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    一種研磨基板壓力供給裝置制造方法及圖紙

    技術編號:13302328 閱讀:44 留言:0更新日期:2016-07-09 19:36
    本實用新型專利技術涉及顯示面板技術領域,尤其涉及一種研磨基板壓力供給裝置。該研磨基板壓力供給裝置包括:第一通電磁鐵和第二通電磁鐵,所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的同極側上下相對放置且存在空隙;第二通電磁鐵與第一通電磁鐵通過導軌機構連接,所述第二通電磁鐵沿著第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的共同中心線方向在一定范圍內進行滑動;第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產生的排斥力為面板提供研磨壓力。本實用新型專利技術提供的研磨基板壓力供給裝置,通過設置兩塊同極相對的電磁鐵通電后,電磁鐵間產生可控作用力,電磁作用力大小可直接由電流強度來直接控制。電磁間作用力非直接接觸力,存在緩沖空間,作用于面板表面非剛性接觸,不易引起面板破損。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及顯示面板
    ,尤其涉及一種研磨基板壓力供給裝置
    技術介紹
    現有機構提供研磨壓力主要由氣壓或直接調節研磨頭與面板Panel間的空隙Gap 值。這兩種方式均不能起到精確控制研磨壓力的作用。氣體從管路中釋放出來后,壓力衰減 很快,作用與Panel表面時壓力值不固定,壓力存在波動性,對研磨效果調試不利。 其中,對Panel的研磨采用氣壓作用于研磨帶的模式,氣體壓力衰減嚴重,不易精 確控制。導致Panel各區域壓力分布不均衡,存在波動性,量化管理困難;另外一種直接調整 研磨Gap的模式不能有效調整研磨頭對Panel的直接壓力大小,無法對研磨效果進行參數型 量化管理,研磨效果不易控制。
    技術實現思路
    (一)要解決的技術問題 本技術要解決的技術問題是提供一種研磨基板壓力供給裝置現有技術中的 Panel研磨通過氣壓作用于研磨帶的模式,氣體壓力衰減嚴重,不易精確控制,導致Panel各 區域壓力分布不均衡,故研磨效果存在波動性,量化管理困難。 (二)技術方案 為解決上述問題,本技術提供了一種研磨基板壓力供給裝置,包括: 第一通電磁鐵和第二通電磁鐵,所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的同極側上下 相對放置且存在空隙; 所述第二通電磁鐵與第一通電磁鐵通過導軌機構連接,所述第二通電磁鐵沿著第 一通電磁鐵和第二通電磁鐵的共同中心線方向在一定范圍內進行滑動; 所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產生的排斥力為面板提供研磨壓力。 優選地,所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產生的排斥力F等于第一通電磁 鐵產生磁力F1和第二通電磁鐵產生磁力F2之和,即: F=F1+F2,f\ = -iV'~fi=' -入-?~ 其中,h為第一通電磁鐵的磁導率,Si為第一通電磁鐵鐵芯的截面積,Ii為第一通 電磁鐵的線圈電流,WiS第一通電磁鐵的線圈匝數,心為第一通電磁鐵的氣隙長度; li2為第一通電磁鐵的磁導率,S2為第一通電磁鐵鐵芯的截面積,〗2為第一通電磁鐵 的線圈電流,W2為第一通電磁鐵的線圈Hi數,§2為第一通電磁鐵的氣隙長度。優選地,所述導軌機構包括第一 L形固定支架和第二L形固定支架,所述第一固定 支架位于橫向的第一邊與第一通電磁鐵固定連接,其位于縱向的第二邊與第二L形固定支 架的位于縱向的長邊通過滑軌連接,所述長邊與第二通電磁鐵連接,所述第二通電磁鐵通 過在長邊上的滑動,實現與第一通電磁鐵的相對運動。優選地,所述第二L形固定支架的長邊長度大于第一 L形固定支架的第二邊長度。 