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    一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):40995550 閱讀:25 留言:0更新日期:2024-04-18 21:36
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體激光器技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其中,方法包括以下步驟;步驟一、確定激光器參數(shù)和要求的光斑尺寸:15bar,單bar200W,總功率3000W半導(dǎo)體疊陣激光器;步驟二、對(duì)芯片出光進(jìn)行快軸準(zhǔn)直,使用直徑為1mm,長(zhǎng)度15mm,表面鍍有808nm高反膜,材質(zhì)為熔融石英的圓柱面鏡,放置在芯片正上方,距離芯片0.1mm,可將快軸發(fā)散角由32°壓縮至6°,且光損較小,光損為3%。相較于傳統(tǒng)的使用導(dǎo)光晶體進(jìn)行光束整形的方法,本方法在尺寸和重量方面具有顯著優(yōu)勢(shì),尤其適用于那些激光器本身較重的設(shè)備。通過采用本方法,脫毛手具的體積和重量得以減小,同時(shí)光斑均勻度得到提高,綜合使用成本降低。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體激光器,具體為一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法


    技術(shù)介紹

    1、半導(dǎo)體激光器是一種利用半導(dǎo)體材料發(fā)射激光的裝置。它通常由一塊半導(dǎo)體材料制成,其中包含有源和泵浦兩個(gè)區(qū)域,當(dāng)外加電流或光能激發(fā)半導(dǎo)體材料時(shí),源區(qū)域產(chǎn)生光子并發(fā)射出激光,從而形成激光器的輸出。

    2、半導(dǎo)體激光器具有體積小、效率高、響應(yīng)速度快、功耗低等優(yōu)點(diǎn),因此在通信、醫(yī)療、材料加工、光存儲(chǔ)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。而且它們被廣泛用于光纖通信系統(tǒng)中作為光源,以及在激光打印機(jī)、激光雷達(dá)、激光醫(yī)療設(shè)備方面也有重要應(yīng)用。

    3、半導(dǎo)體激光器脫毛相對(duì)于其他方式脫毛,優(yōu)點(diǎn)在于無痛、不留瘢痕、高效、操作便捷,并且可以達(dá)到永久脫毛的效果。因此,激光脫毛廣受消費(fèi)者喜愛,脫毛產(chǎn)品也越來越豐富,同時(shí),對(duì)脫毛產(chǎn)品要求也日益增高,不僅是光斑均勻度方面,還涉及重量、體積、脈寬等。為了追求無感脫毛,大功率窄脈寬激光器應(yīng)運(yùn)而生,但是重量又隨之增加,尤其是加上導(dǎo)光晶體之后,手具更加笨重。

    4、因此,迫切需要一種能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形的方法,該方法應(yīng)當(dāng)能適用于輕量化、便攜式的激光器系統(tǒng)。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本專利技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,解決了大功率窄脈管激光器應(yīng)運(yùn)而生,導(dǎo)致重量隨之增加,手具更加笨重的問題。

    2、為實(shí)現(xiàn)以上目的,本專利技術(shù)通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,包括以下步驟;

    3、步驟一、確定激光器參數(shù)和要求的光斑尺寸:15bar,單bar200w,總功率3000w半導(dǎo)體疊陣激光器;

    4、步驟二、對(duì)芯片出光進(jìn)行快軸準(zhǔn)直,使用直徑為1mm,長(zhǎng)度15mm,表面鍍有808nm高反膜,材質(zhì)為熔融石英的圓柱面鏡,放置在芯片正上方,距離芯片0.1mm,可將快軸發(fā)散角由32°壓縮至6°,且光損較小,光損為3%;

    5、步驟三、利用柱面鏡的光學(xué)特性,使光束經(jīng)過柱面鏡后重新疊加,改變光路尺寸,借助zemax非序列模式,使用雙錐透鏡進(jìn)行仿真,材料設(shè)置為jgs1熔融石英,快軸方向(y方向)尺寸大于模組尺寸,發(fā)散角為6°,設(shè)置為h=34mm,慢軸方向(x方向)大于模組尺寸,慢軸發(fā)散角為4°,設(shè)置為l=14mm,曲率半徑為60mm,入光面和出光面半徑相同,柱面鏡厚度d=6mm,柱面鏡距離芯片出光面2.1mm,快軸方向在靶面尺寸為20mm;

