一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備制造方法及圖紙

本發明專利技術實施例公開了一種類單晶籽晶的鋪設裝置及系統，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；控制器的控制端分別與氣泵的驅動端和升降支架的驅動端連接，氣泵的輸出端與輸氣管道的輸入端連接，輸氣管道的輸出端與真空吸盤的通氣口連接；真空吸盤的通氣口端與升降支架的移動端連接；真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個吸盤區域對應一個籽晶，每個吸盤區域至少設有一個吸盤孔；控制器用于控制升降支架帶動真空吸盤進行上升或下降運動，以便真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。本發明專利技術實施例在鋪設籽晶的過程中降低了籽晶邊角碰撞幾率，鋪設質量和效率較高，無縫化效果更佳。

The laying device and equipment of a single crystal seed crystal

The embodiment of the invention discloses a device and a system of a single species laying seed, including controller, lifting bracket, vacuum suction pump and a gas pipeline; the control end controller is respectively connected with the drive end and the lifting bracket pump drive is connected with the output end of the input pump and the gas pipeline is connected with the transmission gas pipeline and the output end of the vacuum suction vent vent end connection; mobile vacuum chuck and the lifting bracket is connected with the bottom of the vacuum suction; having a plurality of suction regions corresponding to each suction area of a seed, each sucker area is provided with at least one suction hole; the controller is used to control the lifting bracket to drive the vacuum the sucker upward or downward movement, to vacuum suckers seed array pre laying to the bottom of the crucible, the seed crystal array into a plurality of seed seamless paved. In the process of laying the seed grain, the embodiment of the invention reduces the collision probability of the edge angle of the seed crystal, the laying quality and efficiency are high, and the seamless effect is better.

