【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及光伏電池片制造設備，具體涉及一種電極引入機構及管式等離子體沉積爐。
技術介紹
1、管式pe-poly(等離子體沉積爐)設備是一種高科技薄膜制備設備，廣泛應用于半導體、光電子、信息存儲、生物醫(yī)學等領域。石墨舟是管式等離子體沉積爐的重要組成部分，其在管式等離子體沉積爐中作為反應承載體。目前現(xiàn)有管式等離子體沉積爐的石墨舟多采用插接式電極作為石墨舟的電極引入機構，例如爐尾電極，其采用一定長度的電極桿，其在尾部連接外部電源，在電極桿頭部設有電極頭，將電極頭由爐口法蘭或爐尾法蘭伸入設備內部，使電極桿的電極頭插接至石墨舟對應的進電接口，實現(xiàn)對石墨舟供電。但隨著光伏電池片的更迭，石墨舟長度不斷加長，管式等離子體沉積爐的真空反應腔室隨之加長，而電極桿長度也隨之增加，在管式等離子體沉積爐長期工作過程中，發(fā)現(xiàn)電極桿長度越長越易發(fā)生彎曲，電極桿的電極頭會偏離石墨舟的進電接口，石墨舟供電不穩(wěn)，生產質量下降。因此需對管式等離子體沉積爐中石墨舟的引電結構進行優(yōu)化，以克服上述缺陷。
技術實現(xiàn)思路
1、為克服上述現(xiàn)有技術的不足，本申請?zhí)峁┝艘环N電極引入機構及管式等離子體沉積爐，具體采用如下技術方案：
2、一種電極引入機構，用于外部電源與管式等離子體沉積爐的石墨舟導通，其特征在于，所述電極引入機構包括支撐桿、落舟塊以及引電連接線，
3、兩根所述支撐桿并排設置于所述石墨舟下方，且每根所述支撐桿的端部分別連接管式等離子體沉積爐的爐口法蘭和爐尾法蘭；至少一對所述落舟塊套設于支撐桿上，所述落
4、該電極引入機構采用舟角放電方式，通過支撐桿上所套設的落舟塊對石墨舟進行供電，在石墨舟裝入過程中無需校對電極桿，僅需將石墨舟穩(wěn)定放置于落舟塊上即可實現(xiàn)石墨舟供電，降低了對石墨舟的進舟定位精度和重復性要求，使設備運行穩(wěn)定。同時該支撐桿可提高對石墨舟的支撐強度，以避免高溫下石墨舟的支撐結構發(fā)生變形，導致石墨舟破損。
5、可選的：所述落舟塊位于石墨舟的舟角下方，每對落舟塊分別導通一組石墨舟的舟角。
6、本申請一方面可通過落舟塊支撐石墨舟，另一方面利用石墨舟可將外部電力導入石墨舟的舟角，實現(xiàn)對石墨舟供電。
7、可選的：所述落舟塊設有兩對，一對落舟塊通過引電連接線連接位于所述爐口法蘭的外部電源，另一對落舟塊通過引電連接線連接位于所述爐尾法蘭的外部電源。
8、本申請中設置有兩對落舟塊，對應的管式等離子體沉積爐內設有兩組石墨舟，每對落舟塊對應一組石墨舟，該管式等離子體沉積爐可分別通過爐口法蘭和爐尾法蘭向內部的石墨舟進行供電，進而提高石墨舟的生產效率。
9、可選的：所述爐尾法蘭上設有至少一對爐尾電極，所述爐尾電極用于將外部電源的電力由爐尾法蘭引入所述石墨舟，所述爐尾電極與位于所述爐尾法蘭一端的引電連接線連接。本申請中所述爐尾電極可將外部電源的電力由所述爐尾法蘭引入管式等離子體沉積爐內，并通過位于爐尾法蘭一端的引電連接線將電力導通至落舟塊，并由落舟塊將電力導入石墨舟內，使石墨舟正常通電工作。
