本發(fā)明專利技術(shù)為一種蓄壓除凈的蓄熱焚化爐，其廢氣主要管路與蓄熱焚化爐的通氣管路連接，廢氣旁通管路上設(shè)有廢氣進(jìn)口閥組及通向控制閥組來控制切換管路，控制管路中的廢氣的流向，干凈氣送風(fēng)管路之一端與廢氣主要管路相連接，送入氣體進(jìn)入廢氣主要管路中，干凈氣送風(fēng)管路上設(shè)儲壓桶、氣體控制閥組提供壓縮氣體設(shè)備，使氣體經(jīng)儲壓桶產(chǎn)生高壓下快速進(jìn)入廢氣主要管路中，提供蓄熱焚化爐切換氣流流動方向時，干凈氣送風(fēng)管路中的氣體通過廢氣主要管路快速抵達(dá)至蓄熱焚化爐的通氣管路，使切換氣流方向時的泄漏污染去除，蓄熱焚化爐中其一蓄熱床中未燃燒處理的有機(jī)廢氣進(jìn)入焚化爐燃燒室處理，防止未處理的有機(jī)廢氣直接排出，去除廢氣污染。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種蓄壓除凈的蓄熱焚化爐，有關(guān)一種蓄熱焚化爐(RegenerativeThermalOxidizer， RTO)，通過設(shè)有一蓄熱焚化爐、 一廢 氣主要管路、 一廢氣進(jìn)口閥組、 一通向控制閥組、 一干凈氣送風(fēng)管路、一 儲壓桶、 一氣體控制閥組及一提供壓縮氣體設(shè)備，可將蓄熱燃燒爐氣流流 動方向在切換蓄熱床時一方面使切換氣流方向時的泄漏污染去除，另一作 用其一蓄熱床的未燃燒廢氣不致有外泄，將此蓄熱床中未處理有機(jī)廢氣推 入燃燒室處理，防止未處理有機(jī)廢氣于切換時及切換后排出，避免產(chǎn)生運(yùn) 轉(zhuǎn)的污染峰值，達(dá)到穩(wěn)定利用的功能，適用于產(chǎn)生有機(jī)廢氣需要減除的行 業(yè)如某些特定工業(yè)的生產(chǎn)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)，化工業(yè)等。
技術(shù)介紹
揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)(VolatileOrganicCompound， VOC)在產(chǎn)業(yè)界廣泛被使 用，亦隨制程而排放至大氣環(huán)境，例如，隨半導(dǎo)體與光電業(yè)制程排放的有 機(jī)廢氣，IPA(IsopropylAlcohol， C3H80)、丙酮、環(huán)己酮等，易造成環(huán)境 污染。各國對于揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)皆有嚴(yán)格的空污管制標(biāo)準(zhǔn)，以維護(hù)環(huán)保以 及民眾的健康；例如環(huán)保署已公告實(shí)施半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排 放標(biāo)準(zhǔn)，對于半導(dǎo)體業(yè)揮發(fā)性有機(jī)廢氣強(qiáng)制要求的削減率，至少應(yīng)大于 90%。有機(jī)廢氣的處理方法很多，熱焚化分解有機(jī)廢氣是重要的方法之一， 而蓄熱焚化爐是其中一種，特色是熱回效率可以高達(dá)90%以上。其中蓄熱焚化爐(RT0)可為雙塔式而配置有二個蓄熱床(Regenerativebeds)，蓄 熱床內(nèi)充填蓄熱材，使揮發(fā)性有機(jī)廢氣流經(jīng)蓄熱床預(yù)熱(此時蓄熱材釋出 熱能)，而后進(jìn)入燃燒室；此時，由于燃燒室燃料噴嘴產(chǎn)生火焰提供熱能， 使燃燒室保持一定的溫度(例如850°C)，在設(shè)計(jì)的滯留時間內(nèi)，廢氣所含 的V0Cs成份幾乎被完全氧化成H20及C02然后排放。圖1為一般傳統(tǒng)雙塔式蓄熱焚化爐(RT0)的結(jié)構(gòu)示意圖；其中的蓄 熱焚化爐l 0 a主要含有兩組蓄熱床，第一蓄熱床l 2 a和第二蓄熱床l1 a、燃燒室l 3 a及其相連的廢氣進(jìn)出管線和流向調(diào)節(jié)閥等；其中風(fēng)機(jī)2 8 a自廢氣來源端抽排有機(jī)廢氣(VOCsLadenAir)至蓄熱焚化爐1 0 a 入口后，可有兩種模式進(jìn)入燃燒室l 3 a中反應(yīng)。