一種太陽能電池擴散死層去除裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種太陽能電池擴散死層去除裝置，包括：用于傳輸硅片的傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的下方沿著硅片的傳輸方向依次放置有刻蝕槽、第一水槽、HF槽、第二水槽、KOH槽、第三水槽、HCL槽、第四水槽、風干槽；加工時，硅片隨所述傳輸滾輪傳輸，依次經過所述刻蝕槽、所述第一水槽、所述HF槽、所述第二水槽、所述KOH槽、所述第三水槽、所述HCL槽、所述第四水槽及所述風干槽。其能夠在刻蝕過程中同步去除擴散死層，操作簡便，成本低。

Solar cell diffusion dead layer removing device

The utility model discloses a solar battery diffusion layer die removal device, including: transmission roller transmission for silicon wafer, the lower part of the transmission roller along the transmission direction of the wafer is placed in the first etching groove, water tank, HF tank, second tank, KOH tank, HCL tank, the Sanshui tank, Fourth tank, air dry tank; processing, wafer with the transmission wheel transmission, followed by the etching groove, the first tank and the HF tank, the second tank, the KOH tank, the third tank, the HCL tank, the water tank fourth and the air tank. It can remove the diffusion layer in the etching process, the operation is simple and the cost is low.

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及太陽能電池
，尤其涉及一種太陽能電池擴散死層去除裝置。
技術介紹
常規的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽電池中，晶體硅太陽電池是得到大范圍商業推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量，同時晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優異的電學性能和機械性能，因此，晶體硅太陽電池在光伏領域占據著重要的地位。現有的晶體硅太陽電池的制造流程為：表面清洗及織構化、擴散、清洗刻蝕去邊、鍍減反射膜、絲網印刷、燒結形成歐姆接觸、測試。這種商業化晶體硅電池制造技術相對簡單、成本較低，適合工業化、自動化生產，因而得到了廣泛應用。其中，擴散是太陽電池發電的關鍵步驟，因此擴散結的特性好壞影響了電池的效率；當橫向薄層電阻低于100歐姆時，太陽電池表面會不可避免地存在一個區域，在該區域中由于光被吸收所產生的載流子會因為壽命太短而在擴散到PN結之前就被復合，從而對電池效率沒有貢獻，該特殊區域被稱為擴散死層。擴散死層中存在著大量的填隙原子、位錯和缺陷，少子壽命較低，太陽光在死層中發出的光生載流子都被復合掉了，導致電池的轉換效率下降。