有機發光顯示裝置和制造有機發光顯示裝置的方法制造方法及圖紙

公開了一種有機發光顯示裝置和制造有機發光顯示裝置的方法。該制造有機發光顯示裝置的方法，包括：在基板上形成包含含氟聚合物的剝離層；在剝離層上形成光刻膠，并通過除去其一部分圖案化光刻膠；使用第一溶劑在除去了光刻膠的區域中蝕刻剝離層，使得剝離層的一部分保留在基板上；在保留在基板上的剝離層上方和在剝離層上保留有光刻膠的區域上方形成蝕刻停止層；以及使用第二溶劑除去在剝離層上保留有光刻膠的區域下方的剝離層。

【技術實現步驟摘要】
相關申請的交叉引用此申請要求2015年7月22日提交的韓國專利申請第10-2015-0103877號的優先權和權益，該專利申請出于所有目的通過引用被合并于此，如同在本文中完全闡述一樣。
示例性實施例涉及有機發光顯示裝置和制造有機發光顯示裝置的方法。
技術介紹
有機發光顯示裝置是具有空穴注入電極、電子注入電極、以及在空穴注入電極與電子注入電極之間的有機發光層的自發光顯示裝置。隨著由空穴注入電極注入的空穴和由電子注入電極注入的電子在有機發光層中結合并成為中性，光被發射。有機發光顯示裝置已作為具有例如低功耗、高亮度和快響應速度的高品質特性的下一代顯示裝置而被關注。在此
技術介紹
部分中公開的上述信息僅用于增強對專利技術構思的背景的理解，因此它可能包含不構成對于本領域普通技術人員在本國已知的現有技術的信息。
技術實現思路
示例性實施例提供了一種由此可以防止圖案不對準、可以簡化工藝、可以增加效率并且可以延長壽命的制造有機發光顯示裝置的方法、以及由上述方法制造的有機發光顯示裝置。專利技術的另外方面將在隨后的描述中提出，并且部分地將從描述中顯而易見，或者可以通過對專利技術構思的實踐來獲知。本專利技術的一個示例性實施例公開了一種制造有機發光顯示裝置的方法，包括：在基板上形成包含含氟聚合物的剝離層；在剝離層上形成光刻膠，并通過除去光刻膠的一部分來圖案化光刻膠；使用第一溶劑在除去了光刻膠的區域中蝕刻剝離層，使得剝離層的一部分保留在基板上；在保留在基板上的剝離層上方和在剝離層上保留有光刻膠的區域上方形成蝕刻停止層；以及使用第二溶劑除去在剝離層上保留有光刻膠的區域下方的剝離層。本專利技術的一個示例性實施例還公開了一種制造有機發光顯示裝置的方法，包括：在基板上形成多個第一電極，并進行第一單元工藝，第一單元工藝包括：在形成有多個第一電極的基板上形成包含含氟聚合物的剝離層；在剝離層上形成光刻膠，并通過光刻工藝在與多個第一電極中的一個第一電極對應的位置處除去光刻膠；使用包括氟的第一溶劑蝕刻剝離層，使得剝離層的一部分保留在多個第一電極的一個第一電極上；在保留在多個第一電極中的一個第一電極上的剝離層上方和在剝離層上保留有光刻膠的區域上方形成包括發光層的第一有機功能層；以及使用包括氟的第二溶劑除去被形成在剝離層上保留有光刻膠的區域中的剝離層。該方法進一步包括：在進行第一單元工藝之后，進行至少一次第二單元工藝，第二單元工藝在多個第一電極中的與多個第一電極中的一個第一電極不同的另一個第一電極被形成的區域中，形成發射與由第一有機功能層發射的光的顏色不同的顏色的光的第二有機功能層；以及在進行第一單元工藝和第二單元工藝之后，形成第二電極。應當理解，前述一般性描述和下面的詳細描述都是示例性和解釋性的，并且旨在提供對要求保護的專利技術的進一步解釋。附圖說明被包括進來以提供對專利技術構思的進一步理解并且被并入此說明書中并構成說明書一部分的附圖示出了專利技術構思的示例性實施例，并與描述一起用于解釋專利技術構思的原理。圖1是根據示例性實施例的制造方法的流程圖。圖2是示出由根據本專利技術示例性實施例的制造方法制造的有機發光顯示裝置的示意性剖視圖。