惰性氣體保護儲液槽制造技術

本發明專利技術揭示了一種惰性氣體保護儲液槽，包括槽體、蓋、液體輸入管及液體輸出管、氣體輸入管和氣體輸出管。槽體形成容納空間，槽體頂部開口，槽體內容納液體，液體是易燃或易揮發液體。蓋蓋在槽體頂部的開口上，蓋與開口密封，蓋上具有數個接口。液體輸入管及液體輸出管通過蓋上的接口延伸到槽體內部，液體輸入管向槽體內輸入液體，液體輸出管從槽體內取出液體。氣體輸入管和氣體輸出管連接到蓋上的接口，氣體通過氣體輸入管導入槽體內部，氣體由氣體輸出管導出，氣體輸入管持續向槽體內導入氣體，氣體輸出管持續將氣體導出槽體外，在槽體內液面的上方形成持續的氣流，且槽體內的氣體維持預定的壓力，氣體是惰性氣體。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及半導體工藝
，更具體地說，涉及一種用于存儲半導體工藝中使用的易燃易揮發液體的儲液槽。
技術介紹
在半導體工藝過程中，需要使用到各種液體，其中有相當一部分的液體是易燃或者易揮發液體，或者同時具備易燃易揮發的特性，比如高純度的酒精或者異丙醇(IPA)。在存儲這些液體時，會遇到如下的問題:由于裝載液體的容器中不可能裝滿液體，或者隨著不斷的使用，液體會減少，使得容器中出現空間。而易揮發液體此時就會揮發到容器中的這些空間里，與空氣混合。對于易燃易揮發液體來說，揮發后與空氣混合是最危險的狀態，在溫度或者其他因素控制不當的情況下，容易出現爆燃等事故。因此需要一種能夠妥善處置易燃易揮發液體的液體存儲裝置。
技術實現思路
本專利技術旨在提出一種針對易燃或者易揮發液體的液體存儲裝置，利用惰性氣體來隔絕液體與空氣。根據本專利技術的一實施例，提出一種惰性氣體保護儲液槽，包括槽體、蓋、液體輸入管及液體輸出管、氣體輸入管和氣體輸出管。槽體形成容納空間，槽體頂部開口，槽體內容納液體，液體是易燃或易揮發液體。蓋蓋在槽體頂部的開口上，蓋與開口密封，蓋上具有數個接口。液體輸入管及液體輸出管通過蓋上的接口延伸到槽體內部，液體輸入管向槽體內輸入液體，液體輸出管從槽體內取出液體。氣體輸入管和氣體輸出管連接到蓋上的接口，氣體通過氣體輸入管導入槽體內部，氣體由氣體輸出管導出，氣體輸入管持續向槽體內導入氣體，氣體輸出管持續將氣體導出槽體外，在槽體內液面的上方形成持續的氣流，且槽體內的氣體維持預定的壓力，氣體是惰性氣體。在一個實施例中,惰性氣體是氮氣。在一個實施例中，槽體的側壁上開設有壓力閥，壓力閥的位置高于液面的位置，壓力閥在槽體內的氣體壓力大于設定的閾值是開啟，排出氣體。在一個實施例中，液體輸入管和液體輸出管都延伸至槽體的底部。在一個實施例中，該惰性氣體保護儲液槽還包括一液位計,液位計通過蓋上的接口延伸到槽體的底部，液位計檢測槽體內液體的高度。在一個實施例中，槽體的底部開設有排液口。 在一個實施例中,槽體的底部成倒圓錐型，排液口開設在倒圓錐的錐頂。本專利技術的惰性氣體保護儲液槽在槽體內液面上方的空間內形成惰性氣體流，并且在該空間內維持一定的惰性氣體壓力。惰性氣體流一方面可以抑制液體的揮發，另一方面能夠隔絕液體與空氣。不斷循環的惰性氣體流還能夠將可能存在的液體分子帶走，杜絕出現爆燃的可能性?！靖綀D說明】本專利技術上述的以及其他的特征、性質和優勢將通過下面結合附圖和實施例的描述而變的更加明顯，在附圖中相同的附圖標記始終表示相同的特征，其中:圖1揭示了根據本專利技術的一實施例的惰性氣體保護儲液槽的結構圖?！揪唧w實施方式】參考圖1所示，揭示了根據本專利技術的一實施例的惰性氣體保護儲液槽的結構圖。該惰性氣體保護儲液槽100包括槽體102、蓋104、液體輸入管106及液體輸出管108、氣體輸入管110和氣體輸出管112。槽體102形成容納空間，槽體102頂部開口，槽體102內容納液體，液體是易燃或易揮發液體。在圖示的實施例中，槽體102的底部開設有排液口 121，排液口 121的作用是將槽體102內剩余不再使用的液體排出。繼續參考圖1所示，槽體102的底部成倒圓錐型，排液口 121開設在倒圓錐的錐頂。如此設計，槽體102內剩余的液體會聚集到槽體底部倒圓錐的錐頂處，然后通過排液口 121排出。蓋104蓋在槽體102頂部的開口上，蓋104與開口密封，蓋上蓋104之后的槽體形成一個密閉空間。蓋104上具有數個接口 141。液體輸入管106及液體輸出管108、氣體輸入管110和氣體輸出管112都連接到各自的接口 141。液體輸入管106及液體輸出管108、氣體輸入管110和氣體輸出管112與接口 141的連接都是密封的。