檢查/維修/再檢查系統技術方案

本發明專利技術揭示一種用于電路的檢查/維修/再檢查系統的透鏡組合件，所述透鏡組合件包含：掃描透鏡，其操作以在用于維修的激光束的特定波長下校正所述激光束的偏差；及相機透鏡，其操作以通過所述掃描透鏡接收來自工件的光并在由相機感測的至少一個特定波長下校正偏差，所述波長不是用于維修的所述激光束的所述特定波長。

Inspection / maintenance / re check system

The invention discloses a lens assembly for circuit inspection / maintenance / inspection system, the lens assembly includes a scanning lens, its operation in the maintenance for a specific wavelength laser beam under the correction of the deviation of the laser beam; and the camera lens, the operation through the scanning lens the light receiving from the workpiece and correction of deviation in at least one specific wavelength by sensing camera, the wavelength is not for the specific wavelength of the laser beam of the maintenance.

【技術實現步驟摘要】
檢查/維修/再檢查系統本申請是申請日為2012年8月8日、申請號為“201280040194.7”、專利技術名稱為“檢查/維修/再檢查系統”的專利技術專利申請的分案申請。相關申請案的交叉參考參考2011年8月18日申請且標題為檢查/維修/檢查系統(Inspection/Repair/Inspectionsystem)的第61/524,995號美國臨時專利申請案，所述臨時專利申請案的揭示內容以引用的方式并入本文中且根據37CFR1.78(a)(4)及(5)(i)主張其優先權。
本專利技術涉及電路的檢查及維修系統，且更特定來說，涉及用于其中的光學器件。
技術介紹
認為下列公開案代表當前技術狀態：C·布林頓(C.Bliton)等人的以通過紫外線及可見波長光激勵的染料實現同時共焦成像的光學修改(Opticalmodificationsenablingsimultaneousconfocalimagingwithdyesexcitedbyultraviolet-andvisible-wavelengthlight)，顯微鏡學雜志(JournalofMicroscopy)，第169卷，第1部分，1993年1月，第15頁到第26頁；及已公開的第WO2010/100635號PCT申請案。
技術實現思路
本專利技術尋求提供用于電路的檢查及維修系統的經改進的光學器件。因此，根據本專利技術的優選實施例，提供一種用于電路的檢查/維修/檢查系統的透鏡組合件，所述透鏡組合件包含：掃描透鏡，其操作以在用于維修的激光束的特定波長下校正激光束的偏差；及相機透鏡，其操作以通過掃描透鏡接收來自工件的光及在相機所感測的至少一個特定波長下校正偏差，所述波長不是用于維修的激光束的特定波長。優選地，透鏡組合件還包含與掃描透鏡上游的掃描鏡相關的入射光瞳。此外，所述入射光瞳位于鏡的光學中心。根據本專利技術的優選實施例，用于維修的激光束的特定波長為266納米。此外或替代地，由相機所感測的至少一個特定波長選自460納米到480納米的范圍及520納米到540納米的范圍中的至少一者。優選地，透鏡組合件還包含操作以產生激光束的激光器，所述激光器在小于1微焦耳的脈沖能級下操作。根據本專利技術的另一優選實施例，還提供一種用于電路的檢查/維修/檢查系統的組合器組合件，所述組合器組合件包含：第一組合器，其布置在掃描鏡與掃描透鏡之間以用于將來自掃描鏡的第一波長下的激光能量引導穿過掃描透鏡到達工件上并允許不同于第一波長的第二波長下的光穿過所述第一組合器；第二組合器，其布置在第一相機與第一組合器之間以用于將穿過第一組合器的來自工件的光引導到第一相機；及第三組合器，其布置在第二組合器與照明源之間以用于通過第二組合器及第一組合器將來自照明源的光引導到工件上并允許穿過第一組合器及第二組合器的來自工件的光到達第二相機。優選地，照明源包含彩色LED組合件及頻閃光源中的至少一者。此外，頻閃光源包含閃光燈。根據本專利技術的優選實施例，第一相機為單色相機。此外或替代地，第二相機為彩色相機。優選地，第一波長為266納米。此外或替代地，第二波長在460納米到660納米的范圍中。根據本專利技術的優選實施例，組合器組合件還包含操作以產生激光能量的激光器，所述激光器在小于1微焦耳的脈沖能級下操作。根據本專利技術的再另一優選實施例，進一步提供一種用于電路的檢查/維修/檢查系統，其包含操作以燒蝕電路中的金屬、有機材料、氧化硅及金屬氧化物的激光燒蝕器，所述激光燒蝕器包含在小于1微焦耳的脈沖能級下以266納米的波長發射的激光器。根據本專利技術的又另一優選實施例，進一步提供一種用于電路的檢查/維修/檢查系統，其包含操作以將金屬焊接到彼此或焊接到金屬氧化物的激光焊機，所述激光焊機包含在小于1微焦耳的脈沖能級下以266納米的波長發射的激光器。根據本專利技術的另一優選實施例，進一步提供一種激光寫入系統，其包含UV激光器，所述UV激光器產生沿著垂直于輸出光束的傳播軸的第一軸具有大致高斯能量分布及沿著垂直于第一軸的第二軸具有非高斯能量分布的輸出光束，第二軸垂直于傳播軸且光束校正光學器件操作以將輸出光束的能量分布校正為沿著第二軸的大致高斯分布。根據本專利技術的又另一優選實施例，還提供一種用于電路的檢查/維修/檢查系統，其包含聲光調制器、快速轉向鏡及操作以精確協調所述聲光調制器及快速轉向鏡的控制組合件。優選地，用于電路的檢查/維修/檢查系統還包含將鏡及聲光調制器與控制組合件互連的控制線。根據本專利技術的優選實施例，控制組合件操作以相對于聲光調制器定位鏡，使得從聲光調制器輸出的激光束精確撞擊在由所述系統檢查/維修/檢查的工件上的所要點處。附圖說明可從下文詳細描述中更全面理解及了解本專利技術，其中：圖1為根據本專利技術的優選實施例構建及操作的用于電路的檢查/維修/檢查系統的簡圖；圖2為圖1的系統的示意說明；圖3為說明圖1及2的系統的操作的簡化流程圖；及圖4為說明使用圖1及2的系統的缺陷維修過程的操作的簡化流程圖。具體實施方式現參考圖1，其為用于檢查、維修及再檢查電路的系統的簡化說明。如圖1所見，所述系統優選包括底架101，底架101優選安裝在常規光學平臺102上。底架101界定電路檢查/維修位置104，待檢查及維修的電路(例如平板顯示器(FPD)106)可放置在電路檢查/維修位置104上。FPD106通常具有各種類型的缺陷(通常為導體形成中的缺陷)中的一者或一者以上，例如多余材料缺陷及缺失材料缺陷。橋部112經布置以用于沿著相對于底架101界定的第一檢查/維修軸114相對于檢查/維修位置104做線性運動。光學頭組合件116經布置以用于沿著垂直于第一檢查/維修軸114的第二檢查/維修軸118相對于橋部112做線性運動。根據本專利技術的實施例，光學頭組合件116優選包含檢查/維修子組合件120。所述系統優選還包含控制組合件124，控制組合件124優選包含具有用戶接口128的計算機126且包含操作以操作檢查/維修子組合件120的軟件模塊。控制組合件124優選從未展示的自動化光學檢查系統(例如可購自以色列，亞夫內(Yavne)，Orbotech公司的SuperVisionTM系統)接收缺陷位置輸入。檢查/維修子組合件120優選包含上面支撐有彩色相機132(例如DalsaCMOS相機，型號為Falcon4M60Color)及單色相機134(例如DalsaCMOS相機，型號為Falcon4M60)的底座130。或者，一對單色相機可支撐在底座130上。彩色相機及單色相機兩者可購自加拿大安大略省滑鐵盧(Waterloo)市的TeledyneDALSA。彩色相機132沿著穿過鏡筒透鏡138(其具有200納米到250納米的典型焦距)、光束分光器組合件140及物鏡組合件142的光學軸136查看FPD106上的成像位置135。單色相機134沿著穿過鏡筒透鏡144(其具有400納米到600納米的典型焦距)、光束分光器組合件140及掃描透鏡146的光學軸143及136查看FPD106上的成像位置135。檢查/維修子組合件120優選包含脈沖激光源152，例如從法國ZAdeCourtaboeuf，2bisAvenueduePacifique的QuantelCorporation(http://www.quantel本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于電路的檢查/維修/再檢查系統，其包括：聲光調制器及電光調制器中的至少一者；快速轉向鏡；及控制組合件，其操作以精確協調聲光調制器及電光調制器中的所述至少一者與所述快速轉向鏡。