第一種模式有機(jī)廢氣 通過一風(fēng)機(jī)2 8 a入口進(jìn)入管線，分別經(jīng)由第一流向調(diào)節(jié)閥2 1 a進(jìn)入第 一蓄熱床l 2 a (此時的第二流向調(diào)節(jié)閥2 2 a和第三流向調(diào)節(jié)閥2 3 a 為0FF狀態(tài))；預(yù)熱后進(jìn)的有機(jī)廢氣進(jìn)入燃燒室中進(jìn)行反應(yīng)；有機(jī)廢 氣在燃燒室1 3 a中由燃料噴嘴1 4 a提供一燃燒火焰1 5 a ，其燃燒室 1 3 a內(nèi)部的燃燒溫度可達(dá)攝氏溫度80(TC以上，將有機(jī)廢氣經(jīng)氧化反應(yīng) 形成H20及C02;有機(jī)廢氣經(jīng)由第二蓄熱床l 1 a、第四流向調(diào)節(jié)閥2 4 a，經(jīng)由煙囪3 5 1 a排出至大氣中；其中廢氣在通過第二蓄熱床1 1 a 時，第二蓄熱床l 1 a被來自燃燒室的高溫廢氣流加熱。第二種模式有 機(jī)廢氣由風(fēng)機(jī)2 8 a前段進(jìn)入管線，分別經(jīng)由第三流向調(diào)節(jié)闊2 3 a (此 時的第一流向調(diào)節(jié)閥2 1 a和第四流向調(diào)節(jié)閥2 4 a為OFF狀態(tài))進(jìn)入第 二蓄熱床l 1 a;在通過第二蓄熱床l 1 a預(yù)熱后，有機(jī)廢氣在燃燒室l3 a中由燃燒噴嘴1 4 a提供一燃燒用火焰1 5 a將有機(jī)廢氣氧化成H20 及C02，然后通過第一蓄熱床l 2 a，及第二流向調(diào)節(jié)閥2 2 a排放，第 一蓄熱床1 2 a被自燃燒室的高溫氣流加熱。其上述的第一種和第二種模式定時循環(huán)做氣流流動方向切換保持第 一蓄熱床l 2 a及第二蓄熱床l 1 a可維持高溫用以預(yù)熱有機(jī)廢氣；其中蓄熱材多為陶瓷材料所組成。常用的蓄熱焚化爐l 0 a，運(yùn)作周期中于雙 塔式焚化爐進(jìn)出閥門做切換蓄熱床時，會產(chǎn)生一個相當(dāng)于入口濃度的排放 峰值到煙囪(排放口)，由于焚化爐對有機(jī)廢氣的破壞效率可達(dá)98°/。以上，而入口氣流在切換時會直接排到煙囪，以此98%破壞效率預(yù)估，可知此濃度是經(jīng)焚化爐處里過排氣的50倍高，此一直造成產(chǎn)業(yè)界的困擾；再者，完成切換后，對于原為進(jìn)氣預(yù)熱用的蓄熱床將變?yōu)榕艢庑顭嵊玫男顭岽玻?此時原存在于蓄熱床內(nèi)的廢氣，因?yàn)樯形催M(jìn)入燃燒室焚化分解處理，仍為 未處理廢氣，將因氣流反向而被氣流吹出排放，變成污染。故知常用蓄熱 焚化爐的缺點(diǎn)在于閥的氣流流動方向切換時會產(chǎn)生一污染的切換峰值，其 污染的缺失使得其于實(shí)用場合有其缺失。有鑒于此，本專利技術(shù)期能提供一種蓄壓除凈的蓄熱焚化爐，通過設(shè)有干 凈氣送風(fēng)管路、儲壓桶、氣體控制閥組及提供壓縮氣體設(shè)備的組合設(shè)計(jì)， 即可減除常用蓄熱焚化爐裝置因閥組切換氣流流動方向時的污染峰值的 目的，以有效防止有機(jī)廢氣污染大氣，并可提供相關(guān)于半導(dǎo)體業(yè)或光電產(chǎn) 業(yè)的設(shè)備需求使用，乃潛心研思、設(shè)計(jì)組制，為本專利技術(shù)所欲研創(chuàng)的動機(jī)者。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的主要目的，是提供一種蓄壓除凈的蓄熱焚化爐，具減除污染 物濃度，對傳統(tǒng)蓄熱焚化爐的配合裝置，通過一蓄熱焚化爐、 一廢氣主要 管路、 一廢氣進(jìn)口閥組、 一通向控制閥組、 一干凈氣送風(fēng)管路、 一儲壓桶、 一氣體控制閥組及一提供壓縮氣體設(shè)備的組合設(shè)計(jì)，來控制切換管路，使 雙塔式的蓄熱焚化爐于運(yùn)作周期中氣流流動方向切換時不致有切換峰值 產(chǎn)生的污染物外泄，以供半導(dǎo)體設(shè)備、光電設(shè)備或其它需去除設(shè)備產(chǎn)生污 染物的環(huán)境使用。本專利技術(shù)的次一目的，是提供一種蓄壓除凈的蓄熱焚化爐，通過設(shè)有一 蓄熱焚化爐、 一廢氣主要管路、 一廢氣進(jìn)口閥組、 一通向控制閥組、 一干凈氣送風(fēng)管路、 一儲壓桶、 一氣體控制閥組及一提供壓縮氣體設(shè)備的組合 設(shè)計(jì)，通過儲壓桶來儲存氣體，并以高靜壓方式來將氣體送入廢氣主要管 路及蓄熱床中，使有機(jī)廢氣在高靜壓除凈的效應(yīng)作用下，運(yùn)作周期中其一 蓄熱床未處理廢氣污染自動送進(jìn)燃燒室中燃燒，防止切換峰值的污染。 