10、可選的：所述爐口法蘭上設有至少一對爐口電極，所述爐口電極用于將外部電源的電力由爐口法蘭引入所述石墨舟，所述爐口電極與位于所述爐口法蘭一端的引電連接線連接。本申請中所述爐口電極可將外部電源的電力由所述爐口法蘭引入管式等離子體沉積爐內，并通過位于爐口法蘭一端的引電連接線將電力導通至落舟塊，并由落舟塊將電力導入石墨舟內，使石墨舟正常通電工作。
11、可選的：所述爐尾法蘭位置設有電極支撐架，所述電極支撐架與所述爐尾法蘭連接，所述電極支撐架用于固定引電連接線和爐尾電極。本申請中電極支撐架可將靠近爐尾法蘭一端的引電連接線進行固定，以便于爐尾電極與引電連接線穩(wěn)定連接，保證石墨舟供電穩(wěn)定。
12、可選的：所述落舟塊的頂部設有用于安放所述舟角的安裝平面，所述落舟塊的側方設有接線極耳，所述接線極耳連接引電連接線。為保證石墨舟穩(wěn)定放置于落舟塊上，本申請在所述落舟塊頂部設有安裝平面，石墨舟的舟角穩(wěn)定放置于安裝平面上，同時落舟塊側方的接線極耳可連接引電連接線，外部電力通過引電連接線、接線極耳導通至落舟塊上，并通過落舟塊的安裝平面導通石墨舟。
13、可選的：所述支撐桿上設有陶瓷套管，所述陶瓷套管用于保持落舟塊與支撐桿絕緣。管式等離子體沉積爐進行工藝時，高溫環(huán)境下支撐桿會導通，通過陶瓷套管可保持支撐桿與落舟塊絕緣，進而避免高溫環(huán)境下支撐桿造成短路。
14、此外本申請還公開有一種管式等離子體沉積爐，該設備內部設有如上述的電極引入機構。
15、可選的：所述爐尾法蘭中部設有抽氣口，所述抽氣口用于連通外部真空泵，通過所述抽氣口抽除管式等離子體沉積爐的氣體。本申請中通過抽氣口使真空反應腔室內氣流更加勻稱，提高石墨舟的成品質量。
16、有益效果
17、本申請的技術方案獲得了下列有益效果：
18、(1)本申請的電極引入機構中通過改變傳統(tǒng)石墨舟進電方式，將傳統(tǒng)插式電極進電改為舟角放電方式，使得爐尾電極去除了石墨舟進電組裝過程中校對電極桿的步驟，可避免爐尾電極桿過長，高溫下彎曲變形，降低了對石墨舟的進舟定位精度和重復性要求，提高了設備運行穩(wěn)定。
19、(2)本申請的電極引入機構依附于石墨舟下方并排設置的兩根支撐桿，而采用碳化硅桿的支撐桿可提高石墨舟支撐強度，避免了高溫條件下支撐桿發(fā)生變形，進而避免石墨舟下方支撐不穩(wěn)發(fā)生破損；此外在石墨舟進舟過程中，一般須通過特制槳按照固定方向將石墨舟向設備內推動，由于石墨舟支撐強度獲得提高，石墨舟下方支撐機構不會變形，使得特制槳在推動過程，推力始終保持同一方向，可避免推力方向變化導致特制槳斷裂。
20、(3)本申請的管式等離子體沉積爐中位于爐尾法蘭的抽氣口可設置于爐尾法蘭中間位置，使真空反應腔室內氣流更加勻稱，提高石墨舟的成品質量。
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1.一種電極引入機構，用于外部電源與管式等離子體沉積爐的石墨舟(3)導通，其特征在于，所述電極引入機構包括支撐桿(4)、落舟塊(6)以及引電連接線(7)，
2.根據(jù)權利要求1所述的電極引入機構，其特征在于，所述落舟塊(6)位于石墨舟(3)的舟角下方，每對落舟塊(6)分別導通一組石墨舟(3)的舟角。
3.根據(jù)權利要求1所述的電極引入機構，其特征在于，所述落舟塊(6)設有兩對，一對落舟塊(6)通過引電連接線(7)連接位于所述爐口法蘭(1)的外部電源，另一對落舟塊(6)通過引電連接線(7)連接位于所述爐尾法蘭(2)的外部電源。
