擴(kuò)散頭裝置和氣體分布方法制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種形成具有改進(jìn)的層厚度均勻性的薄膜太陽(yáng)能電池的頂部接觸層的裝置和方法。該裝置包括用于將工藝氣體引入室內(nèi)的擴(kuò)散頭。該擴(kuò)散頭包括具有多個(gè)開(kāi)口的擴(kuò)散板，每個(gè)開(kāi)口均具有第一圓柱形部分和第二圓錐臺(tái)部分。本發(fā)明專利技術(shù)還提供了擴(kuò)散頭裝置和氣體分布方法。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)總體涉及太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，更具體地，涉及。
技術(shù)介紹
本專利技術(shù)涉及薄膜太陽(yáng)能電池的制造。膜的化學(xué)汽相沉積(CVD)廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)以用于制造薄膜太陽(yáng)能電池。薄膜太陽(yáng)能電池(又稱為薄膜光伏電池)用于將光能直接轉(zhuǎn)化為電流。薄膜太陽(yáng)能電池的制造包括將一個(gè)或多個(gè)薄膜層依次沉積至襯底上的步驟。薄膜太陽(yáng)能電池通常包括底層(也稱為襯底或載體)、背面電極層、吸收層、緩沖層、和頂部接觸層。許多薄膜太陽(yáng)能電池在吸收層中使用“CIGS基”吸收件，其中，“CIGS”通常指的是銅銦鎵硒化物或Cu (In，Ga) Se2。通常由透明導(dǎo)電氧化物(TCO)(通過(guò)CVD)形成頂部接觸層。通常在反應(yīng)室中實(shí)施沉積工藝。在室內(nèi)，通過(guò)在襯底、太陽(yáng)能電池或半導(dǎo)體晶圓上方的擴(kuò)散器將用于形成膜的反應(yīng)物工藝氣體引入。位于期望區(qū)域中的非均勻的化學(xué)汽相沉積的膜的可能引起沉積的膜的非均勻的物理、光學(xué)、和電學(xué)性能，這降低了太陽(yáng)能電池模塊的功率產(chǎn)額。例如，應(yīng)該將沉積的膜厚度精確地控制在埃級(jí)或納米級(jí)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，本專利技術(shù)提供了一種形成薄膜太陽(yáng)能電池的方法，包括:在室中提供包括襯底、背面接觸層、吸收層和緩沖層的部分制造的薄膜太陽(yáng)能電池；以及通過(guò)具有配置成蜂巢狀圖案的多個(gè)開(kāi)口的擴(kuò)散板將工藝氣體引入至所述室內(nèi)，以在所述緩沖層上方形成頂部接觸層，其中，所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)均包括圓錐臺(tái)部分。在上述方法中，其中，所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移。在上述方法中，其中，所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移；所述頂部接觸層是透明導(dǎo)電氧化物。在上述方法中，其中，所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移；所述頂部接觸層是透明導(dǎo)電氧化物；所述吸收層是CIGS吸收件。在上述方法中，其中，所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)還包括圓柱形部分。在上述方法中，其中，所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)還包括圓柱形部分；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)的所述圓錐臺(tái)部分的底部的寬度是圓柱形部分的頂部的寬度的至少兩倍。在上述方法中，其中，所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移；第一軸垂直于所述擴(kuò)散板的表面，并且其中，所述圓錐臺(tái)部分的外表面相對(duì)于所述第一軸設(shè)置成介于O度和60度之間的角度。在上述方法中，其中，通過(guò)MOCVD形成所述頂部接觸層。在上述方法中，其中，通過(guò)MOCVD形成所述頂部接觸層；由摻雜的材料形成所述頂部接觸層。根據(jù)本專利技術(shù)的另一個(gè)方面，提供了一種在薄膜太陽(yáng)能電池制造期間用于化學(xué)汽相沉積的裝置，包括:擴(kuò)散頭，包括:第一板；第二板，連接至所述第一板，所述第二板具有配置成蜂巢狀圖案的多個(gè)開(kāi)口，其中，所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)均包括圓錐臺(tái)部分；以及供應(yīng)腔，限定在所述第一板和所述第二板之間，所述供應(yīng)腔流體連接至第一工藝氣體入口。在上述裝置中，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在室中。在上述裝置中，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在室中；還包括:第二工藝氣體入口 ；以及混合腔，與所述第一工藝氣體入口、所述第二工藝氣體入口和所述供應(yīng)腔流體連接。在上述裝置中，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在室中；所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在第二方向上彼此偏移。