多晶硅電池制絨工藝制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種多晶硅電池制絨工藝，其具體步驟如下：(1).對多晶硅電池進(jìn)行NaOH堿預(yù)處理；(2).將經(jīng)過堿預(yù)處理的多晶硅電池進(jìn)行水洗；(3).將經(jīng)過步驟(2)水洗的多晶硅電池放入硝酸和氫氟酸的混合酸腐蝕液中進(jìn)行制絨工藝；(4).將經(jīng)過步驟(3)酸腐蝕工藝的多晶硅再次進(jìn)行水洗；(5).對多晶硅電池進(jìn)行低濃度堿洗，再進(jìn)行水洗；(6).對經(jīng)過步驟(5)的多晶硅電池進(jìn)行鹽酸、氫氟酸進(jìn)行二次酸腐蝕工藝，并進(jìn)行水洗；(7).將多晶硅進(jìn)行吹干，完成整個工藝；以達(dá)到提高硅的表面制絨質(zhì)量、延長酸腐蝕槽的使用壽命和利于生產(chǎn)的目的。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及多晶硅電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅電池制絨工藝。
技術(shù)介紹
在電池生產(chǎn)工藝中往往涉及到多晶制絨工藝，即將多晶硅電池在一定比例的硝 酸、氫氟酸、水的混合液腐蝕硅表面形成的絨面。在現(xiàn)有技術(shù)中，企業(yè)一般都是只采用酸性 溶液中進(jìn)行制絨工藝，但是酸腐蝕無法完成去除硅片表面的損傷層和油污，影響了硅表面 的均勻性；同時滯留的油污不僅對酸腐蝕槽造成影響，同時會影響后續(xù)工藝中化學(xué)反應(yīng)的 平衡，不利于生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)提出了多晶硅電池制絨工藝，以達(dá)到提高硅的表面 制絨質(zhì)量、延長酸腐蝕槽的使用壽命和利于生產(chǎn)的目的。 為達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)的技術(shù)方案如下： 一種多晶娃電池制域工藝，其具體步驟如下： (1).對多晶硅電池進(jìn)行NaOH堿預(yù)處理； (2).將經(jīng)過堿預(yù)處理的多晶硅電池進(jìn)行水洗； (3).將經(jīng)過步驟（2)水洗的多晶硅電池放入硝酸和氫氟酸的混合酸腐蝕液中進(jìn) 行制絨工藝； (4).將經(jīng)過步驟（3)酸腐蝕工藝的多晶硅再次進(jìn)行水洗； (5).對多晶硅電池進(jìn)行低濃度堿洗，再進(jìn)行水洗； (6).對經(jīng)過步驟（5)的多晶硅電池進(jìn)行鹽酸、氫氟酸進(jìn)行二次酸腐蝕工藝，并進(jìn) 行水洗； (7).將多晶硅進(jìn)行吹干，完成整個工藝。 作為優(yōu)選的，所述步驟（1)中所采用的NaOH濃度為5%。 作為優(yōu)選的，所述步驟（1)中所采用的工藝溫度為70-80°，工藝時間為30S-60S。 作為優(yōu)選的，所述步驟（3)中所使用的體積配比為硝酸：氫氟酸：水=5 :1 :4。 作為優(yōu)選的，所述步驟（3)中所采用的工藝溫度為6-8°，工藝時間為40-60S。 作為優(yōu)選的，所述步驟（6)中所采用的鹽酸、氫氟酸的配比濃度分別為8%和 10%〇 作為優(yōu)選的，所述步驟（6)中二次酸腐蝕工藝的反應(yīng)時間為10-30S，反應(yīng)溫度為 室溫：25±3°C。 通過上述技術(shù)方案，本專利技術(shù)通過在制絨工藝的預(yù)處理中，先經(jīng)過堿預(yù)處理，再經(jīng)過 酸制絨，使硅表面的油污、雜質(zhì)去除，也減少了產(chǎn)品在酸制絨時的工藝時間，達(dá)到提高硅的 表面制絨質(zhì)量、延長酸腐蝕槽的使用壽命和利于生產(chǎn)的目的。【具體實(shí)施方式】 下面對本專利技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。 本專利技術(shù)提供了多晶硅電池制絨工藝，其工作原理是通過在制絨工藝的預(yù)處理中， 先經(jīng)過堿預(yù)處理，再經(jīng)過酸制絨，使硅表面的油污、雜質(zhì)去除，也減少了產(chǎn)品在酸制絨時的 工藝時間，達(dá)到提高硅的表面制絨質(zhì)量、延長酸腐蝕槽的使用壽命和利于生產(chǎn)的目的。 下面結(jié)合實(shí)施例和【具體實(shí)施方式】對本專利技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。 一種多晶硅電池制絨工藝，其具體步驟如下： (1).對多晶硅電池進(jìn)行NaOH堿預(yù)處理，其中所采用的NaOH濃度為5%，預(yù)處理的 工藝溫度為70-80°，工藝時間為30S-60S，通過堿預(yù)處理，可以取出硅表面的油污等雜質(zhì)， 去除表面損傷層時提高絨面的均勻性，有利于擴(kuò)散表面濃度的均勻性；并且增加了表面反 射率，有利于電性能的提尚； (2).將經(jīng)過堿預(yù)處理的多晶硅電池進(jìn)行水洗； (3).