優選地,所述第二L形固定支架的位于橫向的窄邊垂直連接連接桿,導軌機構還包 括緩沖器,所述緩沖器固定在連接桿和第一固定支架中的第一邊之間,所述緩沖器包括限 位桿和套在限位桿上的彈簧。 優選地,所述連接桿連接限位桿,所述彈簧固定在窄邊上,所述第二通電磁鐵在長 邊上滑動帶動所述連接桿在限位桿范圍內擠壓彈簧,進而產生緩沖力。 優選地,所述第二通電磁鐵底端連接研磨鉆頭,所述研磨鉆頭底端設有緩沖海綿。 (三)有益效果本技術提供一種研磨基板壓力供給裝置,通過設置兩塊同極相對的電磁鐵通 電后,電磁鐵間產生可控作用力,電磁作用力大小可直接由電流強度來直接控制。電磁間作 用力非直接接觸力,存在緩沖空間,作用于面板表面非剛性接觸,不易引起面板破損。【附圖說明】圖1為本技術實施例研磨基板壓力供給裝置結構; 圖2為本技術實施例研磨基板壓力供給裝置中導軌機構結構示意圖。【具體實施方式】 下面結合附圖及實施例對本技術進行詳細說明如下。 如圖1和2所示,本技術實施例提供了一種研磨基板壓力供給裝置,包括:第一 通電磁鐵1和第二通電磁鐵2,所述第一通電磁鐵1和第二通電磁鐵2的同極側上下相對放置 且存在空隙; 所述第二通電磁鐵2與第一通電磁鐵1通過導軌機構連接,所述第二通電磁鐵2沿 著第一通電磁鐵1和第二通電磁鐵2的共同中心線方向在一定范圍內進行滑動;所述第一通電磁鐵1和第二通電磁鐵2之間產生的排斥力為面板3提供研磨壓力。 第二通電磁鐵2連接研磨鉆頭。 第一通電磁鐵1固定設置,第二通電磁鐵2為活動設置,通過導軌,第二通電磁鐵可 相對于第一通電磁鐵進行相對運動。當第一通電磁鐵和第二通電磁鐵通電產生斥力時,第 二通電磁鐵受力,隨即在導軌上滑動并將壓力通過研磨頭傳遞到面板Panel上,從而產生研 磨壓力。 本技術實施例采用兩塊同極相對的電磁鐵通電后,電磁鐵間產生可控作用 力,電磁作用力大小可直接由電流強度來直接控制。電磁作用力具備連續性精確變化。將此 作用力作用于面板Panel表面,可達到對面板表面壓強精確控制。 電流通過纏繞在鐵芯上的線圈后,鐵芯會產生磁場。兩個纏繞線圈的鐵芯相向放 置,通電后磁場相互作用產生相互作用力,根據相互作用力的方向分為引力和斥力。此時, 利用斥力作用于研磨頭并通過研磨頭間接作用于面板表面,以達到對面板清潔作用。本實 施例中的電磁鐵的固定環境避免采用鐵質,避免設備長期運轉導致鐵質環境磁化,從而影 響研磨部壓力效果。 其中,本實施例中的第一通電磁鐵1和第二通電磁鐵2均由鐵芯和通電的螺旋線圈 組成,電磁感應強度由鐵芯磁導率、線圈匝數及線圈電流大小決定,線圈中電流方向控制電 磁鐵磁極方向。根據右手螺旋定則設置電流的方向從而設置磁極方向。所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產生的排斥力F等于第一通電磁鐵產生磁 力F1和第二通電磁鐵產生磁力F2之和,即:其中,^為第一通電磁鐵的磁導率,Si為第一通電磁鐵鐵芯的截面積,Ii為第一通 電磁鐵的線圈電流,WiS第一通電磁鐵的線圈匝數,知為第一通電磁鐵的氣隙長度;[003當前第1頁1 2 本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種研磨基板壓力供給裝置,其特征在于,包括:第一通電磁鐵和第二通電磁鐵,所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的同極側上下相對放置且存在空隙;所述第二通電磁鐵與第一通電磁鐵通過導軌機構連接,所述第二通電磁鐵沿著第一通電磁鐵和第二通電磁鐵的共同中心線方向在一定范圍內進行滑動;所述第一通電磁鐵和第二通電磁鐵之間產生的排斥力為面板提供研磨壓力。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:顧楠軒林斌王亞平褚威趙業開劉敏劉書雨胡忠棋于兵
    申請(專利權)人:合肥鑫晟光電科技有限公司京東方科技集團股份有限公司
    類型:新型
    國別省市:安徽;34

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