在上述裝置中，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在室中；所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在第二方向上彼此偏移；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)還包括圓柱形部分。在上述裝置中，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在室中；所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在第二方向上彼此偏移；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)還包括圓柱形部分；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)的所述圓錐臺(tái)部分的底部的寬度是所述圓柱形部分的頂部的寬度的至少兩倍。在上述裝置中，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在室中；所述蜂巢狀圖案包括設(shè)置成行的所述多個(gè)開(kāi)口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在第二方向上彼此偏移；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)還包括圓柱形部分；所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)的所述圓錐臺(tái)部分的底部的寬度是所述圓柱形部分的頂部的寬度的至少兩倍；所述室包括面向所述第二板的臺(tái)。根據(jù)本專利技術(shù)的又一個(gè)方面，提供了一種在薄膜太陽(yáng)能電池制造期間用于化學(xué)汽相沉積的裝置，包括:擴(kuò)散頭，包括:第一板；第二板，連接至所述第一板，所述第二板具有配置成蜂巢狀圖案的多個(gè)開(kāi)口，其中，所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)都包括圓柱形部分和圓錐臺(tái)部分；及供應(yīng)腔，限定在所述第一板和所述第二板之間，所述供應(yīng)腔流體連接至第一工藝氣體入口 ；以及室，其中，所述擴(kuò)散頭安裝在所述室中。在上述裝置中，其中，所述第一工藝氣體入口可操作地連接至工藝氣體源。在上述裝置中，其中，所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)都具有中心點(diǎn)，并且其中，開(kāi)口的中心點(diǎn)離每個(gè)相鄰的開(kāi)口的中心點(diǎn)的距離相等。在上述裝置中，其中，所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)都具有中心點(diǎn)，并且其中，開(kāi)口的中心點(diǎn)離每個(gè)相鄰的開(kāi)口的中心點(diǎn)的距離相等；還包括:第二工藝氣體入口 ；以及混合腔，與所述第一工藝氣體入口、所述第二工藝氣體入口和所述供應(yīng)腔流體連接?！靖綀D說(shuō)明】當(dāng)結(jié)合附圖進(jìn)行閱讀時(shí)，從以下詳細(xì)描述可以最好地理解本專利技術(shù)的各方面。應(yīng)該注意，根據(jù)工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，各個(gè)部件未按比例繪制。實(shí)際上，為了清楚的論述，各個(gè)部件的尺寸可以任意增大或縮小。圖1是根據(jù)一些實(shí)施例的具有擴(kuò)散頭的示例性化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)的示意性截面圖。圖2是根據(jù)一些實(shí)施例的示例性擴(kuò)散頭開(kāi)口的示意性截面圖。圖3是根據(jù)一些實(shí)施例的示出了擴(kuò)散頭開(kāi)口的配置的平面圖。圖4是根據(jù)一些實(shí)施例的示出了擴(kuò)散頭開(kāi)口的配置的擴(kuò)散頭的一部分的平面圖。圖5是根據(jù)一些實(shí)施例的使用本專利技術(shù)的擴(kuò)散頭形成薄膜太陽(yáng)能電池的方法的流程圖。圖6是根據(jù)一些實(shí)施例的使用本專利技術(shù)的擴(kuò)散頭形成薄膜太陽(yáng)能電池的方法的流程圖?！揪唧w實(shí)施方式】本專利技術(shù)的以下內(nèi)容提供了許多用于實(shí)施本專利技術(shù)的主題的不同當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3 4 本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種形成薄膜太陽(yáng)能電池的方法，包括：在室中提供包括襯底、背面接觸層、吸收層和緩沖層的部分制造的薄膜太陽(yáng)能電池；以及通過(guò)具有配置成蜂巢狀圖案的多個(gè)開(kāi)口的擴(kuò)散板將工藝氣體引入至所述室內(nèi)，以在所述緩沖層上方形成頂部接觸層，其中，所述多個(gè)開(kāi)口中的每個(gè)均包括圓錐臺(tái)部分。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：許麗，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：臺(tái)積太陽(yáng)能股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：中國(guó)臺(tái)灣;71