【技術實現步驟摘要】
一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備
本專利技術實施例涉及類單晶
，特別是涉及一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備。
技術介紹
隨著科技的發展類單晶技術在多晶鑄錠行業的應用越來越廣泛，在類單晶技術中籽晶的鋪設是一個重要環節。為了避免晶體生長時相鄰兩塊籽晶之間出現多晶，在籽晶鋪設時需要使籽晶與籽晶之間實現無縫化和平整化，盡量避免籽晶的磕碰導致邊角崩裂，盡量減少籽晶塊在坩堝底部進行挪移摩擦時導致的氮化硅粉涂層的脫落。目前，現有的類單晶技術中的籽晶鋪設方案均是人工手動的將籽晶一塊一塊的依次鋪設在坩堝底部，在將籽晶放置在坩堝面時，因坩堝高度和寬度都較大，使人工放置籽晶時的勞動強度較大，從而增加了籽晶邊角的碰撞幾率，并且人工手動鋪設時，使放置在坩堝底部的籽晶和與其相鄰的籽晶之間縫隙較大，需要對籽晶進行挪移直到和相鄰的籽晶緊挨，但是在移動過程中籽晶和坩堝底面接觸摩擦容易損傷坩堝底面的氮化硅層，并且在移動籽晶的過程中會使兩塊籽晶之間形成氮化硅粉的堆積，從而導致兩塊籽晶之間存在一定的縫隙，難以實現無縫化。因此，如何提供一種解決上述技術問題的類單晶籽晶的鋪設裝置及設備成為本領域技術人員目前需要解決的問題。
技術實現思路
本專利技術實施例的目的是提供一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備，在鋪設籽晶的過程中降低了籽晶邊角的碰撞幾率，更好的實現了無縫化，并且降低了操作人員的勞動強度，鋪設質量和工作效率大大提高。為解決上述技術問題，本專利技術實施例提供了一種類單晶籽晶的鋪設裝置，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；所述控制器的控制端分別與所述氣泵的驅動端和所述升降支架的驅動端連接，所述氣泵的輸出端與所述輸氣管道的輸入端連接，所述輸氣管道的輸出端與所述真空吸盤的通氣口連接；所述真空吸盤的通氣口端與所述升降支架的移動端連接；所述真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個所述吸盤區域對應一個籽晶，每個所述吸盤區域至少設有一個吸盤孔；所述控制器用于控制所述升降支架帶動所述真空吸盤進行上升或下降運動，以便所述真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，所述籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成?？蛇x的，所述氣泵為電動氣泵。可選的，還包括可移動的搬運車，所述控制器、所述氣泵及所述升降支架均設置于所述搬運車上?？蛇x的，所述搬運車中還設置有配重物?？蛇x的，還包括吸盤支架，所述真空吸盤的通氣口端通過所述吸盤支架與所述升降支架的移動端連接?？蛇x的，所述輸氣管道設置于所述吸盤支架的內部。可選的，如上述所述的類單晶籽晶的鋪設裝置，所述每個所述吸盤區域至少設有一個吸盤孔具體為：每個所述吸盤區域設有4個吸盤孔。可選的，每個所述吸盤孔分別設置于相應吸盤區域的四角處。本專利技術實施例還提供了一種類單晶籽晶的鋪設設備，包括用于放置坩堝的平板車和如上述所述的類單晶籽晶塊的鋪設裝置。本專利技術實施例提供了一種類單晶籽晶的鋪設裝置及系統，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；控制器的控制端分別與氣泵的驅動端和升降支架的驅動端連接，氣泵的輸出端與輸氣管道的輸入端連接，輸氣管道的輸出端與真空吸盤的通氣口連接；真空吸盤的通氣口端與升降支架的移動端連接；真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個吸盤區域對應一個籽晶，每個吸盤區域至少設有一個吸盤孔；控制器用于控制升降支架帶動真空吸盤進行上升或下降運動，以便真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。本申請可以預先在坩堝外部將各個籽晶進行無縫鋪設形成一個籽晶陣列,再通過控制器控制氣泵通過輸氣管道為真空吸盤進行吸氣以便真空吸盤將整個籽晶陣列吸起，并通過控制器控制升降支架進行上升和下降的運動，將真空吸盤移送至坩堝底部，并令控制器控制氣泵為真空吸盤進行放氣，以便真空吸盤將籽晶陣列放置在坩堝底面，以實現籽晶在坩堝底部的鋪設，其中，真空吸盤的每個吸盤區域對應一個籽晶，從而可以實現對籽晶陣列中的多個籽晶的整體移動。本專利技術實施例在鋪設籽晶的過程中降低了籽晶邊角的碰撞幾率，鋪設質量和工作效率較高，并且無縫化效果更佳。附圖說明為了更清楚地說明本專利技術實施例中的技術方案，下面將對現有技術和實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本專利技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本專利技術實施例提供的一種類單晶籽晶的鋪設裝置的結構示意圖；圖2為本專利技術實施例提供的一種真空吸盤的結構示意圖。