    6、步驟四、在柱面鏡之后,沿激光束傳播的z方向放置兩塊外殼,外殼內(nèi)側(cè)放置鍍有808nm波段全反射膜的反射鏡,兩反射鏡之間距離為12mm平行z軸放置,使用介質(zhì)膜可以達(dá)到很高的反射率,光損在1%,全反射鏡尺寸為z方向25mm,y方向36mm,x方向?yàn)?mm;

    7、步驟五、藍(lán)寶石窗口片緊貼全反射鏡內(nèi)側(cè)放置,距離芯片出光面32mm;

    8、步驟六、在zemax非序列模式下建立上述模型,仿真得到光斑灰度圖和行截面、列截面能量密度分布。

    9、優(yōu)選的,所述步驟一中激光器模組面積為31mm×10mm,在距離芯片出光面34mm處,得到12mm×20mm矩形均勻光斑。

    10、優(yōu)選的,所述步驟四中光束通過12mm×22mm藍(lán)寶石窗口片出射,在靶面形成12mm×20mm光斑,使用matlab計(jì)算各采樣點(diǎn)強(qiáng)度值,計(jì)算rms得光斑均勻度為88%。

    11、優(yōu)選的,所述步驟四中光束經(jīng)過圓柱面鏡之后,從abcd面入射進(jìn)柱面鏡,從efgh面出射。

    12、優(yōu)選的,所述步驟五中藍(lán)寶石窗口片為12mm×22mm鍍808nm增透膜的藍(lán)寶石窗口片。

    13、一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,包括藍(lán)寶石窗口片,所述藍(lán)寶石窗口片前后兩側(cè)均設(shè)置有全反射鏡,兩個(gè)所述全反射鏡左側(cè)設(shè)置有柱面鏡,所述柱面鏡左側(cè)設(shè)置有多個(gè)圓柱面鏡,所述圓柱面鏡內(nèi)部固定連接有激光器發(fā)光芯片,兩個(gè)所述全反射鏡右側(cè)設(shè)置有靶面,所述靶面左側(cè)緊貼藍(lán)寶石窗口片右側(cè)。

    14、優(yōu)選的,所述圓柱面鏡為15根直徑1mm,長(zhǎng)度15mm,對(duì)封裝好的bar條模組進(jìn)行快軸發(fā)散角壓縮,使用六維調(diào)節(jié)治具將圓柱面鏡放置在bar條芯片正上方0.08mm處,所述圓柱面鏡兩端在模組兩側(cè)的陶瓷支架上用uv膠固定,將快軸發(fā)散角由32°壓縮至6°。

    15、優(yōu)選的,所述圓柱面鏡采用熔融石英材質(zhì),該材質(zhì)對(duì)紅外波段吸收較小,光損小,所述圓柱面鏡表面鍍808nm增透膜,使得透過率在99%以上。

    16、優(yōu)選的,所述柱面鏡采用jgs1石英材質(zhì),該材質(zhì)在808nm波段透過率很高,且兩個(gè)光學(xué)面abcd和efgh鍍808波段增透膜,使得透過率在99%以上,所述柱面鏡的中心與激光器bar條模組中心同心,所述柱面鏡在圓柱面鏡后1mm處放置。

    17、優(yōu)選的,兩個(gè)所述全反射鏡的側(cè)板之間相互平行,并平行于激光器模組面的法線,所述激光器模組、圓柱面鏡陣列、柱面鏡、藍(lán)寶石窗口片同心放置,保證光路同心,所述全反射鏡與總系統(tǒng)的光軸平行。

    18、工作原理:首先使用圓柱面鏡將芯片出光快軸發(fā)散角由32°壓縮至6°,然后入射進(jìn)一塊快軸方向存在曲率的柱面鏡,經(jīng)過此柱面鏡可以壓縮快軸方向光斑尺寸,光束通過柱面鏡之后,快軸方向光束向中心處以某一起始角傳播,慢軸方向存在沿著柱面鏡外邊緣伸出的兩塊全反射鏡,用于反射邊緣光束,然后,光束通過一塊12mm×22mm藍(lán)寶石窗口片,最終,在靶面會(huì)得到12mm×20mm矩形均勻光斑。

    19、本專利技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法。具備以下有益效果:

    20、本專利技術(shù)相較于傳統(tǒng)的使用導(dǎo)光晶體進(jìn)行光束整形的方法,本方法在尺寸和重量方面具有顯著優(yōu)勢(shì),尤其適用于那些激光器本身較重的設(shè)備。通過采用本方法,脫毛手具的體積和重量得以減小,同時(shí)光斑均勻度得到提高,綜合使用成本降低。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,包括以下步驟;