液體輸入管106及液體輸出管108通過蓋101上的接口 141延伸到槽體102內部。液體輸入管106向槽體內輸入液體，液體輸出管108從槽體內取出液體。在圖7K的實施例中，液體輸入管106和液體輸出管108都延伸至槽體102的底部。對槽體中加入液體和從槽體中取出液體的步驟都是從槽體的底部進行，一方面可以充分利用槽體內的所有液體，另一方面可以減少輸入或者導出液體時對液體的擾動。氣體輸入管110和氣體輸出管112連接到蓋104上的接口 141，氣體輸入管110和氣體輸出管112并不延伸到槽體102的內部。氣體通過氣體輸入管110導入槽體內部，氣體由氣體輸出管112導出，氣體輸入管110持續向槽體內導入氣體，氣體輸出管112持續將氣體導出槽體外，從而在槽體內液面101(圖1中的虛線為液面101)的上方形成持續的氣流，氣流方向由氣體輸入管110流向氣體輸出管112 (如圖1中的箭頭所指的方向)。槽體內的氣體維持預定的壓力，該氣體是惰性氣體。雖然使用諸如氦氣、氬氣之類的惰性氣體更佳，但考慮到本專利技術的惰性氣體保護儲液槽要求不斷地提供惰性氣體以形成惰性氣體環流并維持一定的壓力。采用價格便宜，易于制備的氮氣作為惰性氣體是比較好的選擇。在圖1所示的實施例中，槽體102的側壁上開設有壓力閥122，壓力閥122的位置高于液面101的位置，壓力閥122在槽體內的氣體壓力大于設定的閾值是開啟，排出氣體，以維持槽體內的惰性氣體的壓力。如圖1所示,該惰性氣體保護儲液槽100還包括一液位計114,液位計114通過蓋104上的接口 141延伸到槽體102的底部。液位計114檢測槽體內液體的高度。當液位計114檢測到槽體內的液體液面低于液位計的最低液位時，發出信號告知液體已經接近用完。當液位計114檢測到槽體內的液體液面接近壓力閥122時，也發出信號表示液位已經接近飽和。本專利技術的惰性氣體保護儲液槽的使用過程如下:首先通過液體輸入管106向槽體102內輸入液體。完成輸入后，氣體輸入管110和氣體輸出管112開始工作，在液面上方的空間內形成持續的惰性氣體循環。持續流動的惰性氣體維持一定的壓力。該壓力施加于液面上能夠抑制液體的揮發，此外，惰性氣體隔絕了液面與空氣，杜絕了液體與空氣混合的可能性。雖然液體的少量揮發不能避免，但是不斷循環的惰性氣體流能夠及時將這些揮發的液體分子帶走，排出到儲液槽之外，從而大幅度降低液體發生爆燃的可能性。在液體的使用過程中，通過液體輸出管108取出液體，同時通過液位計114不斷觀察液位的高低。在液體基本使用完畢后，如果需要更換液體的種類?？梢源蜷_槽體底部的排液口 121將剩余的液體排出。打開蓋104，對槽體102和蓋104進行清洗后準備下一次的使用。本專利技術的惰性氣體保護儲液槽在槽體內液面上方的空間內形成惰性氣體流，并且在該空間內維持一定的惰性氣體壓力。惰性氣體流一方面可以抑制液體的揮發，另一方面能夠隔絕液體與空氣。不斷循環的惰性氣體流還能夠將可能存在的液體分子帶走，杜絕出現爆燃的可能性。上述實施例是提供給熟悉本領域內的人員來實現或使用本專利技術的，熟悉本領域的人員可對上述實施例做出種種修改或變化而不脫離本專利技術的專利技術思想，因而本專利技術的保護范圍并不被上述實施例所限，而應該是符合權利要求書提到的創新性特征的最大范圍。【主權項】1.一種惰性氣體保護儲液槽，其特征在于，包括: 槽體，槽體形成容納空間，槽體頂部開口，槽體內容納液體，所述液體是易燃或易揮發液體； 本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種惰性氣體保護儲液槽，其特征在于，包括：槽體，槽體形成容納空間，槽體頂部開口，槽體內容納液體，所述液體是易燃或易揮發液體；蓋，蓋在槽體頂部的開口上，蓋與開口密封，所述蓋上具有數個接口；液體輸入管及液體輸出管，通過蓋上的接口延伸到槽體內部，液體輸入管向槽體內輸入液體，液體輸出管從槽體內取出液體；氣體輸入管和氣體輸出管，連接到蓋上的接口，氣體通過氣體輸入管導入槽體內部，氣體由氣體輸出管導出，所述氣體輸入管持續向槽體內導入氣體，氣體輸出管持續將氣體導出槽體外，在槽體內液面的上方形成持續的氣流，且槽體內的氣體維持預定的壓力，所述氣體是惰性氣體。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：吳均，王家毅，金一諾，王堅，王暉，
申請(專利權)人：盛美半導體設備上海有限公司，
類型：發明
國別省市：上海;31