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    半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法及裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號(hào):12707199 閱讀:99 留言:0更新日期:2016-01-14 03:50
    本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)提供半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法和裝置,包括:獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系;根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間,所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間為陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差大于50ns的區(qū)間;在半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選和處理。本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)更好地克服了探測(cè)器晶體的固有缺陷,降低了本底噪聲的影響,進(jìn)一步地提高了碲鋅鎘探測(cè)器在室溫下的能量分辨率,改善了峰康比。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專(zhuān)利技術(shù)涉及核輻射探測(cè)
    ,尤其涉及半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法及裝 置。
    技術(shù)介紹
    碲鋅鎘(CdZnTe)探測(cè)器是近年發(fā)展起來(lái)的一種性能優(yōu)異的室溫半導(dǎo)體輻射探 測(cè)器。碲鋅鎘晶體具有電阻率高(約1〇ηΩcm)、原子序數(shù)大、禁帶寬度大(禁帶寬度從 1. 4eV~2. 26eV連續(xù)變化)的特點(diǎn),所以制成的探測(cè)器漏電流小,在室溫下對(duì)X和γ射線的 能量分辨率好,能量探測(cè)范圍為10keV~4MeV,無(wú)極化現(xiàn)象,能夠應(yīng)用于天文、醫(yī)學(xué)、工業(yè)、 軍事、安檢等領(lǐng)域的各種探測(cè)器和譜儀。 相對(duì)于其它半導(dǎo)體,CdZnTe比高純鍺(HPGe)禁帶寬、阻抗大、本征載流子濃度低, 在其兩端加上偏壓后暗電流小,是一種能在室溫下工作的半導(dǎo)體探測(cè)器。而相比于閃爍 體探測(cè)器,CdZnTe探測(cè)器有著高的能量分辨率,分辨率大大優(yōu)于碘化鈉(Nal)探測(cè)器,且 CdZnTe沒(méi)有極化效應(yīng),探測(cè)信號(hào)直接轉(zhuǎn)換,易與前端電子學(xué)結(jié)合。采用CdZnTe制造的核輻 射探測(cè)器,體積小、便于攜帶、并可在室溫下工作。 但是碲鋅鎘探測(cè)器因晶體中存在著一定的缺陷,影響著探測(cè)器的性能。從原理上 CdZnTe晶體載流子的μτ值較低在10 5數(shù)量級(jí),并且電子和空穴的迀移速率存在著較大 的差別;晶體載流子的壽命較短,輸運(yùn)過(guò)程中電荷的俘獲,尤其是空穴俘獲嚴(yán)重。相對(duì)較小 的空穴漂移速度使得探測(cè)器在測(cè)量射線能譜時(shí),會(huì)產(chǎn)生較長(zhǎng)的低能尾現(xiàn)象,對(duì)計(jì)數(shù)率及能 譜的分辨率有一定的影響。從當(dāng)前碲鋅鎘的制作上,CdZnTe晶體具有生長(zhǎng)的尺寸較小,晶 體不均勻,且存在結(jié)構(gòu)缺陷的特點(diǎn)。這種晶體上的不一致性,會(huì)導(dǎo)致碲鋅鎘譜儀中能譜的分 辨率降低,峰康比變小,影響低能元素譜峰的鑒別。 正是由于載流子的俘獲、晶體的不均勻和缺陷導(dǎo)致CdZnTe探測(cè)器的輸出信號(hào)不 僅與沉積的能量有關(guān),而且與射線作用的位置有關(guān)。造成能譜分辨率特性變差。目前,基于 單極性電荷靈敏特性設(shè)計(jì)的CdZnTe探測(cè)器主要包括:平行弗里希柵型(ParallelFrisch Grid)、共面弗里希概型(CoplanarFrischGrid)、半球形(Hemisphere)、帽型(CAPture)、 準(zhǔn)半球型(Quasi-hemisphere)和小像素型(Pixelated)等。由于受制于晶體的限制,探測(cè) 器的性能得不到進(jìn)一步的提高。尤其是針對(duì)于室溫下工作且具有高能量分辨率高探測(cè)效 率的場(chǎng)加強(qiáng)型碲鋅鎘半導(dǎo)體探測(cè)器,現(xiàn)有技術(shù)仍然缺乏有效方法克服探測(cè)器晶體的固有缺 陷,以進(jìn)一步提尚探測(cè)性能。
    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
    (一)要解決的技術(shù)問(wèn)題 本專(zhuān)利技術(shù)提供半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法及裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法克服探 測(cè)器晶體的固有缺陷以提高探測(cè)性能的技術(shù)問(wèn)題。(二)技術(shù)方案 為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本專(zhuān)利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法,包括: 獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān) 系; 根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系 得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間,所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間為陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差大于50ns的區(qū)間; 在半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選 和處理。 進(jìn)一步地, 所述獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的 關(guān)系包括:根據(jù)半導(dǎo)體探測(cè)器采集的數(shù)據(jù)得到同一事件在陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)峰位的時(shí)間 差,繪制多個(gè)信號(hào)的所述時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度的二維圖; 所述根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的 關(guān)系得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間包括:對(duì)所述二維圖進(jìn)行分析,根據(jù)所述二維圖分布趨勢(shì)得到 最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間; 所述根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選和處理還包括:將陽(yáng)極信 號(hào)利用預(yù)設(shè)系數(shù)進(jìn)行幅度歸一。 本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法,包括: 獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān) 系; 根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系 得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間,所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間為陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比值大于1. 