目前，常常采用的去除擴散死層的方法為：1、淺結：一般把發射結深做的淺一點，0.1微米可以避免這種現象，但是這樣會增大串聯電阻，因為死層的存在是無法避免的，只能通過一定的工藝減少死層的產生；2、透氧化層P擴散：先形成氧化層，再進行P擴散；但該方法去死層的效果不理想；3、擴散后回刻：利用腐蝕性化學液進行回刻，去除死層；現有技術中，為了提高腐蝕速率，一般采用HF和HNO3的混合液，然而，實際應用發現，該腐蝕工藝很難控制，腐蝕均勻性很差，且成本較高，一直無法大量應用。然而，現有技術中，在擴散后回刻方法中，擴散之后，進行刻蝕，該刻蝕的裝置如圖1所示，硅片在傳輸滾輪8’上上傳輸，先經過刻蝕槽1’刻蝕，刻蝕后經過第一水槽2’清洗，再經過KOH槽3’(質量濃度3-5％)，KOH槽3’是清洗刻蝕槽1’中在硅片下表面產生的多孔硅，之后經第二水槽4’清洗，再經過HF槽5’(質量濃度5-12％)，HF槽5’是清洗硅片上表面的磷硅玻璃，之后經第三水槽6’清洗，清洗完畢后經過風干槽7’吹干后下料，其中，在第一水槽2’、KOH槽3’、第二水槽4’、HF槽5’、第三水槽6’的上方均設有噴淋管9’，其僅僅能夠實現刻蝕的目的，卻不能去除擴散死層，因而刻蝕和去除擴散死層單獨進行，增加了生產步驟，操作繁瑣，成本高。
技術實現思路
本技術的目的在于提出一種太陽能電池擴散死層去除裝置，能夠在刻蝕過程中同步去除擴散死層，操作簡便，成本低。為達此目的，本技術采用以下技術方案：一種太陽能電池擴散死層去除裝置，包括：用于傳輸硅片的傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的下方沿著硅片的傳輸方向依次放置有刻蝕槽、第一水槽、HF槽、第二水槽、KOH槽、第三水槽、HCL槽、第四水槽、風干槽；加工時，硅片隨所述傳輸滾輪傳輸，依次經過所述刻蝕槽、所述第一水槽、所述HF槽、所述第二水槽、所述KOH槽、所述第三水槽、所述HCL槽、所述第四水槽及所述風干槽。其中，所述刻蝕槽、所述第一水槽及所述HF槽上的所述傳輸滾輪共同連接有第一齒輪箱；所述第二水槽、所述KOH槽、所述第三水槽、所述HCL槽、所述第四水槽及所述風干槽上的所述傳輸滾輪共同連接有第二齒輪箱。其中，所述第一齒輪箱與所述第二齒輪箱獨立運行，且所述第二齒輪箱的轉速大于所述第一齒輪箱轉速。其中，所述第一齒輪箱對應的所述傳輸滾輪的傳輸速度為1.6～2.2m/min。其中，所述第一齒輪箱對應的所述傳輸滾輪的傳輸速度為1.8m/min。其中，所述第二齒輪箱對應的所述傳輸滾輪的傳輸速度為2.0～2.4m/min。其中，所述第二齒輪箱對應的所述傳輸滾輪的傳輸速度為2.2m/min。其中，所述HF槽的長度為2.2～3.5m。其中，所述HF槽的長度為3m。其中，所述第一水槽、所述第二水槽、所述KOH槽、所述第三水槽、所述HCL槽和所述第四水槽的上方的所述傳輸滾輪的上方均設置有噴淋管；所述HF槽上的所述傳輸滾輪傳輸時浸沒在所述HF槽中的HF溶液中。本技術的有益效果為：本技術的太陽能電池擴散死層去除裝置，包括：用于傳輸硅片的傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的下方沿著硅片的傳輸方向依次放置有刻蝕槽、第一水槽、HF槽、第二水槽、KOH槽、第三水槽、HCL槽、第四水槽、風干槽；通過將HF槽設置于刻蝕槽之后，增加HCL槽，因而加工時，硅片隨所述傳輸滾輪傳輸，依次經過所述刻蝕槽、所述第一水槽、所述HF槽、所述第二水槽、所述KOH槽、所述第三水槽、所述HCL槽、所述第四水槽及所述風干槽；從而在刻蝕過程中同步去除擴散死層，操作簡便，成本低。附圖說明圖1是現有技術中的擴散死層去除裝置的結構示意圖。圖2是本技術的太陽能電池擴散死層去除裝置的結構示意圖。圖中：1’-刻蝕槽；2’-第一水槽；3’-KOH槽；4’-第二水槽；5’-HF槽；6’-第三水槽；7’-風干槽；8’-傳輸滾輪；9’-噴淋管；1-刻蝕槽；2-第一水槽；3-KOH槽；4-第二水槽；5-HF槽；6-第三水槽；7-風干槽；8-傳輸滾輪；9-噴淋管；10-HCL槽；11-第四水槽。具體實施方式下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本技術的技術方案。