一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板及其制備工藝制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板，包括基體莫來(lái)石承燒板和氧化鋯涂料，基體莫來(lái)石承燒板所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為：粗細(xì)度在１ｍｍ～１．５ｍｍ的紅柱石：２０～２５％，粗細(xì)度在０．５ｍｍ～１ｍｍ的紅柱石：５～１０％，粗細(xì)度＜０．５ｍｍ的紅柱石：５～８％，粗細(xì)度在０．５ｍｍ～１ｍｍ的板狀剛玉：１０～１５％，粗細(xì)度＜０．５ｍｍ的板狀剛玉：５～１０％，粗細(xì)度在０．５ｍｍ～１ｍｍ的電熔莫來(lái)石：５～１０％，硅線石粉：８～１２％，α－Ａｌ２Ｏ３粉：１５～２０％，硅微粉：２～３％，粘土：３～４％和外加結(jié)合劑：３～４％；氧化鋯涂料所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為：粒度不大于６００目氧化鋯：７５～８０％，硅溶膠：２０～２５％。另外還提供了該承燒板的制備工藝。本發(fā)明專利技術(shù)耐高溫，機(jī)械強(qiáng)度高，化學(xué)性能穩(wěn)定，抗熱震穩(wěn)定性好，使用壽命長(zhǎng)，抗剝落性能好。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板及其制備工藝。
技術(shù)介紹
承燒板是承放燒結(jié)電子元器件的載體，它的質(zhì)量與性能的好壞，對(duì)燒成制品的質(zhì) 量、產(chǎn)量、能耗、成本等有直接的影響。使用過(guò)程中，承燒板不但要承受電子元件高溫?zé)Y(jié)溫 度以及承燒產(chǎn)品所帶來(lái)的壓力，而且要經(jīng)受反復(fù)的冷熱循環(huán)，因此要求具有耐高溫，機(jī)械強(qiáng) 度高，化學(xué)性能穩(wěn)定，抗熱震穩(wěn)定性好，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。碳化硅材質(zhì)的承燒板高溫條件 容易氧化，而且容易與承燒的產(chǎn)品發(fā)生反應(yīng)，高溫化學(xué)穩(wěn)定性差，在表面涂覆一層防護(hù)材料 使制備工藝變得復(fù)雜，成本增加；堇青石材質(zhì)的承燒板使用溫度較低，使用過(guò)程中容易產(chǎn)生 變形；氧化鋯材質(zhì)的承燒板化學(xué)穩(wěn)定性好，但采用的原料價(jià)格昂貴，只在一些高檔產(chǎn)品中應(yīng) 用；莫來(lái)石質(zhì)承燒板強(qiáng)度高，耐溫性能好，抗熱震穩(wěn)定性優(yōu)異，但由于莫來(lái)石承燒板在制備 過(guò)程中會(huì)采用粘土、硅微粉等作為結(jié)合相，這些結(jié)合相中含有的一些成分會(huì)與承燒的產(chǎn)品 發(fā)生反應(yīng)，造成制品污染，為了避免此種狀況應(yīng)用過(guò)程中經(jīng)常采用的辦法是在莫來(lái)石承燒 板表面撒一層剛玉砂，不但會(huì)引起承燒板的抗熱震性能變差，而且剛玉砂疏松的附在莫來(lái) 石承燒板表面容易脫落，需要不斷進(jìn)行補(bǔ)充。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)針對(duì)目前承燒板產(chǎn)品存在的問(wèn)題，一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板及其制備 工藝，能夠在很大程度上解決目前承燒板產(chǎn)品存在的多種問(wèn)題。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本專利技術(shù)采用如下技術(shù)方案一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒 板，包括基體莫來(lái)石承燒板和氧化鋯涂料，其特征在于所述基體莫來(lái)石承燒板所用原料成 分以質(zhì)量百分比計(jì)為粗細(xì)度在Imm 1.5mm的紅柱石20 25%，粗細(xì)度在0. 5mm Imm 的紅柱石5 10%，粗細(xì)度< 0. 5mm的紅柱石5 8%，粗細(xì)度在0. 5mm Imm的板狀剛 玉10 15%，粗細(xì)度< 0. 