一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐制造技術

本實用新型專利技術公開了一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐，通過階梯設置的溫度進行鈍化，并且在其中加入N

【技術實現步驟摘要】
一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐
本技術涉及太陽能電池片生產領域，特別涉及一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐。
技術介紹
隨著能源問題的日益突出，太陽能作為一種可再生的清潔能源，越來越受到人們的關注，太陽電池的應用前景也越來越廣泛。晶體硅太陽電池一直是太陽電池領域的主力軍，特別單晶硅電池轉換率高于多晶硅，受到青睞。但是國內民用太陽能電池的普及率依然很低，原因還是在太陽能電池生產成本過高，理論上理想的生產工藝與產業化生產差距大，成品良率低，電池轉換效率也與理論相差大，電池安裝成本高等。因此降低制造成本和提高轉化率是太陽電池制造行業的努力方向。電池片在生產過程中，需要在硅片的表面鍍上一層減反射膜。目前，采用等離子體增強化學氣相沉積方法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)，使氣體在硅電池片表面發生化學反應并形成覆蓋層，即減反射膜。此減反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的體鈍化和表面鈍化，以及利用氮化硅薄膜的強致密性和耐多數酸堿性，在硅片表面形成保護層。電池片的PECVD工序一般通過PECVD機完成，PECVD機在石英管的兩端通微波源，表面抽真空的條件下將氨氣和硅烷分解成高能離子狀態，經過一系列化學反應轉變成氮化硅氣體，在硅片表面沉積氮化硅固態薄膜，同時分解出來的氫離子，將硅片表面原有缺陷鈍化。
技術實現思路
針對以上現有技術存在的缺陷，本技術的主要目的在于克服現有技術的不足之處，公開了一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐，包括爐管、換熱機構和抽氣機構，所述爐管包括石英內層、加熱層和保溫外層，所述爐管的爐口端設置進氣口，所述抽氣機構設置在所述爐管的尾端，利用所述抽氣機構對所述爐管內抽氣，以促進爐管內氣體流動；所述換熱機構將所述爐管內爐口端的氣體傳送至所述爐管的尾端。進一步地，所述加熱層有依次設置的五個獨立控制的電熱絲組成，并且通過熱電偶進行實時測溫。進一步地，所述抽氣機構包括抽氣泵和抽氣管，所述抽氣管沿所述爐管尾端的周向設置四個抽氣口。進一步地，所述保溫外層為玻璃纖維棉。進一步地，所述換熱機構包括換熱管和換熱抽氣泵，所述換熱抽氣泵通過所述換熱管將所述爐管的爐口端與尾端連接。進一步地，所述爐管的爐口端沿其側壁軸向設置若干個換熱孔，所述換熱孔與所述換熱管連接。本技術取得的有益效果：本技術中通過階梯設置的溫度進行鈍化，并且在其中加入N2O，能夠提高背鈍化的效果；另外，增加換熱機構，使得爐門打開時，將端部氣體傳遞至爐管尾端，盡可能減少熱量的喪失，進而節約能源。加熱層采用獨立控制的電熱絲作為加熱源，降低了設備成本，并且對爐內溫度實現分區控制，使溫度控制更加精確。附圖說明圖1為本技術的一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐的結構示意圖；附圖標記如下：1、爐管，2、換熱機構，3、抽氣機構，11、石瑛內層，12、加熱層，13、保溫外層，21、換熱管，22、抽氣泵，31、抽氣泵，32、抽氣管。具體實施方式為了使本技術的目的、技術方案及優點更加清楚明白，下面結合附圖及實施例對本技術作進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本技術，并不用于限定本技術。實施例1一種氮氧化硅PERC背鈍化方法，包括以下步驟：第一步，啟動鈍化爐，對其進行預熱，使其加熱至350℃，保溫20分鐘；第二步，將電池片的石墨舟放入鈍化爐內，保持爐內溫度350℃，鈍化爐內部壓力保持在191Pa，通入NH3和N2O，并且其重量比例為1:2，保溫110秒；鍍膜厚度為19.7nm，折射率2.7。第三步，鈍化爐內部壓力保持在191Pa，通入SiH4、NH3和N20的混合氣體，并且其重量比例為1:3:6，保溫900秒；鍍膜厚度為82nm，折射率2.19。第四步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，鈍化爐內升溫至480℃，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:3，保溫180秒；鍍膜厚度為30.2nm，折射率2.2。