一種可升降射頻臺(tái)制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種可升降射頻臺(tái)，包括水冷臺(tái)板、升降支桿、安裝基板、伸縮波紋管、升降底板和驅(qū)動(dòng)單元，所述安裝基板固定設(shè)置，所述升降支桿下端穿過所述安裝基板并與升降底板連接，所述水冷臺(tái)板安裝于升降支桿的上端，所述伸縮波紋管套設(shè)于升降支桿上，且一端與安裝基板連接另一端與升降底板連接，所述驅(qū)動(dòng)單元與升降底板連接并可驅(qū)動(dòng)升降支桿沿安裝基板升降。本實(shí)用新型專利技術(shù)采用驅(qū)動(dòng)單元、升降底板、升降支桿的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板自動(dòng)升降，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，避免了現(xiàn)有技術(shù)中采用真空機(jī)械手實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板上基片的裝卸傳遞，降低了成本。

Lifting radio frequency table

The utility model discloses a lifting bedplate, including RF, water lifting rod, mounting substrate, telescopic bellows, lifting plate and the driving unit, the mounting substrate is fixed, the lifting rod end through the mounting substrate and connected with the lifting plate, the upper end of the water table in the installation the lifting rod, the telescopic corrugated pipe is arranged on a lifting rod, and one end of the mounting substrate and the other end is connected with the lifting plate connection, the driving unit and the lifting base plate and connected with a drive rod lifting along the substrate lifting installation. The utility model adopts the structure of drive unit, lifting plate, lift supporting rod, to realize water table automatic lifting, simple and compact structure, to avoid the transfer of substrate handling water cooling platen by vacuum manipulator in the prior art, reduces the cost.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及真空工藝設(shè)備射頻清洗、刻蝕應(yīng)用領(lǐng)域，尤其涉及一種可升降射頻臺(tái)。
技術(shù)介紹
隨著半導(dǎo)體工藝的高速發(fā)展， PVD、刻蝕設(shè)備中基片的清洗、刻蝕工藝成為一種常規(guī)工藝。射頻清洗、刻蝕工藝過程中，需要對(duì)基片溫度進(jìn)行有效控制，生產(chǎn)型設(shè)備中還需實(shí)現(xiàn)射頻臺(tái)與傳送機(jī)構(gòu)手之間的基板傳遞。傳統(tǒng)設(shè)備中射頻臺(tái)固定不動(dòng)，利用真空機(jī)械手實(shí)現(xiàn)射頻臺(tái)基片的裝卸傳遞，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高昂。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、避免了現(xiàn)有技術(shù)中采用真空機(jī)械手實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板上的基片的裝卸傳遞的可升降射頻臺(tái)。為解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)采用以下技術(shù)方案：一種可升降射頻臺(tái)，包括水冷臺(tái)板、升降支桿、安裝基板、伸縮波紋管、升降底板和驅(qū)動(dòng)單元，所述安裝基板固定設(shè)置，所述升降支桿下端穿過所述安裝基板并與升降底板連接，所述水冷臺(tái)板安裝于升降支桿的上端，所述伸縮波紋管套設(shè)于升降支桿上，且一端與安裝基板連接另一端與升降底板連接，所述驅(qū)動(dòng)單元與升降底板連接并可驅(qū)動(dòng)升降支桿沿安裝基板升降。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：所述水冷臺(tái)板內(nèi)設(shè)有環(huán)形水冷槽，所述環(huán)形水冷槽與升降支桿同軸設(shè)置，所述水冷臺(tái)板的底端設(shè)有進(jìn)水接口、出水接口和射頻引入接口。