雙門過渡閥腔制造技術

本實用新型專利技術公開了一種雙門過渡閥腔，屬于太陽能電池制造技術領域。雙門過渡閥腔包括閥體、第一密封閥門、第二密封閥門和抽真空設備，閥體包括進口端、出口端和連通進口端及出口端的過渡腔，閥體上設有進氣口和抽真空口，進氣口設置于閥體的頂部且與過渡腔連通，用于引入保護氣體；抽真空口設置于閥體的底部且與過渡腔連通；第一密封閥門設置于閥體，用于封堵進口端；第二密封閥門設置于閥體，用于封堵出口端；抽真空設備與抽真空口連通。本實用新型專利技術不僅可以避免硅片在前后工藝腔搬運的過程中發生氣源污染，還可以調節硅片的溫度以滿足工藝要求。要求。要求。

【技術實現步驟摘要】
雙門過渡閥腔


[0001]本技術涉及太陽能電池制造
，尤其涉及一種雙門過渡閥腔。

技術介紹

[0002]薄膜/晶硅異質結太陽能電池(以下簡稱異質結太陽能電池，又可稱HIT或 HJT或SHJ太陽能電池)屬于第三代高效太陽能電池技術，其結合了第一代晶硅與第二代硅薄膜的優勢，具有轉換效率高、溫度系數低等特點，特別是雙面的異質結太陽能電池轉換效率可以達到26％以上，具有廣闊的市場前景。
[0003]隨著工藝的不斷改進和對設備的要求越來越高，在兩種工藝腔體之間前后兩種腔體由于所作的工藝不同，在將前工藝腔中載板上的硅片搬運至后工藝腔中時，不僅容易導致污染前后兩種工藝腔體彼此的氣源，而且剛從前工藝腔搬運到后工藝腔的硅片無法符合后工藝腔的溫度。
[0004]為此，亟需提供一種雙門過渡閥腔以解決上述問題。

