【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及在微環(huán)境方式的半導(dǎo)體工廠中使用、來(lái)輸送或保管半導(dǎo)體晶片的基板收納容器，更詳細(xì)地講涉及將蓋體上鎖的上鎖機(jī)構(gòu)的改良。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體工廠中，在φ300mm的半導(dǎo)體晶片的輸送、保管中使用被稱(chēng)作foup(frontopening?unified?pod；前開(kāi)式統(tǒng)一盒)的基板收納容器，但該基板收納容器如在圖19中部分地表示那樣，具備：容器主體1，收納多片半導(dǎo)體晶片；蓋體，被嵌合在該容器主體1的開(kāi)口的正面2；以及一對(duì)上鎖機(jī)構(gòu)，將被嵌合在容器主體1的正面2的蓋體上鎖；在蓋體中內(nèi)置有一對(duì)上鎖機(jī)構(gòu)，該一對(duì)上鎖機(jī)構(gòu)被以semi標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化的蓋體開(kāi)閉機(jī)操作(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2、3)。
2、蓋體被形成為被拆裝自如地嵌合在容器主體1的開(kāi)口的正面2的大致箱形，在其周壁穿設(shè)有需要數(shù)量的一對(duì)上鎖機(jī)構(gòu)用的出沒(méi)口，在背面的周緣部嵌合著壓接于容器主體的正面內(nèi)周而變形的環(huán)形的密封墊圈。此外，各上鎖機(jī)構(gòu)具備下述部件而構(gòu)成：操作卷盤(pán)(操作リール)，被蓋體支承并通過(guò)從蓋體開(kāi)閉機(jī)的外部的鑰匙(キー)操作而旋轉(zhuǎn)；一對(duì)進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a，通過(guò)各操作卷盤(pán)的旋轉(zhuǎn)而在上下方向上進(jìn)退運(yùn)動(dòng)；以及能夠擺動(dòng)的一對(duì)上鎖爪40a，與各進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a的前進(jìn)聯(lián)動(dòng)，從蓋體的出沒(méi)口突出而卡止于容器主體1的正面內(nèi)周的上鎖凹穴(施錠ポケット)4。
3、各上鎖爪40a被形成為截面大致倒t字形，其下部的背面經(jīng)由連結(jié)銷(xiāo)60能夠擺動(dòng)地被軸支承在進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a的前端部，下部的表面經(jīng)由支承銷(xiāo)61能夠擺動(dòng)地被軸支承在蓋體內(nèi)的出沒(méi)口附近，在前端部經(jīng)由輥銷(xiāo)62能夠旋轉(zhuǎn)地軸支承
4、在上述中，在將蓋體嵌合在容器主體1的開(kāi)口的正面2并上鎖的情況下，蓋體開(kāi)閉機(jī)將蓋體嵌合在容器主體1的開(kāi)口的正面2，該蓋體開(kāi)閉機(jī)的操作鑰匙將各上鎖機(jī)構(gòu)的操作卷盤(pán)以規(guī)定的角度旋轉(zhuǎn)操作。于是，隨著操作卷盤(pán)的旋轉(zhuǎn)，各進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a在蓋體的周壁方向上前進(jìn)，隨著該進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a的前進(jìn)，各上鎖爪40a從蓋體內(nèi)穿過(guò)出沒(méi)口向蓋體外部擺動(dòng)突出，并且該擺動(dòng)突出的上鎖爪40a卡止于容器主體1的上鎖凹穴內(nèi)，通過(guò)該上鎖爪40a的卡止，嵌合在容器主體1的正面2的蓋體被拉入并上鎖。
5、相對(duì)于此，在從容器主體1的正面2將蓋體開(kāi)鎖并拆下的情況下，蓋體開(kāi)閉機(jī)的操作鑰匙將各上鎖機(jī)構(gòu)的操作卷盤(pán)旋轉(zhuǎn)操作到原來(lái)的基準(zhǔn)位置。于是，隨著操作卷盤(pán)的旋轉(zhuǎn)返回，前進(jìn)的各進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a后退返回到蓋體的原來(lái)的基準(zhǔn)位置，隨著該進(jìn)退運(yùn)動(dòng)桿34a的后退返回，突出的各上鎖爪40a從容器主體1的上鎖凹穴4穿過(guò)出沒(méi)口擺動(dòng)返回到蓋體內(nèi)，通過(guò)該上鎖爪40a的擺動(dòng)返回，嵌合在容器主體1的正面2的蓋體變得能夠拆下，由蓋體開(kāi)閉機(jī)將蓋體從容器主體1的正面2拔出并拆下。