1/ K的區(qū)間,所述幅度比與所述探測(cè)器陰極電路與陽(yáng)極電路之間的增益比K有關(guān); 在半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選 和處理。 進(jìn)一步地, 所述獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的 關(guān)系包括:根據(jù)半導(dǎo)體探測(cè)器采集的數(shù)據(jù)得到同一事件在陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度以及它 們的比值,繪制所述比值與陽(yáng)極信號(hào)幅度的二維圖; 根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系 得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間包括:對(duì)所述二維圖進(jìn)行分析,根據(jù)所述二維圖分布趨勢(shì)得到最佳 數(shù)據(jù)篩選區(qū)間; 所述根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選和處理還包括:將陽(yáng)極信 號(hào)利用預(yù)設(shè)系數(shù)進(jìn)行幅度歸一。 本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法,包括: 獲取場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器場(chǎng)加強(qiáng)電極的信號(hào)分別與陰陽(yáng)極信號(hào)的時(shí)間差和幅 度比的值,以及與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系; 根據(jù)所述場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器場(chǎng)加強(qiáng)電極的信號(hào)分別與陰陽(yáng)極信號(hào)的時(shí)間差 和幅度比的值,以及與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間; 在場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù) 進(jìn)行篩選和處理。 本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法,包括: 獲取場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的 關(guān)系、陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系、場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器場(chǎng) 加強(qiáng)電極的信號(hào)分別與陰陽(yáng)極信號(hào)的時(shí)間差和幅度比的值,以及與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān) 系中的至少兩項(xiàng)數(shù)據(jù); 根據(jù)所述場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之 間的關(guān)系、陰極信號(hào)和陽(yáng)極信號(hào)幅度比與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系、場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè) 器場(chǎng)加強(qiáng)電極的信號(hào)分別與陰陽(yáng)極信號(hào)的時(shí)間差和幅度比的值,以及與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間 的關(guān)系中的至少兩項(xiàng)數(shù)據(jù),得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間; 在場(chǎng)加強(qiáng)型半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù) 進(jìn)行篩選和處理。 本專(zhuān)利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理裝置,包括:順序相連的第一獲取單元、 第一區(qū)間單元和第一篩選單元,其中: 所述第一獲取單元用于獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng) 極信號(hào)幅度之間的關(guān)系; 所述第一區(qū)間單元用于根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng) 極信號(hào)幅度之間的關(guān)系得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間,所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間為陽(yáng)極信號(hào)和陰極 信號(hào)時(shí)間差大于50ns的區(qū)間; 所述第一篩選單元用于在半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間 對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選和處理。 進(jìn)一步地, 所述第一獲取單元還用于:根據(jù)半導(dǎo)體探測(cè)器采集的數(shù)據(jù)得到同一事件在陽(yáng)極信 號(hào)和陰極信號(hào)峰位的時(shí)間差,繪制多個(gè)信號(hào)的所述時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度的二維圖; 所述第一區(qū)間單元還用于:對(duì)所述二維圖進(jìn)行分析,根據(jù)所述二維圖分布趨勢(shì)得 到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間; 所述第一篩選單元還用于:將陽(yáng)極信號(hào)利用預(yù)設(shè)系數(shù)進(jìn)行幅度歸一。 本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理裝置,包括:順序相連的第二獲取單 元、第二本文檔來(lái)自技高網(wǎng)
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    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
    一種半導(dǎo)體探測(cè)器的信號(hào)處理方法,其特征在于,包括:獲取所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系;根據(jù)所述半導(dǎo)體探測(cè)器陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差與陽(yáng)極信號(hào)幅度之間的關(guān)系得到最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間,所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間為陽(yáng)極信號(hào)和陰極信號(hào)時(shí)間差大于50ns的區(qū)間;在半導(dǎo)體探測(cè)器數(shù)據(jù)采集時(shí),根據(jù)所述最佳數(shù)據(jù)篩選區(qū)間對(duì)所采集數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選和處理。

    【技術(shù)特征摘要】
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    【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:張嵐李玉蘭,李元景,傅楗強(qiáng)杜迎帥,張韡,馬旭明李軍,
    申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人:清華大學(xué),同方威視技術(shù)股份有限公司
    類(lèi)型:發(fā)明
    國(guó)別省市:北京;11

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