如圖2所示，一種太陽能電池擴散死層去除裝置，包括：用于傳輸硅片的傳輸滾輪8，所述傳輸滾輪8的下方沿著硅片的傳輸方向依次放置有刻蝕槽1、第一水槽2、HF槽5、第二水槽4、KOH槽3、第三水槽6、HCL槽10、第四水槽11、風干槽7。加工時，硅片隨所述傳輸滾輪8傳輸，依次經過所述刻蝕槽1、所述第一水槽2、所述HF槽5、所述第二水槽4、所述KOH槽3、所述第三水槽6、所述HCL槽10、所述第四水槽11及所述風干槽7，所述HF槽5上的所述傳輸滾輪8傳輸時浸沒在所述HF槽5中的HF溶液中，在所述第一水槽2、所述第二水槽4、所述KOH槽3、所述第三水槽6、所述HCL槽10和所述第四水槽11的上方的所述傳輸滾輪8的上方均設置有噴淋管9。在本實施例中，太陽能電池擴散死層去除裝置設置有9個槽體，且9個槽體中，HF槽5設置在刻蝕槽1之后，KOH槽3設置在HF槽5之后，在KOH槽3之后增加了HCL槽10；其中，HCL槽10的作用是中和清洗硅片殘留的KOH。在本實施例中，所述刻蝕槽1、所述第一水槽2及所述HF槽5上的所述傳輸滾輪8共同連接有第一齒輪箱；所述第二水槽4、所述KOH槽3、所述第三水槽6、所述HCL槽10、所述第四水槽11及所述風干槽7上的所述傳輸滾輪8共同連接有第二齒輪箱。優選地，所述第一齒輪箱與所述第二齒輪箱獨立運行，且所述第二齒輪箱的轉速大于所述第一齒輪箱轉速。進一步優選地，所述第一齒輪箱對應的所述傳輸滾輪8的傳輸速度為1.6～2.2m/min。因此，所述第一齒輪箱對應的所述傳輸滾輪8的傳輸速度為1.6m/min、1.7m/min、1.8m/min、1.9m/min、2.0m/min、2.1m/min、2.2m/min；具體地，在本實施例中，所述第一齒輪箱對應的所述傳輸滾輪8的傳輸速度為1.8m/m本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種太陽能電池擴散死層去除裝置，其特征在于，包括：用于傳輸硅片的傳輸滾輪(8)，所述傳輸滾輪(8)的下方沿著硅片的傳輸方向依次放置有刻蝕槽(1)、第一水槽(2)、HF槽(5)、第二水槽(4)、KOH槽(3)、第三水槽(6)、HCL槽(10)、第四水槽(11)、風干槽(7)；加工時，硅片隨所述傳輸滾輪(8)傳輸，依次經過所述刻蝕槽(1)、所述第一水槽(2)、所述HF槽(5)、所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)、所述第四水槽(11)及所述風干槽(7)。

【技術特征摘要】
1.一種太陽能電池擴散死層去除裝置，其特征在于，包括：用于傳輸硅片的傳輸滾輪(8)，所述傳輸滾輪(8)的下方沿著硅片的傳輸方向依次放置有刻蝕槽(1)、第一水槽(2)、HF槽(5)、第二水槽(4)、KOH槽(3)、第三水槽(6)、HCL槽(10)、第四水槽(11)、風干槽(7)；加工時，硅片隨所述傳輸滾輪(8)傳輸，依次經過所述刻蝕槽(1)、所述第一水槽(2)、所述HF槽(5)、所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)、所述第四水槽(11)及所述風干槽(7)。2.根據權利要求1所述的太陽能電池擴散死層去除裝置，其特征在于，所述刻蝕槽(1)、所述第一水槽(2)及所述HF槽(5)上的所述傳輸滾輪(8)共同連接有第一齒輪箱；所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)、所述第四水槽(11)及所述風干槽(7)上的所述傳輸滾輪(8)共同連接有第二齒輪箱。3.根據權利要求2所述的太陽能電池擴散死層去除裝置，其特征在于，所述第一齒輪箱與所述第二齒輪箱獨立運行，且所述第二齒輪箱的轉速大于所述第一齒輪箱轉速。4.根據權利要求2或3所述的太陽能電池擴散死層去除裝置，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：周軍，黨繼東，劉東續，
申請(專利權)人：蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司，鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32