技術實現思路

[0005]本技術的目的在于提供一種雙門過渡閥腔，可以避免硅片在前后工藝腔搬運的過程中發生氣源污染，還可以調節硅片的溫度以滿足工藝要求。
[0006]為實現上述目的，提供以下技術方案：
[0007]雙門過渡閥腔，包括：
[0008]閥體，包括進口端、出口端和連通所述進口端及所述出口端的過渡腔，所述閥體上設有進氣口和抽真空口，所述進氣口設置于所述閥體的頂部且與所述過渡腔連通，且用于引入保護氣體；所述抽真空口設置于所述閥體的底部且與所述過渡腔連通；
[0009]第一密封閥門，設置于所述閥體，且用于封堵所述進口端；
[0010]第二密封閥門，設置于所述閥體，且用于封堵所述出口端；
[0011]抽真空設備，與所述抽真空口連通。
[0012]作為雙門過渡閥腔的可選方案，還包括設置于所述閥體內的彌散管，所述彌散管的一端與所述進氣口連通，且所述彌散管上設有與所述過渡腔連通的氣孔。
[0013]作為雙門過渡閥腔的可選方案，所述進氣口設置有多個，所述彌散管設置有多個，且多個所述進氣口與多個所述彌散管一一對應設置。
[0014]作為雙門過渡閥腔的可選方案，所述彌散管沿直線向下延伸設置；或所述彌散管螺旋向下延伸設置。
[0015]作為雙門過渡閥腔的可選方案，所述氣孔均布在所述彌散管的側壁上。
[0016]作為雙門過渡閥腔的可選方案，所述閥體的頂部設置有真空度檢測孔，所述真空度檢測孔與所述過渡腔連通，且真空度檢測器安裝于所述真空度檢測孔上。
[0017]作為雙門過渡閥腔的可選方案，所述閥體的側壁貫通開設有維修口，所述維修口處設置有維修門，所述維修門能夠相對所述閥體打開或閉合。
[0018]作為雙門過渡閥腔的可選方案，所述維修門上設置有視鏡窗。
[0019]作為雙門過渡閥腔的可選方案，還包括設置于所述閥體頂部的第一閥門驅動機構和第二閥門驅動機構，所述第一閥門驅動機構與所述第一密封閥門的第一轉動軸傳動連接以驅動所述第一密封閥門開啟或者關閉，所述第二閥門驅動機構與所述第二密封閥門的第二轉動軸傳動連接以驅動所述第二密封閥門開啟或者關閉。
[0020]作為雙門過渡閥腔的可選方案，還包括設置于所述閥體底部的第三閥門驅動機構和第四閥門驅動機構，所述第三閥門驅動機構與所述第一密封閥門的第一轉動軸傳動連接以驅動所述第一密封閥門開啟或者關閉，所述第四閥門驅動機構均與所述第二密封閥門的第二轉動軸傳動連接以驅動所述第二密封閥門開啟或者關閉。
[0021]與現有技術相比，本技術的有益效果：
[0022]本技術所提供的雙門過渡閥腔，在閥體上相對設置有進口端和出口端，進口端用于與前工藝腔連通，出口端用于與后工藝腔連通，在進口端和出口端分別轉動設置有第一密封閥門和第二密封閥門，閥體的頂部和底部分別設置進氣口和抽真空口，抽真空設備使閥體的過渡腔內始終滿足一定的真空度；在實際使用中，硅片經過前工藝腔處理完畢后，打開第一密封閥門使硅片進入過渡腔，關閉第一密封閥門，將氮氣、氬氣等惰性氣體通過進氣口進入過渡腔，由于抽真空設備持續工作，將過渡腔內的氣體從抽真空口排出，然后打開第二密封閥門，將硅片搬運到后工藝腔，避免硅片在前后工藝腔搬運的過程中發生氣源污染；由于氮氣在過渡腔內吹過硅片，會帶走硅片的部分熱量，可以調節硅片的溫度以滿足后工藝腔對硅片溫度的要求。
附圖說明
[0023]為了更清楚地說明本技術實施例中的技術方案，下面將對本技術實施例描述中所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據本技術實施例的內容和這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1為本技術實施例中雙門過渡閥腔的裝配示意圖(未示出第一密封閥門和第二密封閥門)；
[0025]圖2為本技術實施例中雙門過渡閥腔的俯視圖；
[0026]圖3為本技術實施例中雙門過渡閥腔的仰視圖；
[0027]圖4為本技術實施例中雙門過渡閥腔的剖視圖。
[0028]附圖標記：
[0029]1、閥體；2、進氣口；3、抽真空口；4、彌散管；5、真空度檢測孔；6、真空度檢測器；7、維修門；8、視鏡窗；9、第一轉動軸；10、第二轉動軸；11、進口端；12、出口端；13、過渡腔；14、氣缸；15、連桿；16、擺動桿；
[0030]100、第一閥門驅動機構；200、第二閥門驅動機構；300、第三閥門驅動機構；400、第四閥門驅動機構。
具體實施方式
[0031]為使本技術實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新
型實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。通常在此處附圖中描述和示出的本技術實施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設計。
[0032]因此，以下對在附圖中提供的本技術的實施例的詳細描述并非旨在限制要求保護的本技術的范圍，而是僅僅表示本技術的選定實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0033]應注意到：相似的標號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進行進一步定義和解釋。
[0034]在本技術的描述中，需要說明的是，術語“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，或者是該技術產品使用時慣常擺放的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區分描述，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本技術的描述中，除非另有說明，“本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種雙門過渡閥腔，其特征在于，包括：閥體(1)，包括進口端(11)、出口端(12)和連通所述進口端(11)及所述出口端(12)的過渡腔(13)，所述閥體(1)上設有進氣口(2)和抽真空口(3)，所述進氣口(2)設置于所述閥體(1)的頂部且與所述過渡腔(13)連通，且用于引入保護氣體；所述抽真空口(3)設置于所述閥體(1)的底部且與所述過渡腔(13)連通；第一密封閥門，設置于所述閥體(1)，且用于封堵所述進口端(11)；第二密封閥門，設置于所述閥體(1)，且用于封堵所述出口端(12)；抽真空設備，與所述抽真空口(3)連通。2.根據權利要求1所述的雙門過渡閥腔，其特征在于，還包括設置于所述閥體(1)內的彌散管(4)，所述彌散管(4)的一端與所述進氣口(2)連通，且所述彌散管(4)上設有與所述過渡腔(13)連通的氣孔。3.根據權利要求2所述的雙門過渡閥腔，其特征在于，所述進氣口(2)設置有多個，所述彌散管(4)設置有多個，且多個所述進氣口(2)與多個所述彌散管(4)一一對應設置。4.根據權利要求3所述的雙門過渡閥腔，其特征在于，所述彌散管(4)沿直線向下延伸設置；或所述彌散管(4)螺旋向下延伸設置。5.根據權利要求3所述的雙門過渡閥腔，其特征在于，所述氣孔均布在所述彌散管(4)的側壁上。6.根據權利要求1所述的雙門過渡閥腔，其特征在于，所述閥體(1)...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱鶴囡，戴佳，林佳繼，張武，
申請(專利權)人：拉普拉斯無錫半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：