一種基于光微環的帶寬可調光濾波器制造技術

本實用新型專利技術提供一種基于光微環的帶寬可調濾波器，該濾波器包括主要由兩組任意形狀光微環、四條直波導、四個微環加熱電極及一個波導加熱電極構成的井形型波導結構。所述井形波導結構，包含四條直波導，其中上下兩條平行直波導分別為輸入和輸出波導。所述兩組任意形狀微環，分別處于直波導垂直相交處，并分別連接一個微環加熱電極。所述波導加熱電極，可位于任意一條直波導上。與現有的帶寬可調光濾波器相比，本實用新型專利技術設計合理，具有帶寬及中心頻率可調范圍大、精度高，低損耗等特點，能完成光通訊網路中的光信號下載、上傳等功能，且集成度高，可以應用于光通訊網絡中的信息下載與上傳等領域，對光通訊網絡的信息傳輸具有較大的意義。

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于一種集成光學器件，特別涉及一種帶寬可調光濾波器。
技術介紹
智能網絡是未來光通訊發展的重要方向。其中多業務匹配、波長資源靈活分配的目標要求作為其中核心設備的可重構光上下插分復用(ROADM)具有靈活柵格功能，即要求帶寬可調的光濾波器。傳統的基于耦合系數可調的微環的帶寬可調濾波器其帶寬可調范圍受微環本身帶寬影響較大，應用價值有限；而基于雙微環濾波器結合馬赫曾德爾干涉儀(MZI)相干合譜的帶寬可調濾波器差損較大。
技術實現思路
本技術為了解決上述提到的現有技術中的濾波器帶寬可調范圍易受影響、帶寬可調濾波器差損較大的技術問題，提供一種具有帶寬及中心波長可調功能的光波段濾波器件。本技術提供的一種基于光微環的帶寬可調光濾波器，包括由第一任意閉環形狀光微環和第二任意閉環形狀光微環構成的第一光微環組、由第三任意閉環形狀光微環和第四任意閉環形狀光微環構成的第二光微環組、輸入波導、輸出波導、第一下載波導、第二下載波導；所述第一下載波導分別與輸入波導、輸出波導垂直相交，所述第二下載波導也分別與輸入波導、輸出波導垂直相交，四個任意閉環形狀光微環分別位于所述的垂直相交處，并分別與相交的兩條直波導耦合，構成位于同一平面的井形波導結構；所述的四個任意閉環形狀光微環的上各設置有一個加熱電極，所述的第一下載波導或第二下載波導上設置有一個加熱電極。優選地，所述的井形波導結構具有可擴展性，該結構上下左右可延伸出與之對稱的井形波導結構。優選地，基于光微環的帶寬可調光濾波器采用新型硅基集成電路材料利用平面工藝制作完成。本技術所提供的基于微環的帶寬可調光濾波器滿足了 ROADM的功能需要，實現了濾波器帶寬和中心波長可調的功能。本技術的有益效果為:與其他帶寬可調濾波器相比，本技術提供了一種基于微環的帶寬可調光濾波器，此種利用組合微環的濾波器，在保證了帶寬和中心波長可調功能的同時，具有帶寬及中心頻率可調范圍大、精度高，損耗低等特點，克服了傳統帶寬可調濾波器的諸多缺點。由于本技術設計合理，能完成光通訊網路中的光信號下載、上傳等功能，且集成度高，可以應用于光通訊網絡中的信息下載與上傳等領域，對光通訊網絡的信息傳輸具有較大的意義。 【附圖說明】圖1是一種基于微環的帶寬可調光濾波器的結構示意圖?！揪唧w實施方式】下面結合附圖和具體實施例對本技術進行詳細說明。實施例1如圖1所示，一種基于光微環的帶寬可調光濾波器，包括由第一任意閉環形狀光微環41和第二任意閉環形狀光微環42構成的第一光微環組、由第三任意閉環形狀光微環43和第四任意閉環形狀光微環44構成的第二光微環組、輸入波導1、輸出波導2、第一下載波導31、第二下載波導32 ;所述第一下載波導31分別與輸入波導1、輸出波導2垂直相交，所述第二下載波導32也分別與輸入波導1、輸出波導2垂直相交，四個任意閉環形狀光微環41、42、43、44分別位于所述的垂直相交處，并分別與相交的兩條直波導親合，構成位于同一平面的井形波導結構；所述的四個任意閉環形狀光微環41、42、43、44的上各設置有一個加熱電極5，所述的第一下載波導31或第二下載波導32上設置有一個加熱電極6。