本申請實施例的目的是提供一種五維調整裝置。本申請實施例的五維調整裝置包括：俯仰板、微調頂絲、螺釘、槽墊塊、錐墊塊、平墊塊、彈墊和平墊；其中，俯仰板用于在多個方向對鏡頭進行調節；其中，所述彈墊起到壓簧的作用。本申請實施例具有以下優點：結構緊湊，能夠在在鏡頭座互相垂直的兩個側邊的方向和垂直于鏡頭座頂面的方向來對鏡頭進行姿態調整，增強了調整鏡頭的便利性，提升了效率；采用彈墊來代替現有技術方案中調整機構使用的彈簧，使得本申請的五維調整裝置在調節完畢鎖緊后具有更好的剛性。的剛性。的剛性。
【技術實現步驟摘要】
一種五維調整裝置
[0001]本技術涉及光機設計領域，尤其涉及一種五維調整裝置。
技術介紹
[0002]隨著國產半導體膜厚量測設備技術的不斷進步，光學設備的核心光機也更加注重精密化、小型化和模塊化，光機設計也需要更多考慮產品適度緊湊、人性化、易調節、易加工和盡量簡潔。但光機內部通常包含有多種鏡頭或其他需要光學對準的部件，為了協調各模塊優化銜接和緊湊，一般需要將五維調節機構盡量塞進狹小的空間內，同時保證可靠的調節精度和調節便捷性。
[0003]為滿足光機部件調整需求，現有技術方案中主要的五維調整裝置的包括：
[0004]1)商用的五維調整架；市面成熟的商用五維調整架是光機設計的優選考慮產品，但實際的光機結構有時沒有多方合適的五維調整架可以使用，可能存在體積太大、安裝接口不合適、結構協調困難和設計復雜等問題，從而導致這些成熟的產品被排除在外；
[0005]2)根據光機實際優化需求自行設計加工五維調整裝置；傳統的自行設計的五維調整裝置存在的機構內部多使用彈簧，體積相對較大。
技術實現思路
[0006]本申請實施例的目的是提供一種五維調整裝置。
[0007]本申請實施例提供了一種五維調整裝置，其特征在于，包括：
[0008]鏡頭座、俯仰板、微調頂絲、螺釘、鏡頭支架、槽墊塊、錐墊塊、平墊塊、彈墊和平墊；
[0009]其中，俯仰板用于在多個方向對鏡頭進行調節；
[0010]其中，所述彈墊起到壓簧的作用。
[0011]根據一個實施例，通過將螺釘穿過彈墊、平墊和俯仰板的螺釘通孔，然后旋入鏡頭座的螺釘孔，并在角度調節完畢后鎖緊螺釘，來對所述俯仰板進行固定。
[0012]根據一個實施例，通過位于俯仰板側面的微調頂絲，來在鏡頭座互相垂直的兩個側邊的方向對鏡頭進行調節。
[0013]根據一個實施例，通過鏡頭與鏡頭支架的配合螺紋旋進旋出，來在垂直于鏡頭座頂面的方向對鏡頭進行調節。
[0014]根據一個實施例，所述鏡頭座設有螺紋孔和墊塊槽，所述螺紋孔和墊塊槽用于安裝螺釘、平墊塊、槽墊塊和錐墊塊。
[0015]與現有技術相比，本申請實施例具有以下優點：根據本申請的五維調整裝置的結構緊湊，能夠在在鏡頭座互相垂直的兩個側邊的方向和垂直于鏡頭座頂面的方向來對鏡頭進行姿態調整，增強了調整鏡頭的便利性，提升了效率；根據本申請的五維調整裝置采用彈墊來代替現有技術方案中調整機構使用的彈簧，使得本申請的五維調整裝置在調節完畢鎖緊后具有更好的剛性。
附圖說明
[0016]通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實施例所作的詳細描述，本技術的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：
[0017]圖1示出了根據本申請實施例的一個示例性的鏡頭五維調整裝置的結構的俯視圖；
[0018]圖2示出了根據本申請實施例的一個示例性的鏡頭五維調整裝置的分解示意圖；
[0019]圖3示出了根據本申請實施例的一個示例性的鏡頭五維調整裝置的槽墊塊、錐墊塊和平墊塊的結構示意圖；
[0020]圖4示出了根據本申請實施例的一個示例性的鏡頭五維調整裝置的彈墊和平墊的結構示意圖；
[0021]圖5示出了根據本申請實施例的一個示例性的鏡頭五維調整裝置的結構的剖面圖。
[0022]附圖中相同或相似的附圖標記代表相同或相似的部件。
具體實施方式
[0023]根據本申請實施例的五維調整裝置包括俯仰板、微調頂絲、螺釘、槽墊塊、錐墊塊、平墊塊、彈墊和平墊。