具體實施方式本專利技術實施例提供了一種類單晶籽晶的鋪設裝置及設備，在鋪設籽晶的過程中降低了籽晶邊角的碰撞幾率，更好的實現了無縫化，并且降低了操作人員的勞動強度，鋪設質量和工作效率大大提高。為使本專利技術實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本專利技術實施例中的附圖，對本專利技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本專利技術一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦＠夹g中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本專利技術保護的范圍。請參照圖1，圖1為本專利技術實施例提供的一種類單晶籽晶的鋪設裝置的結構示意圖。該裝置包括控制器1、升降支架2、真空吸盤3、氣泵4及輸氣管道5；控制器1的控制端分別與氣泵4的驅動端和升降支架2的驅動端連接，氣泵4的輸出端與輸氣管道5的輸入端連接，輸氣管道5的輸出端與真空吸盤3的通氣口連接；真空吸盤3的通氣口端與升降支架2的移動端連接；真空吸盤3的底部具有多個吸盤區域31，每個吸盤區域31對應一個籽晶，每個吸盤區域31至少設有一個吸盤孔311；控制器1用于控制升降支架2帶動真空吸盤3進行上升或下降運動，以便真空吸盤3將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。需要說明的是，在對單晶籽晶進行鋪設時，可以先在坩堝10的體外將籽晶無縫進行鋪設，具體可以在鋪設平臺上進行鋪設，待多個籽晶無縫鋪設完成后構成一個整體(即為籽晶陣列)，通過控制器1控制升降支架2帶動真空吸盤3移動到鋪設好的籽晶陣列處，使真空吸盤3上的各個吸盤區域31與籽晶陣列中的各個籽晶對齊接觸，并啟動氣泵4，通過氣泵4對真空吸盤3進行吸氣，使各個籽晶均吸附在真空吸盤3的相應吸盤區域31上(具體也可以在充氣裝啟動后，人工手動的將籽晶一個個的平穩放置在真空吸盤3的底部相應的吸盤區域31上，并確保相鄰籽晶之間無縫放置)，再控制升降支架2將真空吸盤3移送至坩堝10內，通過氣泵4對真空吸盤3進行放氣，從而使真空吸盤3將吸附在其底面上的各個籽晶放置在坩堝10底面上。在具體放置時，可以對真空吸盤3的具體放置位置進行測量，使放置籽晶的區域的邊界與坩堝10底部四周的距離相等，具體可以通過定位尺進行測量，其中，如圖1所示坩堝10可以放置在平板車11上，并且在圖1中真空吸盤3下方吸附有籽晶9。另外，每個吸盤區域31內至少有一個吸盤孔311，可以使在氣泵4吸氣或放氣時實現對每個籽晶的獨立吸附或放置，進而便捷的移動整個籽晶陣列。具體的，在實際應用中不同的多晶鑄錠爐所需鋪設的籽晶的總數量不同，可以將所有的籽晶預先鋪設好后作為一個整體通過真空吸盤3一次性的全部移送至相應的坩堝10內，也可以將所有的籽晶分成多次移送，其中，真空吸盤3中的吸盤區域31本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種類單晶籽晶的鋪設裝置，其特征在于，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；所述控制器的控制端分別與所述氣泵的驅動端和所述升降支架的驅動端連接，所述氣泵的輸出端與所述輸氣管道的輸入端連接，所述輸氣管道的輸出端與所述真空吸盤的通氣口連接；所述真空吸盤的通氣口端與所述升降支架的移動端連接；所述真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個所述吸盤區域對應一個籽晶，每個所述吸盤區域至少設有一個吸盤孔；所述控制器用于控制所述升降支架帶動所述真空吸盤進行上升或下降運動，以便所述真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，所述籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。

【技術特征摘要】
1.一種類單晶籽晶的鋪設裝置，其特征在于，包括控制器、升降支架、真空吸盤、氣泵及輸氣管道；所述控制器的控制端分別與所述氣泵的驅動端和所述升降支架的驅動端連接，所述氣泵的輸出端與所述輸氣管道的輸入端連接，所述輸氣管道的輸出端與所述真空吸盤的通氣口連接；所述真空吸盤的通氣口端與所述升降支架的移動端連接；所述真空吸盤的底部具有多個吸盤區域，每個所述吸盤區域對應一個籽晶，每個所述吸盤區域至少設有一個吸盤孔；所述控制器用于控制所述升降支架帶動所述真空吸盤進行上升或下降運動，以便所述真空吸盤將預先鋪設的籽晶陣列移送至坩堝底部，所述籽晶陣列為多個籽晶無縫鋪設而成。2.根據權利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設裝置，其特征在于，所述氣泵為電動氣泵。3.根據權利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設裝置，其特征在于，還包括可移動的搬運車，所述控制器、所述氣...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳志軍，李林東，曾先平，盧亮，蘇騰，金浩，
申請(專利權)人：晶科能源有限公司，浙江晶科能源有限公司，
類型：發明
國別省市：江西,36