一種用于棱鏡定心調整機構制造技術

本發明專利技術公開一種用于棱鏡定心調整機構，包括：固定該棱鏡的棱鏡支架；固定該棱鏡及棱鏡支架的支撐架；連接桿，用于柔性連接該棱鏡支架與該支撐架；驅動機構，該驅動機構位于該支撐架的一端；柔性傳動機構，該柔性傳動機構與該驅動機構和該支撐架連接，用于傳遞該驅動機構的力以使該棱鏡支架帶動該棱鏡沿一旋轉軸旋轉。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種集成電路裝備制造領域，尤其涉及一種用于棱鏡定心調整機構。
技術介紹
先進光刻機曝光設備中的投影光學系統需要越來越小的波相差和畸變，同時在這種投影光學系統的曝光設備中，可以實時并容易地對由各種環境及其它因素導致的相差和畸變的變化進行補償。為了解決這一類問題，一般采用設置一個或幾個鏡片位置可調的方式進行補償。在折反式物鏡中，棱鏡作為關鍵的光學元件經常使用，用于光路的反射同時需要棱鏡繞中心旋轉進行像質的補償，所以需要設計一種棱鏡定位，并可以繞棱鏡設計中心旋轉機構十分必要。
技術實現思路
為了克服現有技術中存在的缺陷，使棱鏡沿中心旋轉，本專利技術提供一種用于棱鏡定心調整機構。為了實現上述專利技術目的，本專利技術公開一種用于棱鏡定心調整機構，包括:固定該棱鏡的棱鏡支架；固定該棱鏡及棱鏡支架的支撐架；連接桿，用于柔性連接該棱鏡支架與該支撐架；驅動機構，該驅動機構位于該支撐架的一端；柔性傳動機構，該柔性傳動機構與該驅動機構和該支撐架連接，用于傳遞該驅動機構的力以使該棱鏡支架帶動該棱鏡沿一旋轉軸旋轉。更進一步地，該連接桿包括第一本體、第二本體，以及連接第一本體及第二本體的柔性部件，該第一本體、第二本體分別與該棱鏡支架及支撐架連接。更進一步地，該棱鏡與該棱鏡支架膠結。更進一步地，該柔性傳動機構包括一驅動柔性連桿、一傳動柔性連桿、一旋轉柔性連桿，該傳動柔性連桿固定于一傳動柔性連桿固定座上，該旋轉柔性連桿固定于一旋轉柔性連桿固定座上。更進一步地，該驅動柔性連桿一端通過一柔性鉸鏈與該棱鏡支架連接，另一端通過一柔性鉸鏈與該傳動柔性連桿固定座連接。更進一步地,該驅動機構包括一驅動元件和一驅動元件固定架，該驅動元件固定架固定于該驅動柔性連桿上。更進一步地，該傳動柔性連桿固定座與該支撐架固定。更進一步地，該驅動機構還包括一回復彈簧，該回復彈簧一端連接該驅動元件固定架，另一端連接該支撐架。與現有技術相比較，本專利技術采用多連桿機構，使機構的旋轉中心與光學元件的理論旋轉中心重合，消除由于機械旋轉中心與光學元件旋轉中心不重合帶來的系統誤差，同時不影響棱鏡的工作區域，本專利技術機構簡單，旋轉過程中不會引入機構間隙帶來的系統誤差，同時本裝置調整可靠，加工簡單，裝配方便。【附圖說明】關于本專利技術的優點與精神可以通過以下的專利技術詳述及所附圖式得到進一步的了解。圖1是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的分解圖； 圖2是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的主視圖； 圖3是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的左視圖； 圖4是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的右視圖； 圖5是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的俯視圖； 圖6是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的仰視圖； 圖7是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的調整原理示意圖； 圖8是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的驅動柔性連桿的結構示意圖； 圖9是棱鏡組件與棱鏡組件支撐架連接桿的結構示意圖； 圖10是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的傳動柔性連桿結構示意圖； 圖11是本專利技術所涉及的棱鏡定心調整機構的調整示意圖。【具體實施方式】下面結合附圖詳細說明本專利技術的具體實施例。在折反式物鏡中，棱鏡用于光路的反射同時需要棱鏡繞中心旋轉進行像質的補償，而棱鏡的工作區域范圍內不能進行結構布局，本設計采用多連桿機構，使機構的旋轉中心與棱鏡的理論旋轉中心重合，消除由于機械旋轉中心與棱鏡旋轉中心不重合帶來的系統誤差，同時不影響棱鏡的工作區域。