【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種固體攝像裝置、形狀測定裝置和形狀測定方法。
技術介紹
1、在專利文獻1、2中，公開了具備沿著第1方向交替地排列有第1像素和第2像素的受光部的固體攝像裝置的專利技術。在該固體攝像裝置的一個結構例中，從與上述第1方向交叉的第2方向的一側向另一側，第1像素的第1方向的寬度逐漸變窄，第2像素的第1方向的寬度逐漸變寬。另外，在這些文獻中，記載了能夠使用該固體攝像裝置通過光切斷法測定對象物的形狀的內容。
2、在利用光切斷法的形狀測定中，也能夠使用具備二維排列有多個像素的受光部的固體攝像裝置(區域傳感器)。在該情況下，由于像素數多，因此在各像素中讀出與受光量對應的信號需要長時間。與此相對，在利用光切斷法的形狀測定中，如果使用專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置，則與區域傳感器相比像素數少，因此能夠縮短從各像素讀出信號的時間，能夠實現形狀測定的高速化和高分辨率化。
3、專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置在受光部中多個像素(第1像素、第2像素)一維排列這一點上與線性傳感器相同，因此與使用區域傳感器的情況相比，能夠縮短從各像素讀出信號的時間。另外，專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置，由于在受光部中第1像素和第2像素分別具有特征性的構造，因此在這些像素排列的第1方向的各位置，能夠通過運算求出關于與該第1方向交叉的第2方向的光入射位置。
4、即，專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置能夠在利用光切斷法的形狀測定中代替區域傳感器而使用，與使用區域傳感器的情況相比，能夠實現形狀測定的高速化和高分辨率化。>
5、現有技術文獻
6、專利文獻
7、專利文獻1：國際公開第2019/058897號
8、專利文獻2：國際公開第2019/059236號
技術實現思路
1、專利技術所要解決的技術問題
2、本專利技術人發現，在使用專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置進行利用光切斷法的形狀測定技術的研究開發的過程中，該固體攝像裝置具有如下的問題點。即，專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置雖然能夠通過運算來求出受光部中關于與第1方向交叉的第2方向的光入射位置，但由于無法檢測受光部中的入射光的二維強度分布，因此無法判斷光學設定狀態是否適當。
3、例如，期望通過光照射部照射于對象物的光為在規定方向上延伸的寬度窄的線狀。通過設置于對象物與固體攝像裝置之間的成像光學系統，期望對象物中的光照射區域與固體攝像裝置的受光部為相互光學共軛的位置關系。另外，在通過光切斷法在形狀測定中對象物平坦的情況下，期望從對象物經過成像光學系統入射于固體攝像裝置的受光部的反射光在受光部中是與第1方向平行的線狀。為了實現這些，需要光學設定狀態適當。
4、但是，光學設定狀態的評價在使用能夠檢測受光部中的入射光的二維強度分布的區域傳感器的情況下是可能的，但在使用專利文獻1、2所記載的固體攝像裝置的情況下是困難的。如果在光學設定狀態不適當的情況下通過光切斷法測定對象物的形狀，則來自固體攝像裝置的輸出信號的精度變差，有時形狀測定的精度也變差。另外，由于光學設定狀態的評價是困難的，因此調整光學設定狀態而進行適當化也是困難的。
5、實施方式的目的在于，提供在用于利用光切斷法的形狀測定的情況下能夠進行光學設定狀態的評價和調整的固體攝像裝置。另外，實施方式的目的在于，提供能夠使用上述的固體攝像裝置通過光切斷法高速、高分辨率地測定對象物的形狀的裝置和方法。
6、用于解決問題的技術手段
7、實施方式是固體攝像裝置。固體攝像裝置具備：第1受光部，其沿著第1方向排列有多個像素對；以及第2受光部，其沿著與第1方向交叉的第2方向排列有各自產生與受光量對應的量的電荷的多個像素，第1受光部的多個像素對的各個包括沿著第1方向排列配置的第1像素和第2像素，在沿第1方向延伸的線狀的光入射于第1受光部時，隨著該光入射位置從第2方向的一側向另一側，第1像素產生的電荷的量逐漸減少，第2像素產生的電荷的量逐漸增加。
8、實施方式是形狀測定裝置。形狀測定裝置通過光切斷法測定對象物的形狀的裝置，形狀測定裝置具備：光照射部，其相對于對象物，將光照射于規定線上的各位置；成像光學系統，其輸入通過利用光照射部的向對象物的光照射而產生的反射光并成像；以及上述結構的固體攝像裝置，其將經過成像光學系統的反射光受光，固體攝像裝置的運算部：基于從固體攝像裝置的信號處理部輸出的第1電信號，在第1受光部的第1方向的各位置求出第2方向的光入射位置，并且測定對象物的形狀；基于從固體攝像裝置的信號處理部輸出的第2電信號，求出第2受光部的第2方向的光入射強度分布，并且評價光照射部、成像光學系統或固體攝像裝置的光學設定狀態。
9、實施方式是形狀測定方法。形狀測定方法是使用光照射部、成像光學系統和上述結構的固體攝像裝置，通過光切斷法測定對象物的形狀的方法，光照射部相對于對象物將光照射于規定線上的各位置，成像光學系統輸入通過利用光照射部的向對象物的光照射而產生的反射光并成像，上述結構的固體攝像裝置將經過成像光學系統的反射光受光，形狀測定方法具備：測定步驟，其基于從固體攝像裝置的信號處理部輸出的第1電信號，在第1受光部的第1方向的各位置求出第2方向的光入射位置，并且測定對象物的形狀；以及評價步驟，其基于從固體攝像裝置的信號處理部輸出的第2電信號，求出第2受光部的第2方向的光入射強度分布，并且評價光照射部、成像光學系統或固體攝像裝置的光學設定狀態。
10、實施方式是修正方法。修正方法在第2方向的各位置，使光入射于相對于上述結構的固體攝像裝置沿著第1方向延伸的規定線上的各位置，基于根據從固體攝像裝置的信號處理部輸出的第1電信號和第2電信號的各個求出的第2方向的光入射位置的比較，修正基于第1電信號求出的第2方向的光入射位置。
11、專利技術的效果
12、根據實施方式，能夠提供在用于利用光切斷法的形狀測定的情況下能夠進行光學設定狀態的評價和調整的固體攝像裝置。
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1.一種固體攝像裝置，其中，
2.如權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，
3.如權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，
4.如權利要求1～3中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
5.如權利要求1～4中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
6.如權利要求1～4中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
7.如權利要求1～4中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
8.如權利要求1～7中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
9.如權利要求8所述的固體攝像裝置，其中，
10.如權利要求9所述的固體攝像裝置，其中，
11.一種形狀測定裝置，其中，
12.如權利要求11所述的形狀測定裝置，其中，
13.一種形狀測定方法，其中，
14.如權利要求13所述的形狀測定方法，其中，
15.一種修正方法，其中，
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種固體攝像裝置，其中，
2.如權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，
3.如權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，
4.如權利要求1～3中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
5.如權利要求1～4中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
6.如權利要求1～4中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
7.如權利要求1～4中任一項所述的固體攝像裝置，其中，
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