本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及壓電微泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種壓電微泵的振動(dòng)板及其壓電微泵，該振動(dòng)板包括振動(dòng)部和配置在振動(dòng)部外周的連接部，本實(shí)用新型專利技術(shù)的壓電微泵的振動(dòng)板一方面連接部除去窗口的部分均能夠與支撐板固定連接，極大地提高了作為關(guān)鍵部件的振動(dòng)板與支撐板之間的連接面積，增大了連接強(qiáng)度，降低了工作過程中連接失效的風(fēng)險(xiǎn)，另一方面，通過設(shè)置由內(nèi)懸臂部、中間懸臂部和外懸臂部構(gòu)成的懸臂結(jié)構(gòu)，在有限的空間內(nèi)等效增加了懸臂結(jié)構(gòu)的長度和寬度，能夠減小懸臂結(jié)構(gòu)變形過程中懸臂結(jié)構(gòu)與梁部以及懸臂結(jié)構(gòu)與連接部之間連接位置處的應(yīng)力集中，降低工作過程中，懸臂結(jié)構(gòu)從根部斷裂失效的風(fēng)險(xiǎn)，提高使用壽命。提高使用壽命。提高使用壽命。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種壓電微泵的振動(dòng)板及其壓電微泵
[0001]本技術(shù)涉及壓電微泵
，尤其是一種壓電微泵的振動(dòng)板，此外，本技術(shù)還涉及一種包括上述壓電微泵的振動(dòng)板的壓電微泵。
技術(shù)介紹
[0002]壓電驅(qū)動(dòng)型流體輸送和控制裝置具有結(jié)構(gòu)緊湊，易微小型化，易集成，控制精度高，響應(yīng)速度快，功耗低、壽命長、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，在醫(yī)療、生物、化工等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用需求。
[0003]對此，現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)了一些壓電微泵，如專利文獻(xiàn)CN109869302A一種垂直支承微型壓電泵，其撓性板(振動(dòng)板)中的梁部為周向設(shè)置，導(dǎo)致梁部隨致動(dòng)器(壓電振子)彎曲時(shí)，容易發(fā)生扭轉(zhuǎn)變形，進(jìn)而導(dǎo)致梁部的根部形成應(yīng)力集中，容易發(fā)生斷裂；
[0004]專利文獻(xiàn)CN 111980887 A中公開了一種壓電微泵的錯(cuò)層支承結(jié)構(gòu)及氣體控制裝置，其共振板(振動(dòng)板)中的懸臂為徑向設(shè)置，雖然能夠在梁部隨壓電振子彎曲時(shí)，可大幅度的降低扭轉(zhuǎn)變形，但是其梁部均為設(shè)置在共振板的外周，勢必會(huì)導(dǎo)致共振板與支承板之間的有效連接面積變小，存在連接失效的風(fēng)險(xiǎn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0005]本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是：為了解決現(xiàn)有技術(shù)中壓電微泵內(nèi)的振動(dòng)板無法同時(shí)兼具降低梁部變形過程中懸臂結(jié)構(gòu)連接位置的應(yīng)力集中及具有較大有效連接面積的問題，現(xiàn)提供一種壓電微泵的振動(dòng)板，此外，本技術(shù)提供一種包括上述壓電微泵的振動(dòng)板的壓電微泵。
[0006]本技術(shù)解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種壓電微泵的振動(dòng)板，所述壓電微泵具有壓電振子，所述振動(dòng)板用于和壓電振子配合，該振動(dòng)板包括振動(dòng)部和配置在振動(dòng)部外周的連接部，所述振動(dòng)部上貫穿有過流孔；
[0007]所述連接部上貫穿有至少一個(gè)窗口，所述窗口內(nèi)具有用于和壓電振子固定連接的連接懸臂，所述連接懸臂包括梁部及懸臂結(jié)構(gòu)，所述懸臂結(jié)構(gòu)包括內(nèi)懸臂部、中間懸臂部和外懸臂部，所述內(nèi)懸臂部和外懸臂部的數(shù)量總和大于三個(gè)，所述內(nèi)懸臂部的一端均與窗口的內(nèi)壁連接，另一端均與中間懸臂部的內(nèi)側(cè)壁連接，中間懸臂部的外側(cè)壁和外懸臂部連接，外懸臂部遠(yuǎn)離中間懸臂部的一端和梁部連接，梁部遠(yuǎn)離外懸臂部的一端懸空。
