【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體，尤其涉及一種版圖文件轉換方法與檢測區域分組方法。
技術介紹
1、集成電路(integrated?circuit，簡稱“ic”)是一種微型電子器件或部件，采用一定的工藝方式將電路中所需的晶體管、電阻、電容以及電感等元件及布線互連在一起，并通過半導體工藝集成在一起的具有特定功能的電路。在集成電路的設計之初，需要在先設計集成電路版圖，通過布局、布線技術將邏輯綜合的成果轉換成物理版圖的文件，該文件包含各硬件單元在芯片上的形狀、面積以及位置信息。
2、現有技術中常用的集成電路版圖文件包括gdsii文件、cif文件、oasis文件等，并可通過集成電路版圖文件所含數據重建所有或者部分的電路版圖信息，集成電路版圖文件不僅可用于設計集成電路版圖，還可基于電路版圖文件生成晶圓的預覽圖像，以供工作人員觀察，進而可將其應用于晶圓的生產制造作業，例如缺陷檢測等作業。然而，現有技術中的電路版圖文件對應的預覽工具僅能夠顯示晶圓的預覽圖像，而無法對預覽圖像中所包含的數據進行存儲或標記等操作，在實際應用過程中存在一定的局限性。
3、有鑒于此，有必要對現有技術中的集成電路版圖文件的數據處理方法予以改進，以解決上述問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于解決現有技術中的集成電路版圖文件對應的預覽工具僅能顯示晶圓的版圖文件對應的的預覽圖像，無法對預覽圖像中所包含的數據進行存儲或標記等操作所導致的在實際應用過程中存在一定局限性的問題。
2、為實現上述目的，本專
3、獲取并解析待測品對應的版圖文件，以確定所述版圖文件中的根模塊結構數據，并確定所述根模塊結構數據中的第一可用圖素；
4、根據不同圖素類型對應的設定坐標點數遍歷所述第一可用圖素，以確定所述第一可用圖素中的第一有效圖素，并基于所述第一有效圖素的圖素類型確定有效圖素；
5、對所述有效圖素的數據結構進行轉換，以形成形狀類數據結構的圖形化圖素，由相同圖素層級對應的所述圖形化圖素組合形成圖素集合，并由多組所述圖素集合組合形成待測品對應的圖形化數據。
6、作為本專利技術的進一步改進，所述圖素類型包括：填充多邊形圖素類型、帶一定寬度的線條圖素類型以及插入的模塊圖素類型中的一種或者任意幾種組合。
7、作為本專利技術的進一步改進，所述根據不同圖素類型對應的設定坐標點數遍歷所述第一可用圖素，以確定所述第一可用圖素中的第一有效圖素，包括：
8、若所述第一可用圖素的圖素類型為所述填充多邊形圖素類型，將所述第一可用圖素所含坐標點數至少為三個的第一可用圖素確定為第一有效圖素；
9、若所述第一可用圖素的圖素類型為所述帶一定寬度的線條圖素類型，將所述第一可用圖素所含坐標點數至少為兩個的第一可用圖素確定為第一有效圖素；
10、若所述第一可用圖素的圖素類型為所述插入的模塊圖素類型，將所述第一可用圖素所含坐標點數不為空的第一可用圖素確定為第一有效圖素。
11、作為本專利技術的進一步改進，所述基于所述第一有效圖素對應的圖素類型確定有效圖素，包括：
12、若所述第一有效圖素的圖素類型為所述填充多邊形圖素類型或所述帶一定寬度的線條圖素類型，將所述第一有效圖素定義為有效圖素；
13、若所述第一有效圖素的圖素類型為所述插入的模塊圖素類型，獲取所述版圖文件中的子模塊結構數據，根據所述第一有效圖素對應的結構名稱確定子模塊結構數據中的第二可用圖素，并根據不同圖素類型對應的所述設定坐標點數遍歷所述第二可用圖素，以確定所述第二可用圖素中的第二有效圖素，將所述第二有效圖素定義為有效圖素。
14、作為本專利技術的進一步改進，所述對所述有效圖素的數據結構進行轉換，包括：
15、若所述第一有效圖素的圖素類型為所述填充多邊形圖素類型或所述帶一定寬度的線條圖素類型，基于所述第一有效圖素的坐標數據對所述有效圖素的數據結構進行轉換；
16、若所述第一有效圖素的圖素類型為所述插入的模塊圖素類型，將所述第一有效圖素中的第一個坐標點作為坐標偏差，基于所述坐標偏差并根據所述第二有效圖素的圖素類型對所述有效圖素的數據結構進行轉換。
17、作為本專利技術的進一步改進，所述基于所述第一有效圖素的坐標數據對所述有效圖素的數據結構進行轉換，包括：
18、若所述第一有效圖素的圖素類型為所述填充多邊形圖素類型，獲取所述坐標數據中的坐標點與對應的位置坐標，遍歷所述第一有效圖素中的坐標點，將所述坐標點對應的所述位置坐標轉換為形狀類數據結構的位置坐標并組合形成所述圖形化圖素；
19、若所述第一有效圖素的圖素類型為所述帶一定寬度的線條圖素類型，獲取所述坐標數據中的坐標點與對應的位置坐標，遍歷所述第一有效圖素中的坐標點，基于相鄰的兩個坐標點所在直線的方向確定坐標點的擴充方向，根據所述擴充方向獲取擴充坐標點，并確定所述擴充坐標點對應的位置坐標，將所述坐標點對應的位置坐標與所述擴充坐標點對應的位置坐標轉換為形狀類數據結構的位置坐標并組合形成所述圖形化圖素。
20、所述基于所述坐標偏差并根據所述第二有效圖素的圖素類型對所述有效圖素的數據結構進行轉換，包括：
