【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種鎂鋁合金冷卻板。
技術介紹
在用于工業產品的制造過程中,有時需要使用冷卻發熱物體的冷卻板。在用于制造半導體、平板顯示器等的濺射系統中,稱為“背板”的冷卻板已經用于消散在濺射期間產生在目標材料上的熱量。濺射期間的散熱特性非常重要,以至于可以左右產品的性能。因此,需要開發可以有效散發在濺射期間產生的熱的冷卻板。
技術實現思路
根據上述提出的技術問題,而提供一種鎂鋁合金冷卻板。本專利技術采用的技術手段如下:一種鎂鋁合金冷卻板,其特征在于,包括上板和下板,所述上板包括位于所述上板內表面兩端的上板冷卻液進口槽、上板冷卻液出口槽以及位于所述上板冷卻液進口槽和所述上板冷卻液出口槽之間的上板冷卻槽,所述上板冷卻槽通過上板流道Ⅰ與所述上板冷卻液進口槽連通,所述上板冷卻槽通過上板流道Ⅱ與所述上板冷卻液出口槽連通,所述上板冷卻槽與所述上板流道Ⅰ之間還設有緩沖槽Ⅰ,所述上板冷卻槽與所述上板流道Ⅱ之間還設有緩沖槽Ⅱ,所述上板內表面還設有環形焊接部Ⅰ,所述環形焊接部包括位于所述上板內表面兩端的焊接板Ⅰ和位于所述上板內表面兩側的焊接條Ⅰ,所述焊接條Ⅰ外側設有多個焊接條形部Ⅰ和焊接點Ⅰ,所述上板外表面設有與所述上板冷卻液進口槽連通的進液孔,所述緩沖槽Ⅰ和所述緩沖槽Ⅱ內均設有緩沖凸起,所述下板內表面設有與所述上板冷卻液進口槽相匹配的下板冷卻液進口槽,與所述上板冷卻液出口槽相匹配的下板冷卻液出口槽,與所述上板冷卻槽相匹配的下板冷卻槽,與所述緩沖槽Ⅰ相匹配的緩沖槽Ⅲ,與所述緩沖槽Ⅱ相匹配的緩沖槽Ⅳ,與所述環形焊接部Ⅰ相匹配的環形焊接部Ⅱ,所述環形焊接部Ⅱ包括與所述焊接板Ⅰ相匹配 ...
【技術保護點】
一種鎂鋁合金冷卻板,其特征在于,包括上板和下板,所述上板包括位于所述上板內表面兩端的上板冷卻液進口槽、上板冷卻液出口槽以及位于所述上板冷卻液進口槽和所述上板冷卻液出口槽之間的上板冷卻槽,所述上板冷卻槽通過上板流道Ⅰ與所述上板冷卻液進口槽連通,所述上板冷卻槽通過上板流道Ⅱ與所述上板冷卻液出口槽連通,所述上板冷卻槽與所述上板流道Ⅰ之間還設有緩沖槽Ⅰ,所述上板冷卻槽與所述上板流道Ⅱ之間還設有緩沖槽Ⅱ,所述上板內表面還設有環形焊接部Ⅰ,所述環形焊接部包括位于所述上板內表面兩端的焊接板Ⅰ和位于所述上板內表面兩側的焊接條Ⅰ,所述焊接條Ⅰ外側設有多個焊接條形部Ⅰ和焊接點Ⅰ,所述上板外表面設有與所述上板冷卻液進口槽連通的進液孔,所述緩沖槽Ⅰ和所述緩沖槽Ⅱ內均設有緩沖凸起,所述下板內表面設有與所述上板冷卻液進口槽相匹配的下板冷卻液進口槽,與所述上板冷卻液出口槽相匹配的下板冷卻液出口槽,與所述上板冷卻槽相匹配的下板冷卻槽,與所述緩沖槽Ⅰ相匹配的緩沖槽Ⅲ,與所述緩沖槽Ⅱ相匹配的緩沖槽Ⅳ,與所述環形焊接部Ⅰ相匹配的環形焊接部Ⅱ,所述環形焊接部Ⅱ包括與所述焊接板Ⅰ相匹配的焊接板Ⅱ和與所述焊接條Ⅰ相匹配的焊接條Ⅱ ...
【技術特征摘要】
1.一種鎂鋁合金冷卻板,其特征在于,包括上板和下板,所述上板包括位于所述上板內表面兩端的上板冷卻液進口槽、上板冷卻液出口槽以及位于所述上板冷卻液進口槽和所述上板冷卻液出口槽之間的上板冷卻槽,所述上板冷卻槽通過上板流道Ⅰ與所述上板冷卻液進口槽連通,所述上板冷卻槽通過上板流道Ⅱ與所述上板冷卻液出口槽連通,所述上板冷卻槽與所述上板流道Ⅰ之間還設有緩沖槽Ⅰ,所述上板冷卻槽與所述上板流道Ⅱ之間還設有緩沖槽Ⅱ,所述上板內表面還設有環形焊接部Ⅰ,所述環形焊接部包括位于所述上板內表面兩端的焊接板Ⅰ和位于所述上板內表面兩側的焊接條Ⅰ,所述焊接條Ⅰ外側設有多個焊接條形部Ⅰ和焊接點Ⅰ,所述上板外表面設有與所述上板冷卻液進口槽連通的進液孔,所述緩沖槽Ⅰ和所述緩沖槽Ⅱ內均設有緩沖凸起,所述下板內表面設有與所述上板冷卻...
【專利技術屬性】
技術研發人員:李恩鴻,李海旭,田紹潔,
申請(專利權)人:大連圣潔真空技術開發有限公司開發區分公司,
類型:發明
國別省市:遼寧;21
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