將經(jīng)過步驟（2)水洗的多晶硅電池放入硝酸和氫氟酸的混合酸腐蝕液中進(jìn) 行制絨工藝；且所用酸腐蝕液的體積比為硝酸：氫氟酸：水=5 :1 :4,所采用的工藝溫度為 6-8°，工藝時間為40-60S; (4).將經(jīng)過步驟（3)酸腐蝕工藝的多晶硅再次進(jìn)行水洗； (5).對多晶硅電池進(jìn)行低濃度堿洗，再進(jìn)行水洗； (6).對經(jīng)過步驟（5)的多晶硅電池進(jìn)行鹽酸、氫氟酸進(jìn)行二次酸腐蝕工藝，并進(jìn) 行水洗，所采用的鹽酸、氫氟酸的配比濃度分別為8%和10%，所采用的工藝溫度為室溫： 25±3°C，反應(yīng)時間為10-30S ; (7).將多晶硅進(jìn)行吹干，完成整個工藝。 下表格為傳統(tǒng)工藝和本專利技術(shù)工藝所得產(chǎn)品的上下表面的反射率的測試數(shù)據(jù)對 比：【主權(quán)項(xiàng)】1. 一種多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，其具體步驟如下： (1) .對多晶娃電池進(jìn)行NaOH堿預(yù)處理； (2) .將經(jīng)過堿預(yù)處理的多晶硅電池進(jìn)行水洗； (3) .將經(jīng)過步驟（2)水洗的多晶硅電池放入硝酸和氫氟酸的混合酸腐蝕液中進(jìn)行制 絨工藝； (4) .將經(jīng)過步驟（3)酸腐蝕工藝的多晶硅再次進(jìn)行水洗； (5) .對多晶硅電池進(jìn)行低濃度堿洗，再進(jìn)行水洗； (6) .對經(jīng)過步驟（5)的多晶硅電池進(jìn)行鹽酸、氫氟酸進(jìn)行二次酸腐蝕工藝，并進(jìn)行水 洗； (7) .將多晶硅進(jìn)行吹干，完成整個工藝。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，所述步驟（1)中所采用的 NaOH濃度為5%。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，所述步驟（1)中所采用的 工藝溫度為70-80°，工藝時間為30S-60S。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，所述步驟（3)中所使用的 體積配比為硝酸：氫氟酸：水=5 :1 :4。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，所述步驟（3)中所采用的 工藝溫度為6-8°，工藝時間為40-60S。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，所述步驟（6)中所采用的 鹽酸、氫氟酸的配比濃度分別為8%和10%。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，所述步驟（6)中二次酸腐 蝕工藝的反應(yīng)時間為10-30S，反應(yīng)溫度為室溫：25±3°C?！緦＠勘緦＠夹g(shù)公開了一種多晶硅電池制絨工藝，其具體步驟如下：(1).對多晶硅電池進(jìn)行NaOH堿預(yù)處理；(2).將經(jīng)過堿預(yù)處理的多晶硅電池進(jìn)行水洗；(3).將經(jīng)過步驟(2)水洗的多晶硅電池放入硝酸和氫氟酸的混合酸腐蝕液中進(jìn)行制絨工藝；(4).將經(jīng)過步驟(3)酸腐蝕工藝的多晶硅再次進(jìn)行水洗；(5).對多晶硅電池進(jìn)行低濃度堿洗，再進(jìn)行水洗；(6).對經(jīng)過步驟(5)的多晶硅電池進(jìn)行鹽酸、氫氟酸進(jìn)行二次酸腐蝕工藝，并進(jìn)行水洗；(7).將多晶硅進(jìn)行吹干，完成整個工藝；以達(dá)到提高硅的表面制絨質(zhì)量、延長酸腐蝕槽的使用壽命和利于生產(chǎn)的目的?！綢PC分類】H01L31-18, C30B33-10【公開號】CN104752566【申請?zhí)枴緾N201510201789【專利技術(shù)人】郭建東, 樊選東, 錢明星, 關(guān)統(tǒng)州 【申請人】中建材浚鑫科技股份有限公司【公開日】2015年7月1日【申請日】2015年4月24日本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種多晶硅電池制絨工藝，其特征在于，其具體步驟如下：(1).對多晶硅電池進(jìn)行NaOH堿預(yù)處理；(2).將經(jīng)過堿預(yù)處理的多晶硅電池進(jìn)行水洗；(3).將經(jīng)過步驟(2)水洗的多晶硅電池放入硝酸和氫氟酸的混合酸腐蝕液中進(jìn)行制絨工藝；(4).將經(jīng)過步驟(3)酸腐蝕工藝的多晶硅再次進(jìn)行水洗；(5).對多晶硅電池進(jìn)行低濃度堿洗，再進(jìn)行水洗；(6).對經(jīng)過步驟(5)的多晶硅電池進(jìn)行鹽酸、氫氟酸進(jìn)行二次酸腐蝕工藝，并進(jìn)行水洗；(7).將多晶硅進(jìn)行吹干，完成整個工藝。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：郭建東，樊選東，錢明星，關(guān)統(tǒng)州，
申請(專利權(quán))人：中建材浚鑫科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：江蘇;32