【技術特征摘要】
2011.08.18 US 61/524,9951.一種用于電路的檢查/維修/再檢查系統，其包括：聲光調制器及電光調制器中的至少一者；快速轉向鏡；及控制組合件，其操作以精確協調聲光調制器及電光調制器中的所述至少一者與所述快速轉向鏡。2.根據權利要求1所述的用于電路的檢查/維修/再檢查系統，且其還包括將所述鏡及所述聲光調制器與所述控制組合件互連的控制線。3.根據權利要求1所述的用于電路的檢查/維修/再檢查系統，其中所述控制組合件操作以相對于所述聲光調制器定位所述鏡，使得從所述聲光調制器輸出的激光束精確撞擊在由所述系統檢查/維修/再檢查的工件上的所要點處。4.根據權利要求1至3中任一項權利要求所述的用于電路的檢查/維修/再檢查系統，其中所述控制組合件經配置以檢查所述快速轉向鏡的位置。5.根據權利要求1至3中任一項權利要求所述的用于電路的檢查/維修/再檢查系統，其中所述快速轉向鏡經操作以發送“開啟”觸發至所述聲光調制器及電光調制器中的至少一者。6.根據權利要求1至3中任一項權利要求所述的用于電路的檢查/維修/再檢查系統，其中所述快速轉向鏡經操作以發送“關閉”觸發至所述聲光調制器及電光調制器中的至少一者。7.一種用于電路的檢查/維修/再檢查系統中的組合器組合件，其包括：第一組合器，其布置在掃描鏡與掃描透鏡之間以用于將來自所述掃描鏡的第一波長下的激光能量引導穿過所述掃描透鏡到達工件上，并允許不同于所述第一波長的第二波長下的光穿過所述第一組合器；第二組合器，其布置在第一相機與所述第一組合器之間以用于將穿過所述第一組合器的來自所述工件的光引導到所述第一相機；及第三組合器，其布置在...

【專利技術屬性】
技術研發人員：維克多·萊巴爾金，伊利亞·拉茨科，
申請(專利權)人：奧寶科技有限公司，
類型：發明
國別省市：以色列,IL