圖3是示意性地示出在圖2的有機發光顯示裝置的制造方法中在基板上形成多個陽極的操作的剖視圖。圖4A、圖4B、圖4C、圖4D、圖4E和圖4F是示意性地示出圖2的有機發光顯示裝置的制造方法的第一單元操作的剖視圖。圖5A、圖5B、圖5C、圖5D、圖5E和圖5F是示意性地示出圖2的有機發光顯示裝置的制造方法的第二單元操作的剖視圖。圖6A、圖6B、圖6C、圖6D、圖6E和圖6F是示意性地示出圖2的有機發光顯示裝置的制造方法的第三單元操作的剖視圖。圖7是示出由根據本專利技術另一示例性實施例的制造方法制造的有機發光顯示裝置的示意性剖視圖。圖8是示出由根據本專利技術又一示例性實施例的制造方法制造的有機發光顯示裝置的示意性剖視圖。圖9是示出由根據本專利技術又一示例性實施例的制造方法制造的有機發光顯示裝置的示意性剖視圖。圖10是示出剝離層的殘留層被形成在陽極上的XPS分析的曲線圖。圖11是示出由根據本專利技術又一示例性實施例的制造方法制造的有機發光顯示裝置的示意性剖視圖。圖12A、圖12B、圖12C、圖12D、圖12E、圖12F、圖12G、圖12H和圖12I是示意性地示出圖11的有機發光顯示裝置的制造方法的剖視圖。圖13是示出由根據本專利技術又一示例性實施例的制造方法制造的有機發光顯示裝置的示意性剖視圖。具體實施方式在下面的描述中，出于解釋的目的，闡述了許多具體的細節，以便提供對各種示例性實施例的透徹理解。然而，很明顯，各種示例性實施例可以在沒有這些具體細節或具有一個或多個等同布置的情況下實施。在其它情況下，為了避免不必要地使各種示例性實施例晦澀費解，公知的結構和設備以框圖形式示出。在附圖中，為了清楚和描述目的，層、膜、面板、區域等的尺寸和相對尺寸可能被放大。此外，相同的附圖標記表示相同的元件。當元件或層被稱為在另一元件或層“上”、“被連接到”或“被聯接到”另一元件或層時，它可以直接在另一元件或層上、被直接連接到或直接聯接到另一元件或層，或者可以存在中間元件或中間層。然而，當元件或層被稱作“直接”在另一元件或層“上”、“被直接連接到”或“被直接聯接到”另一元件或層時，不存在中間元件和中間層。出于此公開的目的，“X、Y和Z中的至少一個”和“從由X、Y和Z組成的組中選擇的至少一個”可以被解釋為只有X、只有Y、只有Z、或者X、Y和Z中的兩個或更多個的任意組合，諸如，例如，XYZ、XYY、YZ和ZZ。相同的數字始終指代相同的元件。如本文所用，術語“和/或”包括一個或多個相關聯列出項的任意和所有組合。雖然術語第一、第二等可在本文中用來描述各種元件、組件、區域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區域、層和/或部分不應該受這些術語限制。這些術語僅用來區分一個元件、組件、區域、層和/或部分與另一個元件、組件、區域、層和/或部分。因此，下面討論的第一元件、組件、區域、層和/或部分可以被稱為第二元件、組件、區域、層和/或部分，而不脫離本公開的教導。出于描述的目的，在本文中可使用諸如“之下”、“下方”、“下”、“上方”、“上”等的空間相對術語，來描述如圖中所示的一個元件或特征與另一個(些)元件或特征的關系。除了圖中描繪的方位之外，空間相對術語意在包含裝置在使用、操作和/或制造中的不同方位。例如，如果圖中裝置被翻轉，則被描述為在其它元件或特征“下方”或“之下”的元件將被定向為在其它元件或特征的“上方”。因此，示例性術語“下方”可以包括上方和下方兩種方位。此外，裝置可被另外定向(例如旋轉90度或者在其它方位)，因此本文使用的空間相對描述符可以進行相應的解釋。本文使用的術語用于描述特定實施例的目的，并不旨在進行限制。