電子部件檢查裝置及電子部件搬送方法制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)涉及電子部件檢查裝置及電子部件搬送方法。電子部件檢查裝置中設(shè)有：拍攝被把持部把持前的電子部件的上面電極的第1攝像裝置、拍攝設(shè)置于檢查用頭的接觸端子的第2攝像裝置、拍攝被把持部把持的電子部件的下面電極的第3攝像裝置、和拍攝檢查用插槽的第4攝像裝置。而且設(shè)有控制裝置，其通過使檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整把持部的位置，來根據(jù)由第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持部把持電子部件時的把持姿勢，并根據(jù)由第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持了電子部件的把持部相對檢查用插槽的把持姿勢。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請是2011年5月13日向中國國家專利局提出的申請?zhí)枮?01110126539.8、專利技術(shù)名稱為“電子部件檢查裝置及電子部件搬送方法”這一申請的分案申請。
本專利技術(shù)涉及對被封裝成在兩面設(shè)有電極的半導(dǎo)體芯片等電子部件進(jìn)行電氣檢查的電子部件試驗裝置、以及在該電子部件試驗裝置中采用的電子部件搬送方法。
技術(shù)介紹
這種電子部件檢查裝置一般按照如下的順序進(jìn)行作為對象的電子部件的供給、檢查和排出。即，(a)將盛在托盤中而從電子部件檢查裝置的外部供給的檢查前的電子部件，通過基于把持部的把持搬送，向檢查用頭供給。(b)由檢查用頭將該供給來的電子部件配置到檢查用插槽上。(c)在基于該檢查用插槽進(jìn)行檢查后，由檢查用頭對被配置在該檢查用插槽的電子部件進(jìn)行回收。(d)通過把持部將回收的電子部件，按照檢查結(jié)果的好壞分配到各個對應(yīng)的托盤中，然后與這些托盤一同排出到電子部件檢查裝置的外部。根據(jù)這些步驟可知，在這樣的電子部件檢查裝置中，除了維持精確的檢查之外，通過上述檢查用頭將電子部件以規(guī)定的精度準(zhǔn)確地配置在檢查用插槽上、即將電子部件的各電極與在檢查用插槽中設(shè)置的檢查端子正確連接至為重要。近年來，作為小型化、高度集成化的電子部件，大多使采用了如上述那樣在上面和下面的兩面分別設(shè)有電極，并且層疊在其上面的其他電子部件與成為基座的部件的上面的電極連接的構(gòu)造(POP:層疊封裝構(gòu)造)的電子部件，作為檢查對象。以往，一般在對具有這樣的層疊封裝構(gòu)造的電子部件進(jìn)行檢查的檢查裝置中，設(shè)有在將把持部所把持的電子部件配置到檢查用插槽時，與電子部件的上面電極接觸的接觸端子；和將該接觸端子與配置有檢查用插槽的檢查基板的電極連接的連接端子。由此，對于電子部件的上面電極，通過使其經(jīng)由上述接觸端子及連接端子與檢查基板的電極連接，能夠與被配置在檢查用插槽上并同樣與檢查基板連接的該電子部件的下面電極一同，進(jìn)行經(jīng)由這些上面及下面電極的電氣檢查。另一方面，為了與通過電子部件的小型化、高度集成化而被微細(xì)化的電子部件的電極間隔對應(yīng)，還提出了各種能夠?qū)⒕哂羞@些微細(xì)間隔的電子部件的電極與檢查用插槽的接觸端子準(zhǔn)確連接的技術(shù)，專利文獻(xiàn)1中記載了其中一個例子。在專利文獻(xiàn)1所記載的檢查裝置中，把持電子部件的把持側(cè)臂上具有約束/非約束切換結(jié)構(gòu)，從下部對所把持的電子部件進(jìn)行攝像。而且，利用由與把持側(cè)臂不同的組件構(gòu)成的位置修正單元，基于該攝像結(jié)果進(jìn)行電子部件的位置修正，利用約束/非約束切換機(jī)構(gòu)將電子部件相對把持側(cè)臂而固定在修正后的位置。然后，使被如此被固定了位置的電子部件的電極與檢查用插槽的接觸端子接觸。由此，可高度維持檢查用頭與電子部件之間的位置關(guān)系的精度，從而能夠高度維持通過檢查用頭使電子部件向檢查用插槽的配置精度。[專利文獻(xiàn)1]再公表專利WO2003/075023號公報根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1所記載的檢查裝置，通過將電子部件相對檢查用頭的姿勢維持成規(guī)定的姿勢，能夠以規(guī)定的精度維持電子部件的下面電極與檢查用插槽的接觸端子的連接。但在專利文獻(xiàn)1所記載的裝置中，由于作為其檢查對象而沒有考慮上述的層疊封裝構(gòu)造的電子部件，所以，不能將其簡單地應(yīng)用到將層疊封裝構(gòu)造的電子部件作為檢查對象的檢查裝置。即，如果在將層疊封裝構(gòu)造的電子部件作為檢查對象的檢查裝置中組合了專利文獻(xiàn)1所記載的裝置，則存在著如何處理與上述接觸端子、連接端子的關(guān)系等問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)鑒于這樣的問題而提出，其目的在于，提供一種能夠高精度地對在上面和下面這兩面具有電極的電子部件進(jìn)行電氣檢查的電子部件檢查裝置、以及在該電子部件檢查裝置中采用的電子部件搬送方法。本專利技術(shù)的電子部件檢查裝置具備：電子部件，其在第1面和上述第1面的相反側(cè)的第2面上設(shè)有電極；檢查用插槽，其在進(jìn)行上述電子部件的電氣檢查時被配置上述電子部件；檢查用頭，其用于將上述電子部件搬送配置到上述檢查用插槽，具有把持上述電子部件的把持部、調(diào)整上述把持部的位置的位置調(diào)整部、和設(shè)置于上述把持部并能夠與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極接觸的接觸端子；第1攝像裝置，其拍攝被上述把持部把持前的電子部件的第1面電極；第2攝像裝置，其拍攝設(shè)置于上述檢查用頭的接觸端子；第3攝像裝置，其拍攝由上述把持部把持的電子部件的第2面電極；第4攝像裝置，其拍攝上述檢查用插槽；和控制裝置，其通過使上述檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整上述把持部的位置，來根據(jù)由上述第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制上述把持部把持上述電子部件時的把持姿勢，并根據(jù)由上述第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持了上述電子部件的把持部相對上述檢查用插槽的把持姿勢。