6、可是，近年來(lái)，從消除對(duì)于收納在容器主體1的半導(dǎo)體晶片的各種各樣的不良影響的觀點(diǎn)，在基板收納容器的上鎖機(jī)構(gòu)希望不使用金屬材料的無(wú)金屬化。鑒于這一點(diǎn)，研究了將上鎖爪40a的連結(jié)銷(xiāo)60、支承銷(xiāo)61及輥銷(xiāo)62不是做成sus銷(xiāo)而是做成樹(shù)脂銷(xiāo)。
7、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
8、專(zhuān)利文獻(xiàn)
9、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2000-058633號(hào)公報(bào)
10、專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2021-028936號(hào)公報(bào)
11、專(zhuān)利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2017-130548號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、專(zhuān)利技術(shù)要解決的課題
2、但是，即使代替sus銷(xiāo)而簡(jiǎn)單使用同徑的樹(shù)脂銷(xiāo)，也不能確保充分的強(qiáng)度、耐久性，有樹(shù)脂銷(xiāo)偏心等而損壞的擔(dān)憂。作為消除該擔(dān)憂的手段，可以舉出將樹(shù)脂銷(xiāo)擴(kuò)徑形成而將其加粗的方法，但在采用該方法的情況下，由于上鎖爪40a的推壓輥50a也變粗，所以新產(chǎn)生突出的上鎖爪40a的返回變得困難這一問(wèn)題。
3、作為解決這樣的問(wèn)題的手段，可以舉出將上鎖爪40a的擺動(dòng)中心在蓋體的厚度方向、內(nèi)外方向(圖19的上下方向)上錯(cuò)移這一方法，但在采用該方法的情況下，由于上鎖爪40a不再充分地卡止于容器主體1的上鎖凹穴4，所以不再能夠期待蓋體的密封墊圈的適當(dāng)?shù)淖冃巍Ｆ浣Y(jié)果，蓋體的密封性變差而導(dǎo)致容器主體內(nèi)的半導(dǎo)體晶片的污染，新產(chǎn)生半導(dǎo)體晶片的品質(zhì)下降這一大問(wèn)題。
4、本專(zhuān)利技術(shù)是鑒于上述而做出的，目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)上鎖機(jī)構(gòu)的無(wú)金屬化，并且能夠又使上鎖機(jī)構(gòu)的上鎖爪順暢地動(dòng)作又充分地確保蓋體的密閉性的基板收納容器。
5、用來(lái)解決課題的手段
6、在本專(zhuān)利技術(shù)中，為了解決上述課題，基板收納容器具備：蓋體，被嵌合在能夠收納基板的容器主體的開(kāi)口部；以及上鎖機(jī)構(gòu)，將該被嵌合的蓋體上鎖，其特征在于，蓋體包括：蓋主體，被嵌合在容器主體的開(kāi)口部；以及多個(gè)上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件，被安裝在該蓋主體；在蓋主體的周緣部，設(shè)置能夠與容器主體的開(kāi)口部?jī)?nèi)周的上鎖凹穴對(duì)置的多個(gè)出沒(méi)口；使多個(gè)上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件對(duì)置并在其對(duì)置面形成凸輪槽；上鎖機(jī)構(gòu)包括：多個(gè)進(jìn)退運(yùn)動(dòng)部件，通過(guò)被蓋體的蓋主體支承的操作部件的旋轉(zhuǎn)而在蓋主體的內(nèi)外方向上進(jìn)退運(yùn)動(dòng)；以及多個(gè)上鎖爪，在進(jìn)退運(yùn)動(dòng)部件的前進(jìn)時(shí)從蓋主體的出沒(méi)口突出而被嵌入于容器主體的上鎖凹穴，在進(jìn)退運(yùn)動(dòng)部件的后退時(shí)從容器主體的上鎖凹穴返回到蓋主體的出沒(méi)口；上鎖爪包括：上鎖塊，被夾在蓋體的多個(gè)上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件之間而能夠在蓋主體的內(nèi)外方向上直動(dòng)(筆直地運(yùn)動(dòng))，并且能夠在蓋主體的厚度方向上