一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備制造技術

本實用新型專利技術涉及半導體制造及LED制造技術領域，尤其涉及一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備；本實用新型專利技術的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備，包括機架，還包括大理石底板、傳輸工作臺、掃描工作臺、檢測頭支架、激光檢測頭、大理石橫梁、載料臺、傳輸機械臂、定心機構、激光打印裝置、設置于所述激光打印裝置的下側的打印工作臺、第一升降機、第二升降機和第三升降機；檢測設備是全自動設備：自動上料、檢測，并根據檢測結果，對合格的襯底片送至打印區域，由激光控制系統控制激光頭完成打標；本實用新型專利技術提高了生產效率，減少了對襯底片的污染。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及半導體制造及LED制造
，尤其涉及一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備。
技術介紹
現有技術上，目前檢測類設備，主要集中于手動及半自動。對LED或IC制造過程的襯底片進行非接觸的表面參數檢測:TTV，LTV，BOW，THK及Warp等參數。采用的檢測技術包括無接觸光學傳感器及采用牛頓環技術來實現。主要是國外產品。激光打標設備，對襯底片定位后，通過軟件設置打標內容，通過激光器在襯底片上打印出編號、產品名稱等信息。國內有此類設備的生產。檢測設備目前只分為手動和半自動兩種。并且沒有自動分選功能。在實際使用過程中，容易對檢測襯底片造成污染，效率低等問題。激光打標設備，由于所采用的激光頭及軟件處理等原因，目前存在問題是占地面積大，效率低。并且故障率高。以上兩種設備，檢測完畢，將合格的襯底片由激光打標設備來進行名稱、編號等信息。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備，解決傳統的設備容易污染被檢測的襯底片、檢測效率低、檢測設備占用空間較大和故障較高的問題。本技術為解決其技術問題所采用的技術方案是:一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備，包括機架，還包括設置于所述機架的上端的一側的大理石底板、設置于所述機架的上端的另一側的傳輸工作臺、設置于所述大理石底板的上端的掃描工作臺、設置于所述掃描工作臺的上端的檢測頭支架、設置于所述檢測頭支架上的激光檢測頭、設置于所述大理石底板的上端且處于所述掃描工作臺的上側的大理石橫梁、設置于所述掃描工作臺的上端且處于所述大理石橫梁和所述傳輸工作臺之間的載料臺、設置于所述傳輸工作臺的上端的傳輸機械臂、設置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的靠近所述傳輸機械臂的一端的定心機構、設置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述定心機構的一端的激光打印裝置、設置于所述激光打印裝置的下側的打印工作臺、設置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述載料臺的一側的第一升降機、第二升降機和第三升降機。其中，所述第一升降機、所述第二升降機和所述第三升降機的結構一致；所述第二升降機處于所述第一升降機和所述第三升降機的中間；所述第二升降機用于放置待檢測的襯底片和放置不合格的襯底片；所述第一升降機和所述第三升降機用于放置打標完畢的的襯底片。其中，所述激光打印裝置包括支撐部件和穿設于所述支撐部件的上部的打標部件；所述打標部件處于所述打印工作臺的正上方。其中，所述傳輸機械臂包括安裝部件、設置于所述安裝部件的上端的第一取料臂和設置于所述安裝部件的上端的第二取料臂；所述安裝部件旋設于所述傳輸工作臺的上端，所述第一取料臂和所述第二取料臂所成夾角為Θ ;所述Θ ^ 100°，且Θ 5 150°。本技術的優點在于:本技術的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備，包括機架，還包括設置于所述機架的上端的一側的大理石底板、設置于所述機架的上端的另一側的傳輸工作臺、設置于所述大理石底板的上端的掃描工作臺、設置于所述掃描工作臺的上端的檢測頭支架、設置于所述檢測頭支架上的激光檢測頭、設置于所述大理石底板的上端且處于所述掃描工作臺的上側的大理石橫梁、設置于所述掃描工作臺的上端且處于所述大理石橫梁和所述傳輸工作臺之間的載料臺、設置于所述傳輸工作臺的上端的傳輸機械臂、設置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的靠近所述傳輸機械臂的一端的定心機構、設置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述定心機構的一端的激光打印裝置、設置于所述激光打印裝置的下側的打印工作臺、設置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述載料臺的一側的第一升降機、第二升降機和第三升降機；本技術中，檢測設備是全自動設備:自動上料、檢測，并根據檢測結果，對合格的襯底片送至打印區域，由激光控制系統控制激光頭完成打標；最后將打標完成的襯底片送到設定的片盒里；本技術提高了生產效率，減少了對襯底片的污染。