真空泵制造技術

本發明專利技術提供一種能夠實現小型輕量化、提高作業性并降低成本的真空泵。將具有旋轉體（19）的泵主體（11）和驅動控制該泵主體（11）的控制單元（12）之間的電氣連接借助柔性印制配線板（41）連接，前述旋轉體（19）被磁軸承軸支承，前述柔性印制配線板（41）在呈薄板狀的絕緣性基材的表面上印制有電路。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種真空栗，特別地，涉及一種能夠在半導體制造裝置和高能物理學的工業真空裝置等中在從中真空到超高真空的壓力范圍內利用的真空栗。
技術介紹
隨著近年來電子設備的發展，存儲器和集成電路等半導體裝置的需求急劇增大。這些半導體裝置通過下述方式被制造:向純度極高的半導體基板(晶片)摻雜雜質來賦予電氣性能，借助蝕刻在半導體基板上形成細微的電路。這些操作為了避免由空氣中的塵等帶來的影響，需要在高真空狀態的腔內進行，對于腔內的排氣，一般使用真空栗，該真空栗是已知的(例如參照專利文獻1、專利文獻2)。在這樣的真空栗中，設置有栗主體和控制單元，前述控制單元輸入輸出向該栗主體的電力和控制信號來控制該栗主體的驅動。另外，栗主體和控制單元之間的電力和控制信號的輸入輸出使用金屬纜線(wire cable)，前述金屬纜線用絕緣用乙烯樹脂等包覆芯線的外周構成。該金屬纜線的根數為約40根以上，在真空栗內占據的空間也很多。專利文獻1:日本特開2006-344503號公報。專利文獻2:日本實用新案登錄第3138105號公報。如上所述，如在專利文獻1、專利文獻2中已知的那樣，在以往的真空栗中，對于栗主體和控制單元之間的電力和控制信號的輸入輸出，使用將芯線的外周用絕緣用乙烯樹脂等包覆的金屬纜線。因此，在真空栗內金屬纜線占據的空間很多，而且重量也增大，因此妨礙真空栗的小型化和輕量化。進而，金屬纜線價格高，也是成本增加的原因。另外，金屬纜線具有撓性，但若要使多根構成為束的金屬纜線同時彎曲，需要很大的力，也有作業性不佳的問題。
技術實現思路
因此，為了提供能夠實現小型輕量化、提高作業性并降低成本的真空栗，出現了必須解決的技術性問題，本專利技術的目的就是解決該問題。本專利技術是為了實現上述目的提出的專利技術，技術方案1記載的專利技術提供一種真空栗，具備栗主體和控制單元，前述栗主體具有旋轉體，前述控制單元對該栗主體進行驅動控制，將前述栗主體內的電氣連接、前述控制單元內的電氣連接、或者前述栗主體和前述控制單元之間的電氣連接借助電纜進行連接，其中，前述電纜的至少一部分借助柔性印制配線板形成，前述柔性印制配線板通過在呈薄板狀的絕緣性基材的表面上設置配線圖案而形成。根據該方案，用于進行栗主體內的電氣連接、控制單元內的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接的的電纜的至少一部分使用柔性印制配線板，因此與以往的金屬纜線相比，電纜占據的空間變小，并且變輕。另外，能夠容易地使柔性印制配線板彎曲，簡單地向所需要的位置拖拽。技術方案2記載的專利技術提供一種真空栗，在技術方案1記載的方案中，前述控制單元安裝在前述栗主體上。根據該方案，栗主體和控制單元一體化，能夠實現緊湊化。技術方案3記載的專利技術提供一種真空栗，在技術方案1或2記載的方案中，前述柔性印制配線板具備安裝在至少一端側的連接器。根據該方案，能夠經由柔性印制配線板和連接器，容易地進行栗主體內的電氣連接、控制單元內的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接。技術方案4記載的專利技術提供一種真空栗，在技術方案3記載的方案中，前述連接器具有用于與前述柔性印制配線板連接的多個銷。根據該方案，使連接器的銷插入柔性印制配線板的孔，由此能夠使柔性印制配線板的端子和連接器的銷簡單地電氣連接。技術方案5記載的專利技術提供一種真空栗，在技術方案4記載的方案中，前述多個銷夾著前述柔性印制配線板的延伸方向中心配設在左右對稱的位置上，前述連接器設有指示安裝前述柔性印制配線板的朝向的指示機構。根據該方案，若按照設在連接器上的指示機構的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯柔性印制配線板的朝向的情況下進行安裝。技術方案6記載的專利技術提供一種真空栗，在技術方案1到5中任意一項記載的方案中，前述柔性印制配線板具有多個孔與多個端子，前述多個端子將該多個孔分別包圍并分別連接于前述配線圖案。