5mm的板狀剛玉5 10%，粗細(xì)度在0. 5mm Imm的電熔莫來(lái) 石5 10%，硅線石粉8 12%，α-Al2O3粉15 20%，硅微粉2 3%，粘土 3 4% 和外加結(jié)合劑3 4%;所述氧化鋯涂料所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粒度不大于600 目氧化鋯75 80%，硅溶膠20 25%。進(jìn)一步的，所述外加結(jié)合劑為質(zhì)量百分比濃度為10%的黃糊精溶液。進(jìn)一步的，所述氧化鋯為氧化釔部分穩(wěn)定氧化鋯，所述硅溶膠中SiO2含量為18 25%。本專利技術(shù)還提供一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板的制備工藝，其特征在于包括以下 步驟1)將硅線石粉、α -Al2O3粉、硅微粉和粘土按比例配合好后混合均勻形成粉料，然 后將粗細(xì)度在Imm 1. 5mm的紅柱石、粗細(xì)度在0. 5mm Imm的紅柱石、粗細(xì)度< 0. 5mm 的紅柱石、粗細(xì)度在0. 5mm Imm的板狀剛玉、粗細(xì)度< 0. 5mm的板狀剛玉和粗細(xì)度在30. 5mm 1mm的電熔莫來(lái)石與結(jié)合劑攪拌混勻，最后再加入混合好的粉料攪拌均勻，經(jīng)過(guò)捆 料后壓制成莫來(lái)石承燒板坯體，干燥備用；2)將氧化鋯和硅溶膠按比例配合好后進(jìn)行球磨，形成氧化鋯涂料；3)將氧化鋯涂料裝入噴槍中，噴槍壓力保持在0. 2MPa 0. 4MPa,對(duì)莫來(lái)石承燒板 坯體進(jìn)行表面噴涂；4)將表面噴涂有氧化鋯球料的莫來(lái)石承燒板進(jìn)行干燥后，在1500°C 1550°C的 條件下燒制完成。進(jìn)一步的，所述氧化鋯和硅溶膠在球磨機(jī)中球磨4 6小時(shí)。進(jìn)一步的，所述氧化鋯和硅溶膠在球磨時(shí)的球料比為0.8 1。進(jìn)一步的，所述氧化鋯涂料噴涂在莫來(lái)石承燒板坯體表面的涂層厚度控制在 2mm 3mm0采用上述技術(shù)方案后，本專利技術(shù)具有如下優(yōu)點(diǎn)耐高溫，機(jī)械強(qiáng)度高，化學(xué)性能穩(wěn)定， 抗熱震穩(wěn)定性好，使用壽命長(zhǎng)，抗剝落性能好。具體實(shí)施例方式本專利技術(shù)提供一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板，具體有以下實(shí)施例實(shí)施例一一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板，包括基體莫來(lái)石承燒板和氧化鋯涂料，基體莫來(lái) 石承燒板所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粗細(xì)度在1mm 1. 5mm的紅柱石20%，粗細(xì)度 在0. 5mm 1mm的紅柱石8%，粗細(xì)度< 0. 5mm的紅柱石5%，粗細(xì)度在0. 5mm 1mm的板 狀剛玉14%，粗細(xì)度<0. 5mm的板狀剛玉8%，粗細(xì)度在0. 5mm 1mm的電熔莫來(lái)石9%， 硅線石粉12%，a-Al203粉15%，硅微粉2%，粘土 3%和外加結(jié)合劑4% ；氧化鋯涂料 所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粒度為600目的氧化鋯75%，硅溶膠25%。實(shí)施例二一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板，包括基體莫來(lái)石承燒板和氧化鋯涂料，基體莫來(lái) 石承燒板所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粗細(xì)度在1mm 1.5mm的紅柱石25%，粗細(xì)度 在0.5mm 1mm的紅柱石10%，粗細(xì)度< 0. 5mm的紅柱石8%，粗細(xì)度在0. 5謹(jǐn) 1謹(jǐn)?shù)?板狀剛玉10%，粗細(xì)度<0. 5mm的板狀剛玉5%，粗細(xì)度在0. 5mm 1mm的電熔莫來(lái)石 6%，硅線石粉9%，a-Al203粉15%，硅微粉3%，粘土 3%和外加結(jié)合劑3%;氧化鋯涂 料所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粒度為330目的氧化鋯78%，硅溶膠22%。