本專利技術(shù)主要是包含有一蓄熱焚化爐、 一廢氣主要管路、 一廢氣進(jìn)口閥組、 一通向控制閥組、 一干凈氣送風(fēng)管路、 一儲壓桶、 一氣體控制閥組及一提 供壓縮氣體設(shè)備；該廢氣主要管路是與蓄熱焚化爐的通氣管路連接，而廢 氣旁通管路上設(shè)有廢氣進(jìn)口閥組及通向控制閥組來控制切換管路，以控制 管路中的廢氣的流向，而該干凈氣送風(fēng)管路的一端是與廢氣主要管路相連 接，以供送入氣體進(jìn)入廢氣主要管路中，而干凈氣送風(fēng)管路上設(shè)有儲壓桶、 氣體控制閥組及提供壓縮氣體設(shè)備，以使氣體能經(jīng)由儲壓桶產(chǎn)生高靜壓下 而快速進(jìn)入廢氣主要管路中，提供蓄熱焚化爐切換氣流流動方向時，干凈 氣送風(fēng)管路中的氣體可通過廢氣主要管路快速抵達(dá)至蓄熱焚化爐的通氣 管路里， 一方面使切換氣流方向時的泄漏污染去除，另一作用使蓄熱焚化 爐中其一蓄熱床中未燃燒處理的有機(jī)廢氣進(jìn)入焚化爐燃燒室處理，防止未 處理的有機(jī)廢氣于切換時及切換后排出，達(dá)到去除廢氣污染。本專利技術(shù)的其它特點(diǎn)及具體實(shí)施例可于以下配合附圖的詳細(xì)說明中，進(jìn) 一步了解。附圖說明圖1為傳統(tǒng)蓄熱焚化爐的結(jié)構(gòu)示意圖2為本專利技術(shù)第一實(shí)施例中蓄壓除凈的蓄熱焚化爐實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖3為本專利技術(shù)第二實(shí)施例中蓄壓除凈的蓄熱焚化爐實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖4為本專利技術(shù)第三實(shí)施例中蓄壓除凈的蓄熱焚化爐實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖5為本專利技術(shù)第四實(shí)施例中蓄壓除凈的蓄熱焚化爐實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種蓄壓除凈的蓄熱焚化爐，其特征在于包含： 一蓄熱焚化爐，該蓄熱焚化爐設(shè)有第一蓄熱床、第二蓄熱床及一燃燒室，該燃燒室位與第一蓄熱床及第二蓄熱床的頂部相通的空間，而該第一蓄熱床及第二蓄熱床各設(shè)有至少一通氣管路，以供氣體的進(jìn)出； 一廢氣主要管路，該廢氣主要管路與蓄熱焚化爐的第一蓄熱床及第二蓄熱床的通氣管路連接，以供廢氣進(jìn)入燃燒室處理，并將處理后的氣體排出； 一廢氣進(jìn)口閥組，該廢氣進(jìn)口閥組設(shè)于廢氣主要管路上，以控制廢氣進(jìn)出，該廢氣進(jìn)口閥組連設(shè)有一廢氣旁通管路通往燃燒室中，通過廢氣進(jìn)口閥組來控制切換管路； 一通向控制閥組，該通向控制閥組設(shè)于廢氣主要管路上，以控制廢氣的進(jìn)出于第一蓄熱床、第二蓄熱床及燃燒后的氣體排放，通過通向控制閥組來控制切換管路； 一干凈氣送風(fēng)管路，該干凈氣送風(fēng)管路的一端與廢氣主要管路相連接，以供送入氣體進(jìn)入廢氣主要管路及蓄熱床中； 一儲壓桶，該儲壓桶連設(shè)于干凈氣送風(fēng)管路之中，以供儲存氣體； 一氣體控制閥組，該氣體控制閥組設(shè)于干凈氣送風(fēng)管路上，以供控制氣體進(jìn)出；以及 一提供壓縮氣體設(shè)備，該提供壓縮氣體設(shè)備設(shè)于干凈氣送風(fēng)管路之一端，以供將氣體送入儲壓桶中，再將氣體經(jīng)干凈氣送風(fēng)管路送入廢氣主要管路及蓄熱床中； 通過此，提供蓄熱焚化爐于切換雙塔氣流時，通過將氣體送入儲壓桶中，再將此氣體經(jīng)干凈氣送風(fēng)管路送入廢氣主要管路及一蓄熱床中，將此蓄熱床中未處理有機(jī)廢氣推入燃燒室處理，防止未處理有機(jī)廢氣于切換時及切換后排出，達(dá)到去除廢氣污染。...
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄭石治，扶亞民，田磊，徐瑞珠，劉邦昱，洪守銘，
申請(專利權(quán))人：華懋科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：71[中國|臺灣]
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