優選地，所述的井形波導結構具有可擴展性，該結構上下左右可延伸出與之對稱的井形波導結構。優選地，此基于光微環的帶寬可調光濾波器采用新型硅基集成電路材料利用平面工藝制作完成。一種基于光微環的帶寬可調光濾波器的制作材料為頂層硅為220nm的新型硅基集成電路材料。在深紫外光刻后，通過干法刻蝕獲得硅基光子線波導結構。最后覆蓋二氧化硅上包層，完成器件的光波導部分制作。實現器件可調功能所需要的加熱電極通過在二氧化硅上沉積鋁金屬層，并進行光刻、腐蝕制作。器件的光輸入與輸出將采用光柵面耦合方式?！局鳈囗棥?.一種基于光微環的帶寬可調光濾波器，其特征在于，包括由第一任意閉環形狀光微環(41)和第二任意閉環形狀光微環(42)構成的第一光微環組、由第三任意閉環形狀光微環(43)和第四任意閉環形狀光微環(44)構成的第二光微環組、輸入波導(1)、輸出波導(2)、第一下載波導(31)、第二下載波導(32);所述第一下載波導(31)分別與輸入波導(1)、輸出波導(2)垂直相交，所述第二下載波導(32)也分別與輸入波導(I)、輸出波導(2)垂直相交，四個任意閉環形狀光微環(41 ；42 ;43 ;44)分別位于所述的垂直相交處，并分別與相交的兩條直波導耦合，構成位于同一平面的井形波導結構；所述的四個任意閉環形狀光微環(41 ；42 ;43 ;44)的上各設置有一個加熱電極(5)，所述的第一下載波導(31)或第二下載波導(32)上設置有一個加熱電極(6)。2.根據權利要求1所述的一種基于光微環的帶寬可調光濾波器，其特征在于，所述的井形波導結構具有可擴展性，該結構上下左右可延伸出與之對稱的井形波導結構。3.根據權利要求1所述的一種基于光微環的帶寬可調光濾波器，其特征在于，采用新型硅基集成電路材料利用平面工藝制作完成?！緦＠勘炯夹g提供一種基于光微環的帶寬可調濾波器，該濾波器包括主要由兩組任意形狀光微環、四條直波導、四個微環加熱電極及一個波導加熱電極構成的井形型波導結構。所述井形波導結構，包含四條直波導，其中上下兩條平行直波導分別為輸入和輸出波導。所述兩組任意形狀微環，分別處于直波導垂直相交處，并分別連接一個微環加熱電極。所述波導加熱電極，可位于任意一條直波導上。與現有的帶寬可調光濾波器相比，本技術設計合理，具有帶寬及中心頻率可調范圍大、精度高，低損耗等特點，能完成光通訊網路中的光信號下載、上傳等功能，且集成度高，可以應用于光通訊網絡中的信息下載與上傳等領域，對光通訊網絡的信息傳輸具有較大的意義?！綢PC分類】G02B6/293【公開號】CN204855864【申請號】CN201520515566【專利技術人】楊建義, 詹士杰, 沈奧 【申請人】浙江大學【公開日】2015年12月9日【申請日】2015年7月16日本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種基于光微環的帶寬可調光濾波器，其特征在于，包括由第一任意閉環形狀光微環（41）和第二任意閉環形狀光微環（42）構成的第一光微環組、由第三任意閉環形狀光微環（43）和第四任意閉環形狀光微環（44）構成的第二光微環組、輸入波導（1）、輸出波導（2）、第一下載波導（31）、第二下載波導（32）；所述第一下載波導（31）分別與輸入波導（1）、輸出波導（2）垂直相交，所述第二下載波導（32）也分別與輸入波導（1）、輸出波導（2）垂直相交，四個任意閉環形狀光微環（41；42；43；44）分別位于所述的垂直相交處，并分別與相交的兩條直波導耦合，構成位于同一平面的井形波導結構；所述的四個任意閉環形狀光微環（41；42；43；44）的上各設置有一個加熱電極（5），所述的第一下載波導（31）或第二下載波導（32）上設置有一個加熱電極（6）。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：楊建義，詹士杰，沈奧，
申請(專利權)人：浙江大學，
類型：新型
國別省市：浙江;33