【附圖說明】圖1是本技術的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備的俯視圖。圖2是本技術的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備的主視圖。1-大理石底板；2_掃描工作臺；3_激光檢測頭；4_大理石橫梁；5_載料臺；6_激光打印裝置；7-傳輸工作臺；8_第一升降機；9_第二升降機；10_第三升降機；11_傳輸機械臂；12-定心機構；13-檢測頭支架；14-打印工作臺；15-機架。【具體實施方式】為了使本技術實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合圖示與具體實施例，進一步闡述本技術。結合圖1至圖2對本技術的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備進行詳細說明。本技術的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備，包括機架15，還包括設置于所述機架15的上端的一側的大理石底板1、設置于所述機架15的上端的另一側的傳輸工作臺7、設置于所述大理石底板I的上端的掃描工作臺2、設置于所述掃描工作臺2的上端的檢測頭支架13、設置于所述檢測頭支架13上的激光檢測頭3、設置于所述大理石底板I的上端且處于所述掃描工作臺2的上側的大理石橫梁4、設置于所述掃描工作臺2的上端且處于所述大理石橫梁4和所述傳輸工作臺7之間的載料臺5、設置于所述傳輸工作臺7的上端的傳輸機械臂11、設置于所述機架15的上端且處于所述傳輸工作臺7的靠近所述傳輸機械臂11的一端的定心機構12、設置于所述機架15的上端且處于所述傳輸工作臺7的遠離所述定心機構12的一端的激光打印裝置6、設置于所述激光打印裝置6的下側的打印工作臺14、設置于所述機架15的上端且處于所述傳輸工作臺7的遠離所述載料臺5的一側的第一升降機8、第二升降機9和第三升降機10。通過傳輸機構將升降機上片盒里的襯底片放置到掃描工作臺上的承片臺上，然后依照軟件設置進行無接觸掃描，并將結果通過算法進行相關處理。最終結果顯示在屏幕上的同時，保存到相應的數據庫里。并對合格的襯底片進行編號或批次號的打標。打標完畢后，再放置到相應片盒里。同時，對襯底片能夠3-D顯示，方便操作者一目了然，隨時了解檢測結果。所述第一升降機8、所述第二升降機9和所述第三升降機10的結構一致；所述第二升降機9處于所述第一升降機8和所述第三升降機10的中間；所述第二升降機9用于放置待檢測的襯底片和放置不合格的襯底片；所述第一升降機8和所述第三升降機10用于放置打標完畢的的襯底片。所述激光打印裝置6包括支撐部件和穿設于所述支撐部件的上部的打標部件；所述打標部件處于所述打印工作臺14的正上方。所述傳輸機械臂11包括安裝部件、設置于所述安裝部件的上端的第一取料臂和設置于所述安裝部件的上端的第二取料臂；所述安裝部件旋設于所述傳輸工作臺7的上端，所述第一取料臂和所述第二取料臂所成夾角為Θ ;所述Θ ^ 100°，且Θ 5 150°。以上顯示和描述了本技術的基本原理、主要特征和本技術的優點。本行業的技術人員應該了解，本技術不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本技術的原理，在不脫離本技術精神和范圍的前提下本技術還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本技術范圍內。本技術要求保護范圍由所本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設備，包括機架(15)，其特征在于：還包括設置于所述機架(15)的上端的一側的大理石底板(1)、設置于所述機架(15)的上端的另一側的傳輸工作臺(7)、設置于所述大理石底板(1)的上端的掃描工作臺(2)、設置于所述掃描工作臺(2)的上端的檢測頭支架(13)、設置于所述檢測頭支架(13)上的激光檢測頭(3)、設置于所述大理石底板(1)的上端且處于所述掃描工作臺(2)的上側的大理石橫梁(4)、設置于所述掃描工作臺(2)的上端且處于所述大理石橫梁(4)和所述傳輸工作臺(7)之間的載料臺(5)、設置于所述傳輸工作臺(7)的上端的傳輸機械臂(11)、設置于所述機架(15)的上端且處于所述傳輸工作臺(7)的靠近所述傳輸機械臂(11)的一端的定心機構(12)、設置于所述機架(15)的上端且處于所述傳輸工作臺(7)的遠離所述定心機構(12)的一端的激光打印裝置(6)、設置于所述激光打印裝置(6)的下側的打印工作臺(14)、設置于所述機架(15)的上端且處于所述傳輸工作臺(7)的遠離所述載料臺(5)的一側的第一升降機(8)、第二升降機(9)和第三升降機(10)。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：丁天祥，
申請(專利權)人：嘉興微拓電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：浙江;33