一種濺射靶材加熱平臺制造技術

本實用新型專利技術公開了一種濺射靶材加熱平臺，涉及加熱平臺，包括機架，機架上固定有多個加熱塊，加熱塊內插接連接有多個電熱棒，多個加熱塊一側抵接有多個用于加熱濺射靶材的墊板，多個加熱塊沿墊板的長度方向設置，機架周側固定有用于收集多余焊料的收集槽，機架于墊板的兩端均固定有用于固定濺射板的固定組件。針對現有技術存在過多焊料融化后易滴落至車間內的問題，本實用新型專利技術通過在機架周側設置收集槽，有效避免多余焊料滴落至車間內，確保車間內的衛生和清潔。

A heating platform for sputtering target

【技術實現步驟摘要】
一種濺射靶材加熱平臺
本技術涉及加熱平臺，更具體地說，它涉及一種濺射靶材加熱平臺。
技術介紹
靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子、顯示器、存儲器以及光學鍍膜等產業上，市場對靶材濺射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。對于現有的靶材涂銦加熱平臺，如專利公開號為CN205385619U的中國專利，其公開了一種靶材涂銦加熱平臺，包括不銹鋼框架、柜體部分和安裝在不銹鋼框架上部的加熱平臺；加熱平臺上設有孔，孔內裝有發熱管。上述專利釬焊濺射靶材時，需要投入較多的釬料，以確保焊接的牢固性，而過多的焊料融化后，液態焊料易向加熱平臺周側流動，繼而滴落在地面，影響車間內部衛生和清潔。
技術實現思路
針對現有技術存在過多焊料融化后易滴落至車間內的問題，本技術的目的是提供一種濺射靶材加熱平臺，其具有方便收集過多焊料的優點。為實現上述目的，本技術提供了如下技術方案：一種濺射靶材加熱平臺，包括機架，所述機架上固定有多個加熱塊，所述加熱塊內插接連接有多個電熱棒，多個所述加熱塊一側抵接有多個用于加熱濺射靶材的墊板，多個所述加熱塊沿所述墊板的長度方向設置，所述機架周側固定有用于收集多余焊料的收集槽，所述機架于所述墊板的兩端均固定有用于固定濺射板的固定組件。通過上述技術方案，使用時，將濺射靶材沿墊板長度方向放置在墊板上，向電熱棒供電，給墊板升溫，墊板通過熱傳遞的方式給墊板升溫，繼而實現對濺射板材的加熱。通過在機架周側設置收集槽，使用時濺射板材上多余的焊料可流動匯集至收集槽內，從而有效避免多余焊料滴落至車間內，污染車間內部環境；由于濺射靶材長度較長，采用整塊長度的加熱塊加熱濺射靶材，制造難度大，加工成本高，尤其是損壞后，需整塊加熱塊更換，維修成本高，采用多個墊板加熱，通過墊板傳遞的方式有效解決了使用和制造成本高的問題。進一步的，所述加熱塊遠離所述機架的側面沿其邊緣開設有用于收集多余焊料的凹槽。通過上述技術方案，在加熱塊上開設凹槽用于進一步提高本技術收集多余焊料的能力。進一步的，位于所述墊板中部的所述加熱塊為中段塊，所述中段塊遠離所述機架的側面兩端均開設有裝載槽。通過上述技術方案，使用時，裝載槽用于與叉車配合，便于裝載和卸下濺射靶材。進一步的，所述裝載槽的深度大于所述凹槽的深度。通過上述技術方案，凹槽內的多余的焊料在其自身重力作用下可匯集在裝載槽內，提高本技術收集多余焊料的能力。進一步的，所述裝載槽底面的兩端均開設有傾斜面。通過上述技術方案，開設傾斜面，便于引導裝載槽內的焊料在融化狀態下流動至收集槽內。進一步的，所述固定組件包括固定于所述機架上且位于所述墊板上方的橫桿，所述橫桿上螺紋連接有便于將濺射靶材壓緊在所述墊板上的螺栓。通過上述技術方案，使用時，可擰動螺栓，使螺栓的一端抵緊濺射靶材，從而將濺射靶材壓緊固定在墊板上。進一步的，所述螺栓遠離所述墊板的一端正交設置有轉動桿，所述轉動桿與所述螺栓插接配合。通過上述技術方案，轉動桿便于擰動螺栓，使轉動桿與螺栓插接配合方便轉動桿的使用。進一步的，所述墊板兩端均設置有用于壓緊多個濺射靶材的壓塊，所述壓塊兩端均抵接有所述螺栓。通過上述技術方案，采用同一壓塊壓緊多個濺射板材，便于將多個濺射靶材壓緊在同一平面上，從而提高壓緊后的平整度。與現有技術相比，本技術的有益效果是：(1)通過在機架周側設置有收集槽，濺射板材加熱后過多的焊料可流動匯集至收集槽內，從而有效避免多余焊料滴落至車間內，污染車間內部環境；(2)通過多個加熱塊加熱墊板，利用墊板熱傳遞加熱濺射靶材，降低設備制造難度和加工成本高；(3)進一步地，通過開設裝載槽和凹槽，不僅便于濺射靶材的裝卸，還能有利于引導凹槽內的焊料匯集在收集槽內，從而提高對多余焊料的收集。附圖說明圖1是本技術的整體結構示意圖。附圖標記：1、機架；2、加熱塊；3、電熱棒；4、墊板；5、收集槽；6、凹槽；7、中段塊；8、裝載槽；9、傾斜面；10、橫桿；11、螺栓；12、轉動桿；13、壓塊。