硅片的尺寸進行調節,當硅片尺寸過多時,則需要大量不同尺寸的花籃,制作成本較高,因此需要設計一種尺寸可調式硅片花籃。


    技術實現思路

    1、為了克服目前不同尺寸的硅片需要使用與之型號對應的承載花籃,成本較高的問題,本技術提供一種尺寸可調式硅片花籃;本技術可以適配不同尺寸的硅片,根據硅片的尺寸通過調節緊固螺釘來控制第一承載板和第二承載板之間的距離,調節完畢后則將硅片放置在放置機構上即可,可以適配不同大小的硅片使用,降低了生產成本。

    2、為實現上述目的,本技術是通過如下技術方案實現的:一種尺寸可調式硅片花籃主要包括第一承載板、第二承載板、緊固螺釘、支撐螺桿、套環、放置機構、套接螺桿,所述的第一承載板上開設有滑槽,第二承載板可滑動安裝在滑槽內部,第一承載板上開設有直槽口,直槽口側面設置有刻度線,緊固螺釘安裝在第二承載板上,位于直槽口內部,第二承載板通過緊固螺釘鎖緊在直槽口上,支撐螺桿兩端開設有螺紋,第一承載板和第二承載板上開設有螺紋孔,支撐螺桿可拆卸安裝在螺紋孔內部,放置機構通過套環可拆卸安裝在支撐螺桿上,套接螺桿一端設置有螺紋,另一端設置有螺紋套,套接螺桿通過螺紋套扭緊在支撐螺桿上,放置機構安裝在套接螺桿上。

    3、所述的放置機構安裝有兩組或兩組以上。

    4、所述的放置機構大于兩組時,放置機構等間距安裝。

    5、所述的放置機構包括支撐架、隔板、支撐板、限位條,支撐架通過套環安裝在支撐螺桿、套接螺桿上,隔板安裝在支撐架上,支撐架與隔板之間、隔板與隔板之間形成卡槽,支撐板安裝在支撐架底端,支撐板上開設有條形漏孔,限位條安裝在支撐板上。

    6、所述的支撐架、隔板、支撐板、限位條的材質為優力膠。

    7、本技術的有益效果:

    8、本技術可以適配不同尺寸的硅片,扭動緊固螺釘,拉動第二承載板,第二承載板在滑槽內部移動,根據刻度線將第二承載板移動至合適的位置時,再次扭動緊固螺釘,將第二承載板鎖止在第一承載板的直槽口上固定即可,調節完畢后則將硅片放置在放置機構上即可,可以適配不同大小的硅片使用。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種尺寸可調式硅片花籃,其特征在于:所述的一種尺寸可調式硅片花籃包括第一承載板(1)、第二承載板(2)、緊固螺釘(3)、支撐螺桿(4)、套環(5)、放置機構(6)、套接螺桿(7),所述的第一承載板(1)上開設有滑槽(11),第二承載板(2)可滑動安裝在滑槽(11)內部,第一承載板(1)上開設有直槽口(12),直槽口(12)側面設置有刻度線(13),緊固螺釘(3)安裝在第二承載板(2)上,位于直槽口(12)內部,第二承載板(2)通過緊固螺釘(3)鎖緊在直槽口(12)上,支撐螺桿(4)兩端開設有第一螺紋(41),第一承載板(1)和第二承載板(2)上開設有螺紋孔,支撐螺桿(4)可拆卸安裝在螺紋孔內部,放置機構(6)通過套環(5)可拆卸安裝在支撐螺桿(4)上,套接螺桿(7)一端設置有第二螺紋(71),另一端設置有螺紋套(72),套接螺桿(7)通過螺紋套(72)扭緊在支撐螺桿(4)上,放置機構(6)安裝在套接螺桿(7)上。

    2.如權利要求1所述的一種尺寸可調式硅片花籃,其特征在于:所述的放置機構(6)安裝有兩組或兩組以上。

    3.如權利要求1或2所述的一種尺寸可調式硅片花籃,其特征在于:所述的放置機構(6)大于兩組時,放置機構(6)等間距安裝。

    4.如權利要求1或2所述的一種尺寸可調式硅片花籃,其特征在于:所述的放置機構(6)包括支撐架(61)、隔板(62)、支撐板(63)、限位條(64),支撐架(61)通過套環(5)安裝在支撐螺桿(4)、套接螺桿(7)上,隔板(62)安裝在支撐架(61)上,支撐架(61)與隔板(62)之間、隔板(62)與隔板(62)之間形成卡槽(621),支撐板(63)安裝在支撐架(61)底端,支撐板(63)上開設有條形漏孔(631),限位條(64)安裝在支撐板(63)上。

    5.如權利要求4所述的一種尺寸可調式硅片花籃,其特征在于:所述的支撐架(61)、隔板(62)、支撐板(63)、限位條(64)的材質為優力膠。

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種尺寸可調式硅片花籃,其特征在于:所述的一種尺寸可調式硅片花籃包括第一承載板(1)、第二承載板(2)、緊固螺釘(3)、支撐螺桿(4)、套環(5)、放置機構(6)、套接螺桿(7),所述的第一承載板(1)上開設有滑槽(11),第二承載板(2)可滑動安裝在滑槽(11)內部,第一承載板(1)上開設有直槽口(12),直槽口(12)側面設置有刻度線(13),緊固螺釘(3)安裝在第二承載板(2)上,位于直槽口(12)內部,第二承載板(2)通過緊固螺釘(3)鎖緊在直槽口(12)上,支撐螺桿(4)兩端開設有第一螺紋(41),第一承載板(1)和第二承載板(2)上開設有螺紋孔,支撐螺桿(4)可拆卸安裝在螺紋孔內部,放置機構(6)通過套環(5)可拆卸安裝在支撐螺桿(4)上,套接螺桿(7)一端設置有第二螺紋(71),另一端設置有螺紋套(72),套接螺桿(7)通過螺紋套(72)扭緊在支撐螺桿(4)上,放置機構(6)安裝在套接螺桿(7)上。

    2.如權...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:華永云杜雪峰李文瑞楊麗娥
    申請(專利權)人:云南合義德新材料有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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