4.根據(jù)權利要求1所述的電極引入機構，其特征在于，所述爐尾法蘭(2)上設有至少一對爐尾電極(10)，所述爐尾電極(10)用于將外部電源的電力由爐尾法蘭(2)引入所述石墨舟(3)，所述爐尾電極(10)與所述引電連接線(7)連接。
5.根據(jù)權利要求1或4所述的電極引入機構，其特征在于，所述爐口法蘭(1)上設有至少一對爐口電極(8)，所述爐口電極(8)用于將外部電源的電力由爐口法蘭(1)引入所述石墨舟(3)，所述爐口電極
6.根據(jù)權利要求4所述的電極引入機構，其特征在于，所述爐尾法蘭(2)設有電極支撐架(9)，所述電極支撐架(9)與所述爐尾法蘭(2)連接，所述電極支撐架(9)用于固定引電連接線(7)和爐尾電極(10)。
7.根據(jù)權利要求1-3任一項所述的電極引入機構，其特征在于，所述落舟塊(6)的頂部設有用于安放所述舟角的安裝平面，所述落舟塊(6)的側方設有接線極耳，所述接線極耳連接引電連接線(7)。
8.根據(jù)權利要求1-3任一項所述的電極引入機構，其特征在于，所述支撐桿(4)上設有陶瓷套管(5)，所述陶瓷套管(5)用于保持石墨舟(3)水平。
9.一種管式等離子體沉積爐，包括爐口法蘭(1)和爐尾法蘭(2)，其特征在于，所述管式等離子體沉積爐內部設有如權利要求1-8任一項所述的電極引入機構。
10.根據(jù)權利要求9所述的管式等離子體沉積爐，其特征在于，所述爐尾法蘭(2)上設有抽氣口(201)，所述抽氣口(201)用于連通外部真空泵，通過所述抽氣口(201)抽除管式等離子體沉積爐的氣體。
...【技術特征摘要】
1.一種電極引入機構，用于外部電源與管式等離子體沉積爐的石墨舟(3)導通，其特征在于，所述電極引入機構包括支撐桿(4)、落舟塊(6)以及引電連接線(7)，
2.根據(jù)權利要求1所述的電極引入機構，其特征在于，所述落舟塊(6)位于石墨舟(3)的舟角下方，每對落舟塊(6)分別導通一組石墨舟(3)的舟角。
3.根據(jù)權利要求1所述的電極引入機構，其特征在于，所述落舟塊(6)設有兩對，一對落舟塊(6)通過引電連接線(7)連接位于所述爐口法蘭(1)的外部電源，另一對落舟塊(6)通過引電連接線(7)連接位于所述爐尾法蘭(2)的外部電源。
4.根據(jù)權利要求1所述的電極引入機構，其特征在于，所述爐尾法蘭(2)上設有至少一對爐尾電極(10)，所述爐尾電極(10)用于將外部電源的電力由爐尾法蘭(2)引入所述石墨舟(3)，所述爐尾電極(10)與所述引電連接線(7)連接。
5.根據(jù)權利要求1或4所述的電極引入機構，其特征在于，所述爐口法蘭(1)上設有至少一對爐口電極(8)，所述爐口電極(8)用于將外部電源的電力由爐口法蘭(1)引入所述石墨舟(3)，所...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：王玉明，郭向陽，程海良，楊寶海，
申請(專利權)人：營口金辰機械股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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