具體實施方式為了使本技術的目的、技術方案和有益效果更加清楚，下面結合實施例及附圖對本技術作進一步的詳細說明，但本技術的實施方式不僅限于此。如圖1所示，一種濺射靶材加熱平臺，包括機架1，機架1采用不銹鋼箱體制成，機架1上固定有三個塊狀的加熱塊2，加熱塊2為鋼制，加熱塊2內插接連接有多個電熱棒3，多個電熱棒3均勻分布在加熱塊2內，機架1內設置有控制電熱棒3功率的控溫器和控制電熱棒3加熱時間的計時器。三個加熱塊2一側抵接有兩個用于加熱濺射靶材的墊板4，墊板4采用表面為長方形的鋼板，三個加熱塊2沿墊板4的長度方向設置，且加熱塊2之間相互接觸，便于加熱塊2之間的溫度長度，促進加熱的均勻度。采用多個加熱塊2給墊板4加熱，便于通過墊板4將溫度傳遞給濺射靶材，有利于提高加熱的均勻度。加熱塊2遠離機架1的側面沿其邊緣開設有用于收集多余焊料的凹槽6，機架1周側固定有用于收集多余焊料的收集槽5，收集槽5的高度低于加熱塊2的高度。使用時，多余的焊料融化后，先匯入凹槽6內，待凹槽6滿后再流至收集槽5內，采用多集收集的方式，確保多余融化的焊料不會滴落至地上。位于墊板4中部的加熱塊2為中段塊7，中段塊7遠離機架1的側面兩端均開設有裝載槽8，裝載槽8沿中段塊7寬度方向貫穿開設，便于采用叉車進行裝載濺射靶材或將加工后的濺射靶材取下。裝載槽8的深度大于凹槽6的深度，裝載槽8底面的兩端均開設有傾斜面9。使用時，中段塊7上的凹槽6容納焊料過多后，多余的焊料在其自身重力作用下流入裝載槽8內，經傾斜面9的引導匯入收集槽5內。機架1于墊板4的兩端均固定有用于固定濺射板的固定組件，固定組件包括固定于機架1上且位于墊板4上方的橫桿10，橫桿10上螺紋連接有螺栓11，螺栓11豎直設置，便于將濺射靶材壓緊在墊板4上。螺栓11遠離墊板4的一端正交設置有轉動桿12，通過轉動桿12方便轉動螺栓11，轉動桿12與螺栓11插接配合，提高使用的便捷性。墊板4兩端均設置有用于壓緊多個濺射靶材的壓塊13，壓塊13呈長條塊狀，與多個濺射靶材的長度方向垂直，機架1兩側的螺栓11分別與壓塊13的兩端抵接。綜上所述：本技術使用時，將濺射靶材固定在墊板4上，給電熱棒3通電，加熱塊2升溫，再通過熱傳遞加熱墊板4，從而加熱濺射靶材。通過在機架1周側設置有收集槽5，濺射板材加熱后過多的焊料可流動匯集至收集槽5內，從而有效避免多余焊料滴落至車間內，污染車間內部環境；通過開設裝載槽8和凹槽6，不僅便于濺射靶材的裝卸，還能有利于引導凹槽6內的焊料匯集在收集槽5內，從而提高對多余焊料的收集；通過多個加熱塊2加熱墊板4，利用墊板4熱傳遞加熱濺射靶材，降低設備制造難度和加工成本高。以上所述僅是本技術的優選實施方式，本技術的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本技術思路下的技術方案均屬于本技術的保護范圍。應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本技術原理前提下的若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本技術的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種濺射靶材加熱平臺，包括機架（1），其特征在于，所述機架（1）上固定有多個加熱塊（2），所述加熱塊（2）內插接連接有多個電熱棒（3），多個所述加熱塊（2）一側抵接有多個用于加熱濺射靶材的墊板（4），多個所述加熱塊（2）沿所述墊板（4）的長度方向設置，所述機架（1）周側固定有用于收集多余焊料的收集槽（5），所述機架（1）于所述墊板（4）的兩端均固定有用于固定濺射板的固定組件。

【技術特征摘要】
1.一種濺射靶材加熱平臺，包括機架（1），其特征在于，所述機架（1）上固定有多個加熱塊（2），所述加熱塊（2）內插接連接有多個電熱棒（3），多個所述加熱塊（2）一側抵接有多個用于加熱濺射靶材的墊板（4），多個所述加熱塊（2）沿所述墊板（4）的長度方向設置，所述機架（1）周側固定有用于收集多余焊料的收集槽（5），所述機架（1）于所述墊板（4）的兩端均固定有用于固定濺射板的固定組件。2.根據權利要求1所述的一種濺射靶材加熱平臺，其特征在于，所述加熱塊（2）遠離所述機架（1）的側面沿其邊緣開設有用于收集多余焊料的凹槽（6）。3.根據權利要求2所述的一種濺射靶材加熱平臺，其特征在于，位于所述墊板（4）中部的所述加熱塊（2）為中段塊（7），所述中段塊（7）遠離所述機架（1）的側面兩端均開設有裝載槽（8）。4.根據權利要求3所述的一種濺...

【專利技術屬性】
技術研發人員：盧建棟，張小偉，張揚，
申請(專利權)人：東曹上海電子材料有限公司，
類型：新型
國別省市：上海,31