所述升降支桿的上端安裝有絕緣件，所述水冷臺(tái)板固定在絕緣件上。所述水冷臺(tái)板、絕緣件、升降支桿和升降底板均為同軸設(shè)置。所述絕緣件、升降支桿和升降底板為中空結(jié)構(gòu)，所述進(jìn)水接口、出水接口對(duì)應(yīng)的進(jìn)水管、出水管以及射頻引入接口對(duì)應(yīng)的射頻引入功率線依次從絕緣件、升降支桿和升降底板的內(nèi)部穿過。所述可升降射頻臺(tái)還包括升降導(dǎo)桿，所述升降導(dǎo)桿固定在安裝基板上，所述升降底板固定設(shè)有一連接板，所述連接板與升降導(dǎo)桿連接并可相對(duì)升降導(dǎo)桿上下移動(dòng)。所述升降導(dǎo)桿與連接板之間設(shè)有可沿升降導(dǎo)桿上下移動(dòng)的直線軸承，所述連接板與直線軸承固定連接。所述升降導(dǎo)桿設(shè)置為兩根。所述驅(qū)動(dòng)單元為驅(qū)動(dòng)氣缸，所述驅(qū)動(dòng)氣缸的固定端固定在安裝基板上，伸出端與升降底板連接。所述驅(qū)動(dòng)氣缸設(shè)置為兩組，兩組驅(qū)動(dòng)氣缸分設(shè)于升降支桿的兩側(cè)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于：本技術(shù)的可升降射頻臺(tái)，采用驅(qū)動(dòng)單元、升降底板、升降支桿的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板自動(dòng)升降，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，避免了現(xiàn)有技術(shù)中采用真空機(jī)械手實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板上基片的裝卸傳遞，降低了成本。附圖說明圖1是本技術(shù)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本技術(shù)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中各標(biāo)號(hào)表示：1、水冷臺(tái)板；12、環(huán)形水冷槽；13、進(jìn)水接口；14、出水接口；15、射頻引入接口；2、升降支桿；3、安裝基板；4、伸縮波紋管；5、升降底板；51、連接板；52、直線軸承；6、驅(qū)動(dòng)單元；61、固定端；62、伸出端；7、絕緣件；8、升降導(dǎo)桿。具體實(shí)施方式以下結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施例對(duì)本技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1和圖2示出了本技術(shù)可升降射頻臺(tái)的一種實(shí)施例，該可升降射頻臺(tái)包括水冷臺(tái)板1、升降支桿2、安裝基板3、伸縮波紋管4、升降底板5和驅(qū)動(dòng)單元6，安裝基板3固定設(shè)置，升降支桿2下端穿過安裝基板3并與升降底板5連接，水冷臺(tái)板1安裝于升降支桿2的上端，伸縮波紋管4套設(shè)于升降支桿2上，且一端與安裝基板3連接另一端與升降底板5連接，驅(qū)動(dòng)單元6與升降底板5連接并可驅(qū)動(dòng)升降支桿2沿安裝基板3升降。本實(shí)施例中的可升降射頻臺(tái)用于生產(chǎn)型多靶磁控濺射系統(tǒng)中對(duì)基片的射頻清洗，伸縮波紋管4上端安裝在生產(chǎn)型多靶磁控濺射系統(tǒng)的真空工藝腔體（圖中未示出）上，下端與升降底板5相連，將水冷臺(tái)板1密封在真空工藝腔體內(nèi)，采用驅(qū)動(dòng)單元6、升降底板5、升降支桿2的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板1自動(dòng)升降，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，避免了現(xiàn)有技術(shù)中采用真空機(jī)械手實(shí)現(xiàn)水冷臺(tái)板1上的基片（圖中未示出）的裝卸傳遞，降低了成本。本實(shí)施例中，升降支桿2的上端安裝有絕緣件7，水冷臺(tái)板1固定在絕緣件7上。水冷臺(tái)板1、絕緣件7、升降支桿2和升降底板5均為同軸設(shè)置。本實(shí)施例中，水冷臺(tái)板1內(nèi)設(shè)有環(huán)形水冷槽12，環(huán)形水冷槽12與升降支桿2同軸設(shè)置，水冷臺(tái)板1的底端設(shè)有進(jìn)水接口13、出水接口14和射頻引入接口15。通過進(jìn)水接口13、出水接口14引入循環(huán)冷卻水，實(shí)現(xiàn)對(duì)水冷臺(tái)板1和其上基片的冷卻。絕緣件7、升降支桿2和升降底板5為中空結(jié)構(gòu)，進(jìn)水接口13、出水接口14對(duì)應(yīng)的進(jìn)水管、出水管以及射頻引入接口15對(duì)應(yīng)的射頻引入功率線依次從絕緣件7、升降支桿2和升降底板5的內(nèi)部穿過。采用這種布線、布管結(jié)構(gòu)，可防止進(jìn)水管、出水管和射頻引入功率線暴露在外，同時(shí)避免了各線路、管路交錯(cuò)布置，造成結(jié)構(gòu)復(fù)雜，絕緣件7用于將水冷臺(tái)板1與升降支桿2絕緣。