[0008]本實(shí)施例中一方面連接部除去窗口的部分均能夠與支撐板固定連接，極大地提高了作為關(guān)鍵部件的振動(dòng)板與支撐板之間的連接面積，增大了連接強(qiáng)度，降低了工作過程中連接失效的風(fēng)險(xiǎn)，另一方面，通過設(shè)置由內(nèi)懸臂部、中間懸臂部和外懸臂部構(gòu)成的懸臂結(jié)構(gòu)，在有限的空間內(nèi)等效增加了懸臂結(jié)構(gòu)的長度和寬度，能夠減小懸臂結(jié)構(gòu)變形過程中懸臂結(jié)構(gòu)與梁部以及懸臂結(jié)構(gòu)與連接部之間連接位置處的應(yīng)力集中，降低工作過程中，懸臂結(jié)構(gòu)從根部斷裂失效的風(fēng)險(xiǎn)，提高使用壽命。
[0009]進(jìn)一步地，所述內(nèi)懸臂部和外懸臂部在振動(dòng)部的周向上相互錯(cuò)開；也就是說內(nèi)懸
臂部和外懸臂部與中間懸臂部的連接點(diǎn)彼此錯(cuò)開，便于等效增大懸臂結(jié)構(gòu)的長度和寬度，使中間懸臂部受力相對均勻，避免中間懸臂部發(fā)生局部受力集中的現(xiàn)象。
[0010]優(yōu)選地，所述內(nèi)懸臂部和外懸臂部均具有兩個(gè)；
[0011]對于內(nèi)懸臂部和外懸臂部均具有兩個(gè)的情況，其布局可采用以下兩種方案：
[0012]其一為，兩個(gè)所述內(nèi)懸臂部分別位于中間懸臂部內(nèi)側(cè)壁的兩端，兩個(gè)所述外懸臂部均位于中間懸臂部外側(cè)壁的中間部位。
[0013]其二為，兩個(gè)所述內(nèi)懸臂部均位于中間懸臂部內(nèi)側(cè)壁的中間部位，兩個(gè)所述外懸臂部分別位于中間懸臂部外側(cè)壁的兩端。
[0014]進(jìn)一步地，所述連接部與振動(dòng)部一體成型，或者連接部與振動(dòng)部固定連接。
[0015]進(jìn)一步地，所述振動(dòng)板為導(dǎo)電體。
[0016]進(jìn)一步地，所述連接部為導(dǎo)電體。
[0017]進(jìn)一步地，所述連接懸臂與連接部一體成型；或者連接懸臂與連接部固定連接。
[0018]進(jìn)一步地，所述連接部的外側(cè)邊緣設(shè)有第二外部電極。
[0019]本技術(shù)還提供一種壓電微泵，包括泵殼、壓電振子及支撐結(jié)構(gòu)，所述泵殼和支撐結(jié)構(gòu)之間構(gòu)建出容納腔，支撐結(jié)構(gòu)包括支撐板及設(shè)在支撐板上的振動(dòng)板，所述振動(dòng)板和壓電振子均位于容納腔內(nèi)，所述的振動(dòng)板為上述的用于壓電微泵的振動(dòng)板，所述支撐板朝向容納腔的一側(cè)和振動(dòng)板的連接部固定連接，所述支撐板朝向振動(dòng)板的一側(cè)設(shè)置有凹陷槽，所述凹陷槽與振動(dòng)部相對，并與振動(dòng)板配合形成引流腔，支撐板上設(shè)置有與引流腔連通的進(jìn)氣孔，所述連接懸臂和壓電振子固定連接，支撐板朝向振動(dòng)板的一側(cè)設(shè)有與連接懸臂位置對應(yīng)的避讓槽。
[0020]進(jìn)一步地，所述振動(dòng)板的連接部的外周邊緣夾持在泵殼和支撐板之間。
[0021]本技術(shù)的有益效果是：本技術(shù)的壓電微泵的振動(dòng)板一方面連接部除去窗口的部分均能夠與支撐板固定連接，極大地提高了作為關(guān)鍵部件的振動(dòng)板與支撐板之間的連接面積，增大了連接強(qiáng)度，降低了工作過程中連接失效的風(fēng)險(xiǎn)，另一方面，通過設(shè)置由內(nèi)懸臂部、中間懸臂部和外懸臂部構(gòu)成的懸臂結(jié)構(gòu)，在有限的空間內(nèi)等效增加了懸臂結(jié)構(gòu)的長度和寬度，能夠減小懸臂結(jié)構(gòu)變形過程中懸臂結(jié)構(gòu)與梁部以及懸臂結(jié)構(gòu)與連接部之間連接位置處的應(yīng)力集中，降低工作過程中，懸臂結(jié)構(gòu)從根部斷裂失效的風(fēng)險(xiǎn)，提高使用壽命。
附圖說明
[0022]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本技術(shù)進(jìn)一步說明。
[0023]圖1是本技術(shù)一種壓電微泵的振動(dòng)板的示意圖；
[0024]圖2是本技術(shù)壓電微泵的振動(dòng)板配置在壓電微泵內(nèi)的示意圖；
[0025]圖3是本技術(shù)壓電微泵的進(jìn)氣過程示意圖；
[0026]圖4是本技術(shù)壓電微泵的出氣過程示意圖；