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟一中激光器模組面積為31mm×10mm,在距離芯片出光面34mm處,得到12mm×20mm矩形均勻光斑。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟四中光束通過12mm×22mm藍(lán)寶石窗口片(6)出射,在靶面(5)形成12mm×20mm光斑,使用MATLAB計(jì)算各采樣點(diǎn)強(qiáng)度值,計(jì)算RMS得光斑均勻度為88%。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟四中光束經(jīng)過圓柱面鏡(1)之后,從ABCD面入射進(jìn)柱面鏡(3),從EFGH面出射。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟五中藍(lán)寶石窗口片(6)為12mm×22mm鍍808nm增透膜的藍(lán)寶石窗口片。

    6.一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,依據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,包括藍(lán)寶石窗口片(6),其特征在于,所述藍(lán)寶石窗口片(6)前后兩側(cè)均設(shè)置有全反射鏡(4),兩個(gè)所述全反射鏡(4)左側(cè)設(shè)置有柱面鏡(3),所述柱面鏡(3)左側(cè)設(shè)置有多個(gè)圓柱面鏡(1),所述圓柱面鏡(1)內(nèi)部固定連接有激光器發(fā)光芯片(2),兩個(gè)所述全反射鏡(4)右側(cè)設(shè)置有靶面(5),所述靶面(5)左側(cè)緊貼藍(lán)寶石窗口片(6)右側(cè)。

    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,其特征在于,所述圓柱面鏡(1)為15根直徑1mm,長(zhǎng)度15mm,對(duì)封裝好的bar條模組進(jìn)行快軸發(fā)散角壓縮,使用六維調(diào)節(jié)治具將圓柱面鏡(1)放置在bar條芯片正上方0.08mm處,所述圓柱面鏡(1)兩端在模組兩側(cè)的陶瓷支架上用UV膠固定,將快軸發(fā)散角由32°壓縮至6°。

    8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,其特征在于,所述圓柱面鏡(1)采用熔融石英材質(zhì),該材質(zhì)對(duì)紅外波段吸收較小,光損小,所述圓柱面鏡(1)表面鍍808nm增透膜,使得透過率在99%以上。

    9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,其特征在于,所述柱面鏡(3)采用JGS1石英材質(zhì),該材質(zhì)在808nm波段透過率很高,且兩個(gè)光學(xué)面ABCD和EFGH鍍808波段增透膜,使得透過率在99%以上,所述柱面鏡(3)的中心與激光器bar條模組中心同心,所述柱面鏡(3)在圓柱面鏡(1)后1mm處放置。

    10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,其特征在于,兩個(gè)所述全反射鏡(4)的側(cè)板之間相互平行,并平行于激光器模組面的法線,所述激光器模組、圓柱面鏡(1)陣列、柱面鏡(3)、藍(lán)寶石窗口片(6)同心放置,保證光路同心,所述全反射鏡(4)與總系統(tǒng)的光軸平行。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,包括以下步驟;

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟一中激光器模組面積為31mm×10mm,在距離芯片出光面34mm處,得到12mm×20mm矩形均勻光斑。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟四中光束通過12mm×22mm藍(lán)寶石窗口片(6)出射,在靶面(5)形成12mm×20mm光斑,使用matlab計(jì)算各采樣點(diǎn)強(qiáng)度值,計(jì)算rms得光斑均勻度為88%。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟四中光束經(jīng)過圓柱面鏡(1)之后,從abcd面入射進(jìn)柱面鏡(3),從efgh面出射。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,其特征在于,所述步驟五中藍(lán)寶石窗口片(6)為12mm×22mm鍍808nm增透膜的藍(lán)寶石窗口片。

    6.一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形裝置,依據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的一種半導(dǎo)體激光器輕量化光束整形方法,包括藍(lán)寶石窗口片(6),其特征在于,所述藍(lán)寶石窗口片(6)前后兩側(cè)均設(shè)置有全反射鏡(4),兩個(gè)所述全反射鏡(4)左側(cè)設(shè)置有柱面鏡(3),所述柱面鏡(3)左側(cè)設(shè)置有多個(gè)圓柱面鏡(1),所述圓柱面鏡(1)內(nèi)部固定連接有激光器發(fā)光芯片(2),兩個(gè)所述全反射鏡(4)右...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:張佳晨
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:西安歐益光電科技有限公司
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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