【技術實現步驟摘要】
本技術涉及壓力燒結爐，尤其涉及一種壓力燒結爐的檢測系統。
技術介紹
1、芯片壓力燒結爐是通過加熱加壓的方式進行產品加工的設備，常見的芯片壓力燒結爐其爐腔體不是完全封閉的結構，芯片燒結時溫度比較高，芯片和基板在燒結時容易發生氧化，或摻雜其他雜質，影響芯片壓力燒結封裝質量。由此可見，實現芯片壓力燒結爐更好的密封、減少對于芯片和基板的氧化對于提高產品質量具有非常重要的意義。現有技術中沒有在真空環境中對壓力燒結時的壓接機構的壓力異常檢測、水流異常檢測、真空值異常等檢測，增加了故障排除時間，導致加工環境不可控，從而生產的產品質量不好。
技術實現思路
1、本技術提供一種壓力燒結爐的檢測系統，用以解決現有技術中故障排除時間長，加工環境不可控，從而生產的產品質量不好的問題。
2、一種壓力燒結爐的檢測系統，包括：
3、?顯示屏，與計算機控制中心電連接，用于顯示加熱管電流狀態、壓接機構壓力值、壓接機構位移值和真空腔體的真空值?；
4、至少一個加熱管電流傳感器，所述加熱管電流傳感器一一與加熱管相對應地電連接，用于檢測加熱管的電流；
5、真空計，與真空腔體連接，用于檢測真空腔體的真空值；
6、壓接機構壓力傳感器，與壓接機構連接，用于檢測壓接機構的壓力值；
7、壓接機構位移傳感器，與壓接機構連接，用于檢測壓接機構的位移值；
8、計算機控制中心，用于接收加熱管電流傳感器的數據信號并與電流閾值比較，如果小于電流閾值則報警；用于接
9、報警器，與計算機控制中心電連接，所述計算機控制中心控制報警器報警。
10、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，還包括甲酸壓力傳感器和氮氣壓力傳感器；所述甲酸壓力傳感器與甲酸桶連接，用于檢測甲酸桶的壓力；所述氮氣壓力傳感器連接氮氣罐，用于檢測氮氣罐的壓力。
11、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，所述計算機控制中心還用于接收甲酸壓力傳感器的數據信號并與甲酸桶壓力閾值比較，如果小于甲酸桶壓力閾值則報警；用于接收氮氣壓力傳感器的數據信號并與氮氣罐壓力閾值比較，如果小于氮氣罐壓力閾值則報警。
12、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，所述顯示屏，還用于顯示甲酸桶壓力值和氮氣壓力值。
13、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，還包括流量計，與壓力燒結爐的冷卻水管連接，用于檢測冷卻水的流量。
14、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，所述計算機控制中心還用于接收流量計的數據信號并與水流閾值比較，如果小于水流閾值則報警。
15、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，所述顯示屏，還用于顯示冷卻水的流量值。
16、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，還包括至少一個加熱管功率傳感器，所述加熱管功率傳感器一一與加熱管相對應地電連接，用于檢測加熱管的功率。
17、根據本技術的壓力燒結爐的檢測系統，顯示屏，還用于顯示加熱管電流值、加熱管功率值。
18、本技術通過壓接機構的壓力異常檢測、壓接機構的位移異常檢測、電流異常檢測、水流異常檢測、真空值異常等檢測，壓接機構的壓力發生異常，則在顯示屏顯示壓力值并顯示紅色。壓接機構的位移發生異常，則在顯示屏顯示位移值并顯示紅色。對單個加熱管的電流發生異常，則在顯示屏顯示紅色，提醒更換該加熱管。壓力燒結爐的冷卻板的冷水管和多個腔體外側的冷水管的水流如果發生異常，則會提醒水流異常報警。減少了故障排除時間，加工環境可控，從而生產的產品質量好。
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1.一種壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，所述計算機控制中心還用于接收甲酸壓力傳感器的數據信號并與甲酸桶壓力閾值比較，如果小于甲酸桶壓力閾值則報警；用于接收氮氣壓力傳感器的數據信號并與氮氣罐壓力閾值比較，如果小于氮氣罐壓力閾值則報警。
4.根據權利要求2所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，所述顯示屏，還用于顯示甲酸桶壓力值和氮氣壓力值。
5.根據權利要求1所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，
6.根據權利要求5所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，所述計算機控制中心還用于接收流量計的數據信號并與水流閾值比較，如果小于水流閾值則報警。
7.根據權利要求6所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，所述顯示屏，還用于顯示冷卻水的流量值。
8.根據權利要求1所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，還包括至少一個加熱管功率傳感器，所述加熱管功率傳感器一一與加熱管相對應地電連接
9.根據權利要求8所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，顯示屏，還用于顯示加熱管電流值、加熱管功率值。
...【技術特征摘要】
1.一種壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，所述計算機控制中心還用于接收甲酸壓力傳感器的數據信號并與甲酸桶壓力閾值比較，如果小于甲酸桶壓力閾值則報警；用于接收氮氣壓力傳感器的數據信號并與氮氣罐壓力閾值比較，如果小于氮氣罐壓力閾值則報警。
4.根據權利要求2所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特征在于，所述顯示屏，還用于顯示甲酸桶壓力值和氮氣壓力值。
5.根據權利要求1所述的壓力燒結爐的檢測系統，其特...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙永先，張延忠，周永軍，趙登宇，文愛新，
申請(專利權)人：中科同幟半導體江蘇有限公司，
類型：新型
國別省市：
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