實(shí)施例三一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板，包括基體莫來(lái)石承燒板和氧化鋯涂料，基體莫來(lái) 石承燒板所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粗細(xì)度在1mm 1. 5mm的紅柱石23%，粗細(xì)度 在0. 5mm 1mm的紅柱石6%，粗細(xì)度< 0. 5mm的紅柱石7%，粗細(xì)度在0. 5mm 1mm的板 狀剛玉11%，粗細(xì)度<0. 5mm的板狀剛玉9%，粗細(xì)度在0. 5mm 1mm的電熔莫來(lái)石-J%, 硅線石粉8%，a-Al203粉19%，硅微粉2%，粘土 4%和外加結(jié)合劑4%;所述氧化鋯涂 料所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為粒度100目的氧化鋯80%，硅溶膠20%。上述三個(gè)實(shí)施例中的外加結(jié)合劑為質(zhì)量百分比濃度為10%的黃糊精溶液，氧化鋯 為氧化釔部分穩(wěn)定氧化鋯，粒度不大于600目即可，硅溶膠中Si02含量為18 25%。4另外本專利技術(shù)還提供了一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板的制備工藝，包括以下步驟1)將硅線石粉、α -Al2O3粉、硅微粉和粘土按比例配合好后混合均勻形成粉料，然 后將粗細(xì)度在Imm 1. 5mm的紅柱石、粗細(xì)度在0. 5mm Imm的紅柱石、粗細(xì)度< 0. 5mm 的紅柱石、粗細(xì)度在0. 5mm Imm的板狀剛玉、粗細(xì)度< 0. 5mm的板狀剛玉和粗細(xì)度在 0. 5mm Imm的電熔莫來(lái)石與結(jié)合劑攪拌混勻，最后再加入混合好的粉料攪拌均勻，經(jīng)過(guò)捆 料后壓制成莫來(lái)石承燒板坯體，干燥備用；2)將氧化鋯和硅溶膠按比例配合好后進(jìn)行球磨，形成氧化鋯涂料；3)將氧化鋯涂料裝入噴槍中，噴槍壓力保持在0. 2MPa 0. 4MPa,對(duì)莫來(lái)石承燒板 坯體進(jìn)行表面噴涂；4)將表面噴涂有氧化鋯球料的莫來(lái)石承燒板進(jìn)行干燥后，在1500°C 1550°C的 條件下燒制完成。氧化鋯和硅溶膠在球磨機(jī)中球磨4 6小時(shí)，球料比為0.8 1，氧化鋯涂料噴涂 在莫來(lái)石承燒板坯體表面的涂層厚度控制在2mm 3mm。本專利技術(shù)的成品強(qiáng)度高，耐溫性能好，化學(xué)性能穩(wěn)定，抗熱震穩(wěn)定性好，使用壽命長(zhǎng)， 抗剝落性能好，主要性能指標(biāo)如下表所示 除上述優(yōu)選實(shí)施例外，本專利技術(shù)還有其他的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)本 專利技術(shù)作出各種改變本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種氧化鋯三明治復(fù)合承燒板，包括基體莫來(lái)石承燒板和氧化鋯涂料，其特征在于：所述基體莫來(lái)石承燒板所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為：粗細(xì)度在１ｍｍ～１．５ｍｍ的紅柱石：２０～２５％，粗細(xì)度在０．５ｍｍ～１ｍｍ的紅柱石：５～１０％，粗細(xì)度＜０．５ｍｍ的紅柱石：５～８％，粗細(xì)度在０．５ｍｍ～１ｍｍ的板狀剛玉：１０～１５％，粗細(xì)度＜０．５ｍｍ的板狀剛玉：５～１０％，粗細(xì)度在０．５ｍｍ～１ｍｍ的電熔莫來(lái)石：５～１０％，硅線石粉：８～１２％，α－Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］粉：１５～２０％，硅微粉：２～３％，粘土：３～４％和外加結(jié)合劑：３～４％；所述氧化鋯涂料所用原料成分以質(zhì)量百分比計(jì)為：粒度不大于６００目氧化鋯：７５～８０％，硅溶膠：２０～２５％。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：夏衛(wèi)平，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：夏衛(wèi)平，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：33[中國(guó)|浙江]