[0027]圖中：1、泵殼，11、蓋板，111、出氣孔，12、第一隔板，13、電極板，131、第一外部電極，14、第二隔板；
[0028]2、壓電振子，21、基板，211、連接凸臺，22、壓電元件；
[0029]3、振動(dòng)板，31、振動(dòng)部，311、過流孔，32、連接部，321、窗口，322、連接懸臂，3221、梁部，3222、內(nèi)懸臂部，3223、中間懸臂部，3224、外懸臂部，323、第二外部電極；
[0030]4、支撐板，41、凹陷槽，42、避讓槽，43、進(jìn)氣孔；
[0031]5、容納腔；
[0032]6、引流腔。
具體實(shí)施方式
[0033]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本技術(shù)的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本技術(shù)有關(guān)的構(gòu)成，方向和參照(例如，上、下、左、右、等等)可以僅用于幫助對附圖中的特征的描述。因此，并非在限制性意義上采用以下具體實(shí)施方式，并且僅僅由所附權(quán)利要求及其等同形式來限定所請求保護(hù)的主題的范圍。
[0034]實(shí)施例1
[0035]如圖1和2所示，一種壓電微泵的振動(dòng)板，所述壓電微泵具有壓電振子2，所述振動(dòng)板3用于和壓電振子2配合，該振動(dòng)板3包括振動(dòng)部31和配置在振動(dòng)部31外周的連接部32，所述振動(dòng)部31上貫穿有過流孔311；
[0036]所述連接部32上貫穿有至少一個(gè)窗口321，所述窗口本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種壓電微泵的振動(dòng)板，所述壓電微泵具有壓電振子(2)，所述振動(dòng)板(3)用于和壓電振子(2)配合，其特征在于：該振動(dòng)板(3)包括振動(dòng)部(31)和配置在振動(dòng)部(31)外周的連接部(32)，所述振動(dòng)部(31)上貫穿有過流孔(311)；所述連接部(32)上貫穿有至少一個(gè)窗口(321)，所述窗口(321)內(nèi)具有用于和壓電振子(2)固定連接的連接懸臂(322)，所述連接懸臂(322)包括梁部(3221)及懸臂結(jié)構(gòu)，所述懸臂結(jié)構(gòu)包括內(nèi)懸臂部(3222)、中間懸臂部(3223)和外懸臂部(3224)，所述內(nèi)懸臂部(3222)和外懸臂部(3224)的數(shù)量總和大于三個(gè)，所述內(nèi)懸臂部(3222)的一端均與窗口(321)的內(nèi)壁連接，另一端均與中間懸臂部(3223)的內(nèi)側(cè)壁連接，中間懸臂部(3223)的外側(cè)壁和外懸臂部(3224)連接，外懸臂部(3224)遠(yuǎn)離中間懸臂部(3223)的一端和梁部(3221)連接，梁部(3221)遠(yuǎn)離外懸臂部(3224)的一端懸空。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電微泵的振動(dòng)板，其特征在于：所述內(nèi)懸臂部(3222)和外懸臂部(3224)在振動(dòng)部(31)的周向上相互錯(cuò)開。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電微泵的振動(dòng)板，其特征在于：所述內(nèi)懸臂部(3222)和外懸臂部(3224)均具有兩個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電微泵的振動(dòng)板，其特征在于：兩個(gè)所述內(nèi)懸臂部(3222)分別位于中間懸臂部(3223)內(nèi)側(cè)壁的兩端，兩個(gè)所述外懸臂部(3224)均位于中間懸臂部(3223)外側(cè)壁的中間部位。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電微泵的振動(dòng)板，其特征在于：兩個(gè)所述內(nèi)懸臂部(3222)均位于中間懸臂部(3223)內(nèi)側(cè)壁的中間部位，兩個(gè)所述外懸臂部(3224)分別位于中間懸...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：?七四專利代理機(jī)構(gòu)，
申請(專利權(quán))人：常州威圖流體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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