圖1為棱鏡定心調整機構基本結分解視圖，圖2為調節裝置主視圖，圖3?6分別為相對主視圖的左、右、俯視、仰視圖。本實施例主要說明一種用于棱鏡定位旋轉調整裝置，該裝置用于棱鏡的定位和旋轉方向的調整，同時采用柔性機構，消除機構間連接間隙引入的系統誤差，調高系統的調整精度。如圖1本專利技術主要由棱鏡支架2、棱鏡組件支撐架3、旋轉柔性連桿4、旋轉柔性連桿固定座10、柔性鉸鏈5、傳動柔性連桿6、傳動柔性連桿固定座12、驅動柔性連桿7、驅動元件8、驅動元件固定架9、連接棱鏡支架2與棱鏡主件支撐架3的連接桿11、驅動元件回復彈簧13組成。連接桿11的具體結構如圖9所示，該連接桿包括移動端110、固定端111、導向桿112、固定用螺釘孔113、柔性鉸鏈(未圖示)組成。連接桿11所起作用為將棱鏡1、棱鏡支架2定位到棱鏡組件支撐架3上。其中連接桿11的固定用螺釘孔113處用螺釘分別由固定端111與棱鏡組件支撐架3 (固定不動)連接，移動端110與棱鏡支架2 (運動件)連接，導向桿112兩端透過所述柔性鉸鏈分別與移動端110、固定端111連接。在本專利技術的一個實事例中，所述導向桿112由第一部分與第二部分組成，所述第一部分透過所述柔性鉸鏈與所述第二部分連接。當棱鏡1、棱鏡支架2被轉動時，連接桿11既能精準保持其姿態(方向性)，又不會產生應力。棱鏡1和棱鏡支架2所構成的棱鏡組件左右兩側各通過一個連接桿11連接到棱鏡組件支撐架3，使棱鏡1和棱鏡支架2懸浮在棱鏡組件支撐架3上。驅動柔性連桿7 —端通過柔性鉸鏈5與棱鏡支架2連接固定，一端通過柔性鉸鏈5與傳動柔性連桿固定座12連接固定。傳動柔性連桿固定座12用螺釘固定到棱鏡組件支撐架3上。驅動元件8安裝到驅動元件固定架9上，驅動元件固定架9通過螺釘固定到驅動柔性連桿7上。驅動元件回復彈簧13 —端通過螺釘固定在驅動元件固定架9上，一端固定在棱鏡組件支撐架3上。傳動柔性連桿6左端通過一個柔性鉸鏈5，安裝到驅動柔性連桿7上。傳動柔性連桿6中間通過一個柔性鉸鏈5安裝固定在驅動柔性連桿7上，傳動柔性連桿6右端通過一個柔性鉸鏈5與旋轉柔性連桿4相連，旋轉柔性連桿4通過一個柔性鉸鏈5安裝固定在棱鏡支架2上。本實施例安裝過程中，保證棱鏡1的理論設計旋轉光軸與調整機構旋轉軸重合，調整機構的旋轉中心通過搭建測試臺，對其進行測試，標定出調整機構的旋轉中心位置，在測試臺坐標系下記錄相應的位置，同時通過干涉儀棱鏡中心位置，通過調整，使棱鏡的中心，與調整機構的中心重合，用膠水固定到棱鏡支架2上，保證本裝置的調整機構旋轉中心與棱鏡理論設計旋轉光軸重合，并保持棱鏡和棱鏡支架的相對位置不變。如圖7所示，圖7為調整原理示意圖，02為棱鏡理論設計光軸和調整機構旋轉中心軸，03、04、a、b四點為驅動柔性連桿7 —端柔性旋轉點。如圖8所示，圖8是驅動柔性連桿7具體結構示意圖。圖7中e點為驅動柔性連桿7另外一端與連接桿11連接旋轉點，c、01、d點為傳動柔性連桿6柔性旋轉點，01為驅動柔性連桿7和傳動柔性連桿6旋轉中心點，f為傳動柔性連桿6與連接桿11連接旋轉點。調整時如圖11所示,驅動元件提供動力，帶動驅動柔性連桿繞01轉動一個角度α,即03、04、a、b組成的平行四邊形繞01轉動一個角度α。帶動e點下行，從而在調整機構左端帶動棱鏡支架2向下旋轉角度α。同時在驅動元件提供動力時，帶動c點下行，使驅動柔性連桿7繞01點旋轉，帶動d，f點上行，從而在調整機構右端帶動棱鏡支架2向上旋轉角度α。在圖7中可以看出，調整機構繞02點完成順時針方向的調整，當需要進行逆時針方向旋轉時，驅動元件反向運動，驅動元件回復彈簧13提供反向動力，使調整機構帶動棱鏡支架2反向運動，可以完成調整機構的逆時針旋轉。由于在本實施例中，驅動柔性本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于棱鏡定心調整機構，其特征在于，包括：固定所述棱鏡的棱鏡支架；固定所述棱鏡及棱鏡支架的支撐架；連接桿，用于柔性連接所述棱鏡支架與所述支撐架；驅動機構，所述驅動機構位于所述支撐架的一端；柔性傳動機構，所述柔性傳動機構與所述驅動機構和所述支撐架連接，用于傳遞所述驅動機構的力以使所述棱鏡支架帶動所述棱鏡沿一旋轉軸旋轉。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉寶會，馬很很，
申請(專利權)人：上海微電子裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：上海;31