如本文所用，單數形式的“一個”和“該(或所述)”旨在也包括復數形式，除非上下文另外清楚地指出。此外，當在說明書中使用時，術語“包括”、“包含”和/或“含有”表明存在所陳述的特征、整數、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組，但不排除存在或添加一個或多個其它特征、整數、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組。各種示例性實施例在本文中參考作為理想化示例性實施例和\本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種制造有機發光顯示裝置的方法，該方法包括：在基板上形成包括含氟聚合物的剝離層；在所述剝離層上形成光刻膠，并通過除去所述光刻膠的一部分來圖案化所述光刻膠；使用第一溶劑在除去了所述光刻膠的區域中蝕刻所述剝離層，使得所述剝離層的一部分保留在所述基板上；在保留在所述基板上的所述剝離層上方和在所述剝離層上保留有所述光刻膠的區域上方形成蝕刻停止層；以及使用第二溶劑除去在所述剝離層上保留有所述光刻膠的所述區域下方的所述剝離層。

【技術特征摘要】
2015.07.22 KR 10-2015-01038771.一種制造有機發光顯示裝置的方法，該方法包括：在基板上形成包括含氟聚合物的剝離層；在所述剝離層上形成光刻膠，并通過除去所述光刻膠的一部分來圖案化所述光刻膠；使用第一溶劑在除去了所述光刻膠的區域中蝕刻所述剝離層，使得所述剝離層的一部分保留在所述基板上；在保留在所述基板上的所述剝離層上方和在所述剝離層上保留有所述光刻膠的區域上方形成蝕刻停止層；以及使用第二溶劑除去在所述剝離層上保留有所述光刻膠的所述區域下方的所述剝離層。2.根據權利要求1所述的方法，進一步包括：在所述基板上形成第一電極，使得在所述蝕刻之后所述剝離層的一部分保留在所述第一電極上，在保留在所述第一電極上的所述剝離層上方和在所述剝離層上保留有所述光刻膠的所述區域上方形成包括發光層的有機功能層作為所述蝕刻停止層，以及在所述有機功能層上形成第二電極。3.根據權利要求2所述的方法，其中所述有機功能層包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層和電子注入層中的至少一個功能層。4.根據權利要求2所述的方法，其中形成所述有機功能層是使用沉積來進行的。5.根據權利要求2所述的方法，其中保留在所述第一電極上的所述剝離層的厚度等于或大于0.5納米并且等于或小于5納米。6.根據權利要求2所述的方法，其中在除去了所述光刻膠的所述區域中蝕刻所述剝離層之后，保留在所述第一電極上的所述剝離層的厚度通過干法蝕刻來調節。7.根據權利要求2所述的方法，其中保留在所述第一電極上的所述剝離層被直接形成在所述第一電極的表面上。8.根據權利要求2所述的方法，進一步包括：在所述第一電極與保留在所述第一電極上的所述剝離層之間形成空穴傳輸層，其中保留在所述第一電極上的所述剝離層接觸所述空穴傳輸層的表面。9.根據權利要求2所述的方法，進一步包括：形成圍繞所述第一電極的邊緣的像素限定層，其中保留在所述第一電極上的所述剝離層的一部分接觸所述像素限定層的
\t表面。10.根據權利要求2所述的方法，其中在形成所述第二電極之前，該方法進一步包括：在形成所述有機功能層時形成輔助陰極。11.根據權利要求1所述的方法，其中所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：權寧吉，
申請(專利權)人：三星顯示有限公司，
類型：發明
國別省市：韓國;KR