第五步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:4，保溫75秒；鍍厚度為9.8nm，折射率2.15。第六步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:5，保溫400秒；鍍膜厚度為51.3nm，折射率2.1。第七步，取出石墨舟。實施例2一種氮氧化硅PERC背鈍化方法，包括以下步驟：第一步，啟動鈍化爐，對其進行預熱，使其加熱至350℃，保溫20分鐘；第二步，將電池片的石墨舟放入鈍化爐內，保持爐內溫度350℃，鈍化爐內部壓力保持在191Pa，通入NH3和N2O，并且其重量比例為1:2，保溫112秒；鍍膜厚度為20nm，折射率2.7。第三步，鈍化爐內部壓力保持在191Pa，通入SiH4、NH3和N20的混合氣體，并且其重量比例為1:3:6，保溫930秒；鍍膜厚度為83nm，折射率2.2。第四步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，鈍化爐內升溫至480℃，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:3，保溫190秒；鍍膜厚度為31nm，折射率2.23。第五步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:4，保溫80秒；鍍厚度為10nm，折射率2.18。第六步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:5，保溫420秒；鍍膜厚度為52nm，折射率2.1。第七步，取出石墨舟。實施例3一種氮氧化硅PERC背鈍化方法，包括以下步驟：第一步，啟動鈍化爐，對其進行預熱，使其加熱至350℃，保溫20分鐘；第二步，將電池片的石墨舟放入鈍化爐內，保持爐內溫度350℃，鈍化爐內部壓力保持在191Pa，通入NH3和N2O，并且其重量比例為1:2，保溫120秒；鍍膜厚度為20.3nm，折射率2.7。第三步，鈍化爐內部壓力保持在191Pa，通入SiH4、NH3和N20的混合氣體，并且其重量比例為1:3:6，保溫1000秒；鍍膜厚度為83.2nm，折射率2.21。第四步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，鈍化爐內升溫至480℃，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:3，保溫200秒；鍍膜厚度為31nm，折射率2.23。第五步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:4，保溫85秒；鍍厚度為10nm，折射率2.17。第六步，鈍化爐內部壓力保持在202Pa，通入SiH4和NH3并且其重量比例為1:5，保溫430秒；鍍膜厚度為52nm，折射率2.11。第七步，取出石墨舟。在上述實施例中，為了節約能源，鈍化爐內從入口處依次設置五個溫區；在第二步和第三步中，第一溫區加熱溫度在360℃，中間三個溫區溫度在350℃，最后一個溫區本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐，其特征在于，包括爐管、換熱機構和抽氣機構，所述爐管包括石英內層、加熱層和保溫外層，所述爐管的爐口端設置進氣口，所述抽氣機構設置在所述爐管的尾端，利用所述抽氣機構對所述爐管內抽氣，以促進爐管內氣體流動；所述換熱機構將所述爐管內爐口端的氣體傳送至所述爐管的尾端。/n

【技術特征摘要】
1.一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐，其特征在于，包括爐管、換熱機構和抽氣機構，所述爐管包括石英內層、加熱層和保溫外層，所述爐管的爐口端設置進氣口，所述抽氣機構設置在所述爐管的尾端，利用所述抽氣機構對所述爐管內抽氣，以促進爐管內氣體流動；所述換熱機構將所述爐管內爐口端的氣體傳送至所述爐管的尾端。


2.根據權利要求1所述的一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐，其特征在于，所述加熱層有依次設置的五個獨立控制的電熱絲組成，并且通過熱電偶進行實時測溫。


3.根據權利要求1所述的一種氮氧化硅PERC背鈍化的鈍化爐，其特征在...

【專利技術屬性】
技術研發人員：雷杰，
申請(專利權)人：昊誠光電太倉有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32