21、若所述第二有效圖素的圖素類型為所述填充多邊形圖素類型或所述帶一定寬度的線條圖素類型，基于所述第二有效圖素的坐標數據與所述坐標偏差對所述有效圖素的數據結構進行轉換。
22、作為本專利技術的進一步改進，所述基于相鄰的兩個坐標點所在直線的方向確定坐標點的擴充方向，根據所述擴充方向獲取擴充坐標點，包括：
23、若所述相鄰的兩個坐標點所在直線的方向為第一方向，根據所述第一有效圖素中的線條寬度在第二方向上擴充至少四個坐標點；
24、若所述相鄰的兩個坐標點所在直線的方向為第二方向，根據所述第一有效圖素中的線條寬度在第一方向上擴充至少四個坐標點；
25、其中，所述第一方向與所述第二方向正交。
26、作為本專利技術的進一步改進，所述形狀類數據結構的圖形化圖素包括：圖素層級、圖素類型以及形狀類數據結構的坐標數據。
27、基于相同專利技術思想，本專利技術還揭示了一種檢測區域分組方法，包括：
28、采用如上述任一項專利技術創造所述的方法獲取待測品的版圖文件對應的圖形化數據；
29、接收根據檢測目標從所述圖形化數據中選擇的多邊形區域，以由所述多邊形區域對應的圖形化數據形成分組文件；
30、基于所述版圖文件與待測品的比例關系確定由所述分組文件生成的檢測區域分組。
31、作為本專利技術的進一步改進，所述分組文件由圖形轉換處理器導入圖形檢測處理器，以由所述圖形檢測處理器基于所述分組文件生成檢測區域分組，且所述圖形轉換處理器對所述分組文件加密，將加密后的分組文件導入所述圖形檢測處理器，所述圖形檢測處理器對所述加密后的分組文件進行解密，得到解密后的分組文件，以基于所述解密后的分組文件生成所述本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種版圖文件轉換方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述圖素類型包括：填充多邊形圖素類型、帶一定寬度的線條圖素類型以及插入的模塊圖素類型中的一種或者任意幾種組合。
3.根據權利要求2所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述根據不同圖素類型對應的設定坐標點數遍歷所述第一可用圖素，以確定所述第一可用圖素中的第一有效圖素，包括：
4.根據權利要求2所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述基于所述第一有效圖素對應的圖素類型確定有效圖素，包括：
5.根據權利要求4所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述對所述有效圖素的數據結構進行轉換，包括：
6.根據權利要求5所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述基于所述第一有效圖素的坐標數據對所述有效圖素的數據結構進行轉換，包括：
7.根據權利要求6所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述基于相鄰的兩個坐標點所在直線的方向確定坐標點的擴充方向，根據所述擴充方向獲取擴充坐標點，包括：
8.根據權利要求1所述的版圖文件轉換方
9.一種檢測區域分組方法，其特征在于，包括：
10.根據權利要求9所述的檢測區域分組方法，其特征在于，所述分組文件由圖形轉換處理器導入圖形檢測處理器，以由所述圖形檢測處理器基于所述分組文件生成檢測區域分組，且所述圖形轉換處理器對所述分組文件加密，將加密后的分組文件導入所述圖形檢測處理器，所述圖形檢測處理器對所述加密后的分組文件進行解密，得到解密后的分組文件，以基于所述解密后的分組文件生成所述檢測區域分組。
...【技術特征摘要】
1.一種版圖文件轉換方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述圖素類型包括：填充多邊形圖素類型、帶一定寬度的線條圖素類型以及插入的模塊圖素類型中的一種或者任意幾種組合。
3.根據權利要求2所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述根據不同圖素類型對應的設定坐標點數遍歷所述第一可用圖素，以確定所述第一可用圖素中的第一有效圖素，包括：
4.根據權利要求2所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述基于所述第一有效圖素對應的圖素類型確定有效圖素，包括：
5.根據權利要求4所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述對所述有效圖素的數據結構進行轉換，包括：
6.根據權利要求5所述的版圖文件轉換方法，其特征在于，所述基于所述第一有效圖素的坐標數據對所述有效圖素的數據結構進行...
【專利技術屬性】
技術研發人員：何蒙蒙，楊鋒力，
申請(專利權)人：上海精卓信息技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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