擺動(dòng)(搖擺運(yùn)動(dòng))；多個(gè)連結(jié)桿，從該上鎖塊突出而被連結(jié)在上鎖機(jī)構(gòu)的進(jìn)退運(yùn)動(dòng)部件；以及多個(gè)凸輪突起，從上鎖塊突出而被嵌入于多個(gè)上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件的凸輪槽；由含有規(guī)定的樹(shù)脂的成形材料將這些上鎖塊、多個(gè)連結(jié)桿及多個(gè)凸輪突起一體成形；在上鎖塊形成凹部并在其兩側(cè)間架設(shè)樹(shù)脂銷(xiāo)；并且將與容器主體的上鎖凹穴內(nèi)接觸的樹(shù)脂輥嵌通在該樹(shù)脂銷(xiāo)，在凸輪突起的周面隔開(kāi)規(guī)定的間隔形成多個(gè)平坦面；將上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件的凸輪槽分割為直動(dòng)用直線槽和擺動(dòng)用圓弧槽，所述直動(dòng)用直線槽與上鎖爪的凸輪突起的多個(gè)平坦面接觸來(lái)限制上鎖爪的擺動(dòng)，所述擺動(dòng)用圓弧槽寬度寬地形成在該直動(dòng)用直線槽的端部而能夠進(jìn)行上鎖爪的擺動(dòng)。
7、另外，可以為，將容器主體形成為能夠收納多片半導(dǎo)體晶片的前開(kāi)盒，能夠在其開(kāi)口的正面將蓋體拆裝自如地嵌合，在該蓋體的蓋主體的周緣部附近安裝多個(gè)上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件，將該多個(gè)上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件中的與蓋主體的側(cè)部接近的上鎖機(jī)構(gòu)用引導(dǎo)部件與門(mén)導(dǎo)引部一體化。
8、此外，可以為，在上鎖機(jī)構(gòu)將被嵌合在容器主體的正面的蓋體上鎖并拉入到容器主體內(nèi)的情況下，使上鎖爪的凸輪突起位于將容器主體的上鎖凹穴區(qū)劃的前壁的內(nèi)表面的延長(zhǎng)線附近。
9、此外，可以為，在蓋體的蓋主體的表面兩側(cè)形成上鎖機(jī)構(gòu)用的設(shè)置區(qū)域，在蓋主體安裝將上鎖機(jī)構(gòu)覆蓋的罩板，將上鎖機(jī)構(gòu)的進(jìn)退運(yùn)動(dòng)部件在蓋體的厚度方向上彎曲，在該進(jìn)退運(yùn)動(dòng)作部件的表背兩面的至少某一方形成強(qiáng)度確保肋。
10、此外，優(yōu)選為，在上鎖機(jī)構(gòu)的進(jìn)退運(yùn)動(dòng)部件的前端部?jī)蓚?cè)將多個(gè)連結(jié)爪形成為截面大致半圓弧形本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種基板收納容器，具備：蓋體，被嵌合在能夠收納基板的容器主體的開(kāi)口部；以及上鎖機(jī)構(gòu)，將該被嵌合的蓋體上鎖，其特征在于，
2.如權(quán)利要求1所述的基板收納容器，其特征在于，
3.如權(quán)利要求2所述的基板收納容器，其特征在于，
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的基板收納容器，其特征在于，
5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，
6.如權(quán)利要求5所述的基板收納容器，其特征在于，
7.如權(quán)利要求6所述的基板收納容器，其特征在于，
8.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】
1.一種基板收納容器，具備：蓋體，被嵌合在能夠收納基板的容器主體的開(kāi)口部；以及上鎖機(jī)構(gòu)，將該被嵌合的蓋體上鎖，其特征在于，
2.如權(quán)利要求1所述的基板收納容器，其特征在于，
3.如權(quán)利要求2所述的基板收納容器，其特征在于，
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的基板...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：宮田遼，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：信越聚合物株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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