根據該方案，使連接器的銷插入柔性印制配線板的孔，由此能夠使柔性印制配線板的端子和連接器的銷簡單地電氣連接。技術方案7記載的專利技術提供一種真空栗，在技術方案1到6中任意一項記載的方案中，前述柔性印制配線板設有指示安裝前述柔性印制配線板的朝向的指示機構。根據該方案，若按照設在柔性印制配線板上的指示機構的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯柔性印制配線板的朝向的情況下進行安裝。技術方案1記載的專利技術由于電纜的至少一部分使用柔性印制配線板，能夠使電纜占據的空間及重量減小，因此能夠實現小型.輕量化，前述電纜進行栗主體內的電氣連接、控制單元內的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接。另外，由于能夠減少使用材料，并且能夠將電纜向所需要的位置簡單地拖拽，所以使得作業性提高，可以期待成本的降低。技術方案2記載的專利技術由于栗主體和控制單元一體化，能夠實現緊湊化，因此加上技術方案1的專利技術的效果，可以期待能夠進一步實現小型化的效果。技術方案3記載的專利技術由于能夠經由柔性印制配線板和連接器，容易地進行栗主體內的電氣連接、控制單元內的電氣連接、或者栗主體和控制單元之間的電氣連接，因此加上技術方案1或2的專利技術的效果，可以更加期待進一步提高作業性、降低成本。技術方案4記載的專利技術由于能夠通過使連接器的銷插入該柔性印制配線板的孔，使柔性印制配線板和連接器簡單地電氣連接，因此加上技術方案3記載的專利技術的效果，可以更加期待進一步提高作業性、降低成本。技術方案5記載的專利技術由于若按照設在連接器上的指示機構的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯柔性印制配線板的朝向的情況下進行安裝，因此加上技術方案4記載的專利技術的效果，可以期待進一步提高作業性和提高信賴性。技術方案6記載的專利技術由于能夠通過使連接器的銷插入柔性印制配線板的孔，使柔性印制配線板的端子和連接器的銷簡單地電氣連接，因此加上技術方案1到5中任意一項記載的專利技術的效果，可以期待進一步提高作業性和提高信賴性。技術方案7記載的專利技術由于若按照設在柔性印制配線板上的指示機構的指示，向連接器安裝柔性印制配線板，則能夠在不弄錯柔性印制配線板的朝向的情況下進行安裝，因此加上技術方案1到6中任意一項記載的專利技術的效果，可以期待進一步提高作業性和提高信賴性。【附圖說明】圖1是涉及本專利技術的一實施方式的真空栗的剖視圖。圖2是在將控制單元從栗主體拆卸的狀態下表示的該真空栗的剖視圖。圖3是將該真空栗中的電纜在將連接器安裝于柔性印制配線板的狀態下表示的圖，(a)是其俯視圖，(b)是其側視圖。圖4是表示圖3示出的柔性印制配線板單體的圖，(a)是其俯視圖，(b)是其側視圖。圖5是表示圖3示出的連接器單體的圖，(a)是其側視圖，(b)是其俯視圖。圖6是作為本專利技術的變形例表示的真空栗的剖視圖。圖7是用于說明柔性印制配線板和連接器的其他的連接例的圖。【具體實施方式】為了實現提供能夠實現小型輕量化、提高作業性并降低成本的真空栗的目的，本專利技術的真空栗，將具有旋轉體的栗主體和驅動控制該栗主體的控制單元之間借助輸入輸出電力和控制信號的電纜進行電氣連接，其中，將前述電纜借助柔性印制配線板形成，前述柔性印制配線板在呈薄板狀的絕緣性基材的表面上印制有配線圖案，由此，實現前述目的。以下，參照附圖對涉及本專利技術實施方式的真空栗的實施例進行詳細說明。實施例圖1及圖2是表示涉及本專利技術的真空栗本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空泵，具備泵主體和控制單元，前述泵主體具有旋轉體，前述控制單元對該泵主體進行驅動控制，將前述泵主體內的電氣連接、前述控制單元內的電氣連接、或者前述泵主體和前述控制單元之間的電氣連接借助電纜進行連接，其特征在于，前述電纜的至少一部分借助柔性印制配線板形成，前述柔性印制配線板通過在薄板狀絕緣性基材的表面上設置配線圖案而形成。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：大森秀樹，
申請(專利權)人：埃地沃茲日本有限公司，
類型：發明
國別省市：日本;JP