通過將能夠與電子部件的第1面電極接觸的接觸端子直接設(shè)置于把持部，使把持部正確地把持電子部件，由此，該被把持的電子部件的第1面電極與上述接觸端子的位置關(guān)系被維持成自動對應(yīng)的關(guān)系。而且，通過在檢查用頭上設(shè)置用于調(diào)整該把持部的位置的位置調(diào)整部，能夠準(zhǔn)確確保、維持通過控制裝置的上述姿勢控制使把持部把持電子部件時的把持姿勢、和把持了電子部件的把持部相對上述檢查用插槽的把持姿勢。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠可靠保證電子部件的第1面電極及第2面電極與接觸端子及檢查用插槽的電導(dǎo)通。該電子部件檢查裝置在比配置于上述檢查用插槽的上述電子部件的外周靠外側(cè)，設(shè)有對與上述電子部件的第1面電極的電導(dǎo)通進(jìn)行確保的連接電極，在上述把持部上設(shè)有能夠與上述連接電極接觸的連接端子。在該電子部件檢查裝置中，上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置中的至少一方被設(shè)于上述檢查用頭。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于隨著按壓裝置的移動而移動的第1攝像裝置、第4攝像裝置的視野也移動，所以結(jié)構(gòu)簡單，便利性提高。在該電子部件檢查裝置中，上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置是被共用的1個攝像裝置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于第1攝像裝置和第4攝像裝置被共用，所以可減少攝像裝置的數(shù)量，削減部件個數(shù)。在該電子部件檢查裝置中，上述第2攝像裝置和上述第3攝像裝置是被共用的1個攝像裝置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于第2攝像裝置和第3攝像裝置被共用，所以可減少攝像裝置的數(shù)量，削減部件個數(shù)。在該電子部件檢查裝置中，上述把持部以將上述接觸端子與上述電子部件的第1面電極保持為非接觸的狀態(tài)，來把持上述電子部件，上述檢查用頭在將被上述把持部把持的電子部件按壓到上述檢查用插槽時，使上述電子部件的第2面電極與上述檢查用插槽的接觸端子接觸，然本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種電子部件搬送裝置，其特征在于，對在第1面和上述第1面的相反側(cè)的第2面上設(shè)有電極的電子部件進(jìn)行搬送，上述電子部件搬送裝置能夠配置檢查用頭，該檢查用頭具有被配置上述電子部件的檢查用插槽、把持上述電子部件的把持部、調(diào)整上述把持部的位置的位置調(diào)整部、以及能夠與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極接觸的接觸端子，并將上述電子部件配置于上述檢查用插槽，上述電子部件搬送裝置具有：第1攝像裝置，其拍攝被上述把持部把持前的電子部件的第1面電極；第2攝像裝置，其拍攝設(shè)置于上述檢查用頭的接觸端子；第3攝像裝置，其拍攝由上述把持部把持的電子部件的第2面電極；和第4攝像裝置，其拍攝上述檢查用插槽，通過使上述檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整上述把持部的位置，來根據(jù)由上述第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制上述把持部把持上述電子部件時的把持姿勢，并根據(jù)由上述第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持了上述電子部件的把持部相對上述檢查用插槽的把持姿勢。

【技術(shù)特征摘要】
2010.05.14 JP 2010-1118251.一種電子部件搬送裝置，其特征在于，
對在第1面和上述第1面的相反側(cè)的第2面上設(shè)有電極的電子部件
進(jìn)行搬送，
上述電子部件搬送裝置能夠配置檢查用頭，該檢查用頭具有被配置
上述電子部件的檢查用插槽、把持上述電子部件的把持部、調(diào)整上述把
持部的位置的位置調(diào)整部、以及能夠與由上述把持部把持的電子部件的
第1面電極接觸的接觸端子，并將上述電子部件配置于上述檢查用插槽，
上述電子部件搬送裝置具有：
第1攝像裝置，其拍攝被上述把持部把持前的電子部件的第1面電
極；
第2攝像裝置，其拍攝設(shè)置于上述檢查用頭的接觸端子；
第3攝像裝置，其拍攝由上述把持部把持的電子部件的第2面電極；
和
第4攝像裝置，其拍攝上述檢查用插槽，
通過使上述檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整上述把持部的位置，來根據(jù)
由上述第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制上述把持部把持上述電
子部件時的把持姿勢，并根據(jù)由上述第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，
控制把持了上述電子部件的把持部相對上述檢查用插槽的把持姿勢。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件搬送裝置，其特征在于，
在比配置于上述檢查用插槽的上述電子部件的外周靠外側(cè)，設(shè)有對
與上述電子部件的第1面電極的電導(dǎo)通進(jìn)行確保的連接電極，在上述把
持部上設(shè)有能夠與上述連接電極接觸的連接端子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子部件搬送裝置，其特征在于，
上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置中的至少一方被設(shè)于上述檢
查用頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子部件搬送裝置，其特征在于，
上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置是被共用的...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：塩澤雅邦，
申請(專利權(quán))人：精工愛普生株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：日本;JP