本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)單元6為驅(qū)動(dòng)氣缸，驅(qū)動(dòng)氣缸的固定端61固定在安裝基板3上，伸出端62與升降底板5連接。本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)氣缸設(shè)置為兩組，兩組驅(qū)動(dòng)氣缸分設(shè)于升降支桿2的兩側(cè)。兩組驅(qū)動(dòng)氣缸同步運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)氣缸的伸出端62伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)升降底板5及與其固定連接的升降支桿2、水冷臺(tái)板1升降運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施例中，可升降射頻臺(tái)還包括升降導(dǎo)桿8，升降導(dǎo)桿8固定在安裝基板3上，升降底板5固定設(shè)有一連接板51，連接板51與升降導(dǎo)桿8連接并可相對(duì)升降導(dǎo)桿8上下移動(dòng)。升降導(dǎo)桿8與連接板51之間設(shè)有可沿升降導(dǎo)桿8上下移動(dòng)的直線軸承52，連接板51與直線軸承52固定連接。驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)升降底板5升降時(shí)，連接板51帶動(dòng)直線軸承52沿升降導(dǎo)桿8升降，從而提高了升降支桿2和水冷臺(tái)板1升降運(yùn)動(dòng)方向的穩(wěn)定性，升降導(dǎo)桿8設(shè)置為兩根。雖然本技術(shù)已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本技術(shù)。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本技術(shù)技術(shù)方案范圍的情況下，都可利用上述揭示的
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
對(duì)本技術(shù)技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本技術(shù)技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本技術(shù)技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均應(yīng)落在本技術(shù)技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種可升降射頻臺(tái)，其特征在于：包括水冷臺(tái)板（1）、升降支桿（2）、安裝基板（3）、伸縮波紋管（4）、升降底板（5）和驅(qū)動(dòng)單元（6），所述安裝基板（3）固定設(shè)置，所述升降支桿（2）下端穿過所述安裝基板（3）并與升降底板（5）連接，所述水冷臺(tái)板（1）安裝于升降支桿（2）的上端，所述伸縮波紋管（4）套設(shè)于升降支桿（2）上，且一端與安裝基板（3）連接另一端與升降底板（5）連接，所述驅(qū)動(dòng)單元（6）與升降底板（5）連接并可驅(qū)動(dòng)升降支桿（2）沿安裝基板（3）升降。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種可升降射頻臺(tái)，其特征在于：包括水冷臺(tái)板（1）、升降支桿（2）、安裝基板（3）、伸縮波紋管（4）、升降底板（5）和驅(qū)動(dòng)單元（6），所述安裝基板（3）固定設(shè)置，所述升降支桿（2）下端穿過所述安裝基板（3）并與升降底板（5）連接，所述水冷臺(tái)板（1）安裝于升降支桿（2）的上端，所述伸縮波紋管（4）套設(shè)于升降支桿（2）上，且一端與安裝基板（3）連接另一端與升降底板（5）連接，所述驅(qū)動(dòng)單元（6）與升降底板（5）連接并可驅(qū)動(dòng)升降支桿（2）沿安裝基板（3）升降。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可升降射頻臺(tái)，其特征在于：所述水冷臺(tái)板（1）內(nèi)設(shè)有環(huán)形水冷槽（12），所述環(huán)形水冷槽（12）與升降支桿（2）同軸設(shè)置，所述水冷臺(tái)板（1）的底端設(shè)有進(jìn)水接口（13）、出水接口（14）和射頻引入接口（15）。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可升降射頻臺(tái)，其特征在于：所述升降支桿（2）的上端安裝有絕緣件（7），所述水冷臺(tái)板（1）固定在絕緣件（7）上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可升降射頻臺(tái)，其特征在于：所述水冷臺(tái)板（1）、絕緣件（7）、升降支桿（2）和升降底板（5）均為同軸設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的可升降射頻臺(tái)，其特征在于：所述絕緣件（7）、...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：佘鵬程，龔俊，陳特超，范江華，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所，
類型：新型
國(guó)別省市：湖南;43