[0024]根據一個實施例，所述五維調整裝置還包括鏡頭座和鏡頭支架。
[0025]其中，通過將螺釘穿過彈墊、平墊和俯仰板的螺釘通孔，然后旋入鏡頭座的螺釘孔，并在角度調節完畢后鎖緊螺釘，來對所述俯仰板進行固定。
[0026]其中，所述鏡頭座設有螺紋孔和墊塊槽，所述螺紋孔和墊塊槽用于安裝螺釘、平墊塊、槽墊塊和錐墊塊。
[0027]其中，俯仰板用于在多個方向對鏡頭進行調節。
[0028]具體地，通過位于俯仰板側面的微調頂絲，來在鏡頭座互相垂直的兩個側邊的方向對鏡頭進行調節；通過鏡頭與鏡頭支架的配合螺紋旋進旋出，來在垂直于鏡頭座頂面的方向對鏡頭進行調節。
[0029]其中，所述彈墊起到壓簧的作用。并且，所述彈墊可包括各種規格的標準件彈墊。
[0030]下面結合附圖對本技術作進一步詳細描述。
[0031]圖1至圖5分別示出了根據本申請實施例的一個示例性的鏡頭五維調整裝置的結構示意圖。
[0032]其中，圖1示出了本示例性的鏡頭五維調整裝置的結構的俯視圖；圖2示出了該五維調整裝置的分解示意圖；圖3示出了該五維調整裝置的槽墊塊、錐墊塊和平墊塊的結構示意圖；圖4示出了該五維調整裝置的彈墊和平墊的結構示意圖；圖5示出了該五維調整裝置的結構的剖面圖。
[0033]圖1至圖5中的各個附圖標記及其所對應的部件表示如下：
[0034]11：鏡頭座；
[0035]12：俯仰板；
[0036]13：微調頂絲；
[0037]14：螺釘；
[0038]15：鏡頭；
[0039]16：鏡頭支架；
[0040]21：槽墊塊；
[0041]22：錐墊塊；
[0042]23：平墊塊；
[0043]31：彈墊；
[0044]32：平墊；
[0045]41：鏡頭與鏡頭支架的配合螺紋；
[0046]42：俯仰板頂面；
[0047]43：間隙；
[0048]44：鏡頭座頂面。
[0049]參照圖1至圖5，鏡頭五維調整裝置包括鏡頭座11、俯仰板12、微調頂絲13、螺釘14、鏡頭支架16、槽墊塊21、錐墊塊22、平墊塊23、彈墊31和平墊32。
[0050]其中，安裝順序以鏡頭軸線為參考，依次為鏡頭座11、俯仰板12、鏡頭支架16和鏡頭15。
[0051]其中，鏡頭座11設有中心通孔，該中心通孔用于插入鏡頭15。
[0052]其中，俯仰板12用于在多個方向對鏡頭15進行調節。俯仰板12通過螺釘14、彈墊31、平墊32和微調頂絲13與鏡頭座11相連接。
[0053]具體地，通過將螺釘14穿過彈墊31、平墊32和俯仰板的螺釘通孔，然后旋入鏡頭座的螺釘孔，角度調節完畢后鎖緊螺釘14，來對俯仰板12進行固定。其中，彈墊31和平墊32的結構如圖4所示。
[0054]其中，鏡頭15旋入鏡頭支架16后，鏡頭支架16通過螺釘14固定于俯仰板12。
[0055]根據一個實施例，所述鏡頭座11設有螺紋孔和墊塊槽，所述螺紋孔和墊塊槽用于安裝螺釘14、平墊塊23、槽墊塊21和錐墊塊22。其中，所述槽墊塊21、錐墊塊22和平墊塊23的結構如圖3所示。
[0056]其中，采用點膠的方式將槽墊塊21、錐墊塊22和平墊塊23固定于墊塊槽。優選地，各個墊塊與墊塊槽側邊間隙為0.05mm至0.1mm。
[0057本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種五維調整裝置，其特征在于，包括：鏡頭座、俯仰板、微調頂絲、螺釘、鏡頭支架、槽墊塊、錐墊塊、平墊塊、彈墊和平墊；其中，俯仰板用于在多個方向對鏡頭進行調節；其中，所述彈墊起到壓簧的作用。2.根據權利要求1所述的五維調整裝置，其特征在于，所述五維調整裝置還包括鏡頭座和鏡頭支架。3.根據權利要求1或2所述的五維調整裝置，其特征在于，通過將螺釘穿過彈墊、平墊和俯仰板的螺釘通孔，然后旋入鏡頭座的螺釘孔，并在角度調節完畢后鎖緊螺釘，來對所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：孫思華，毛宗欽，劉紅星，
申請(專利權)人：睿勵科學儀器上海有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。