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    一種雙極性SIC功率器件制造技術

    技術編號:44489323 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-03-04 17:53
    本申請提供了一種雙極性SIC功率器件,包括:集電極,由多個集電極第一摻雜類型區和多個集電極第二摻雜類型區交替設置形成;襯底,由多個襯底第二摻雜類型區和多個襯底第一摻雜類型區交替設置形成;其中,所述襯底位于所述集電極之上;第二摻雜類型的外延層,形成在所述襯底之上;其中,集電極第二摻雜類型區和襯底第二摻雜類型區連接,集電極第一摻雜類型區和襯底第二摻雜類型區連接,集電極第二摻雜類型區和襯底第一摻雜類型區。本申請解決了傳統的SiC的IGBT器件在小電流條件下導通損耗大的技術問題。

    【技術實現步驟摘要】

    本申請涉及功率放大器,具體地,涉及一種適用于功率放大器芯片的控制電路、功率放大器芯片。


    技術介紹

    1、得益于碳化硅(sic)材料優異的物理特性,sic功率器件已成為極具潛力的高壓、高速開關器件。相較于si基器件,以sic?mosfet為代表的功率器件具有更低的導通電阻和更小的芯片尺寸,上述優勢使得器件可以勝任高壓、大電流、高頻的應用需求。此外,sic材料具有高溫工作優勢,對應器件能夠工作于175°c以上的高溫條件下,其通態壓降隨溫度的升高顯著增加。

    2、為了進一步提升sic器件高溫通流能力,溝槽型雙極性sic的igbt器件逐漸成為研究的熱點。圖1為傳統的溝槽型雙極性sic的igbt器件。例如,10kv以上的sic?igbt芯片,其器件結構如圖1所示。其中,1-1是發射極金屬,1-2是發射極n+區,1-3是p型體區,1-4是柵極氧化層,1-5是柵極ploy,1-6是n-漂移區,1-7是集電極p型區(作為襯底),1-8是集電極金屬。圖1中,帶箭頭的虛線為電子路徑,帶箭頭的線為空穴路徑。

    3、傳統的sic的igbt器件存在以下問題:

    4、問題一:圖1的igbt器件的背面結構為集電極p型區1-7與n-漂移區1-6。導通電流增大有一個過程。圖1的溝槽型雙極性sic的igbt器件導電的是電子和空穴,電子的流動路徑和空穴的流動路徑如圖1所示。

    5、一般情況,集電極p型區1-7與n-漂移區1-6形成的pn結的導通電壓為3v以上。這樣,就導致小電流條件下也具有3v以上的通態壓降,導通損耗大。

    6、具體過程如下:

    7、當器件集電極和發射極間壓降小于3v時,集電極p型區1-7與n-漂移區1-6的pn結壓降未達到sic?pn結(即集電極p型區1-7與n-漂移區1-6形成的pn結)的正向導通壓降;此時器件未導通,沒有導通電流。

    8、當器件集電極和發射極間壓降大于等于3v時,集電極p型區1-7與n-漂移區1-6的pn結壓降達到了sic?pn結的正向導通壓降;此時器件開始導通。

    9、問題二:圖1的igbt器件,作為襯底的集電極p型區1-7整體為碳化硅sic材料。由于整體為sic材料的襯底導致器件1微米厚度承壓150v左右,低壓igbt器件(擊穿電壓bv≤1200v)器件有效厚度僅為10微米,減薄工藝制備難度大,無成熟產品。因此,已有的sicigbt器件多為擊穿電壓為10?kv以上電壓規格。

    10、因此,傳統的sic的igbt器件在小電流條件下導通損耗大,是本領域技術人員急需要解決的技術問題。

    11、在
    技術介紹
    中公開的上述信息僅用于加強對本申請的背景的理解,因此其可能包含沒有形成為本領域普通技術人員所知曉的現有技術的信息。


    技術實現思路

    1、本申請提供了一種雙極性sic功率器件,以解決傳統的sic的igbt器件在小電流條件下導通損耗大的技術問題。

    2、本申請提供了一種雙極性sic功率器件,包括:

    3、集電極,由多個集電極第一摻雜類型區和多個集電極第二摻雜類型區交替設置形成;

    4、襯底,由多個襯底第二摻雜類型區和多個襯底第一摻雜類型區交替設置形成;其中,所述襯底位于所述集電極之上;

    5、第二摻雜類型的外延層,形成在所述襯底之上;

    6、其中,集電極第二摻雜類型區和襯底第二摻雜類型區連接,集電極第一摻雜類型區和襯底第二摻雜類型區連接,集電極第二摻雜類型區和襯底第一摻雜類型區。

    7、實施中,集電極第一摻雜類型區為條形,所述集電極第二摻雜類型區為條形;

    8、襯底第二摻雜類型區為條形,襯底第一摻雜類型區為條形;

    9、其中,所述集電極第一摻雜類型區的長度方向和所述襯底第一摻雜類型區的長度方向相交;條形的長度方向為條形中較長邊的延伸方向。

    10、本申請由于采用以上技術方案,具有以下技術效果:

    11、本申請的雙極性sic功率器件正向導通,且正向導通電流為小電流時,集電極-發射極電壓vce較低,達不到集電極第一摻雜類型區和襯底第二摻雜類型區形成的pn結的導通電壓,因此,集電極第一摻雜類型區向襯底第二摻雜類型區的pn結不導通。此時,集電極第一摻雜類型區不起作用,雙極性sic功率器件為單極性,僅有電子參與導電。

    12、電子路徑如下:

    13、第二摻雜類型的外延層→襯底第二摻雜類型區→集電極第二摻雜類型區為電子路徑中的一部分。由于外延層、襯底第二摻雜類型區、集電極第二摻雜類型區均為第二摻雜類型,即作用近似于導體。具體舉例進行說明,集電極第一摻雜類型區和襯底第二摻雜類型區形成的pn結的導通電壓為3v的情況下,在導通電流產生的集電極-發射極電壓vce壓降小于3v的情況下,此時,本申請的雙極性sic功率器件僅依靠電子導電,已經能夠將雙極性sic功率器件導通,導通壓降較小,使得導通損耗較小。

    14、因此,本申請的雙極性sic功率器件在正向導通電流為小電流的情況下,導通壓降較小,進而使得導通損耗較小。

    本文檔來自技高網
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    【技術保護點】

    1.一種雙極性SIC功率器件,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,集電極第一摻雜類型區(11)為條形,所述集電極第二摻雜類型區(12)為條形;

    3.根據權利要求2所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,同一個所述集電極第一摻雜類型區(11):

    4.根據權利要求3所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,第一摻雜類型為P型,第二摻雜類型為N型;

    5.根據權利要求2至4任一所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,

    6.?根據權利要求2至4任一所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,?所述集電極第一摻雜類型區(11)和所述集電極第二摻雜類型區(12)寬度之比的取值范圍為大于等于1:1小于等于10:1。

    7.根據權利要求2至4任一所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,所述集電極第一摻雜類型區(11)的長度方向和所述襯底第一摻雜類型區(10-2)的長度方向相交的夾角α的取值范圍為大于等于20度小于等于90度。

    8.根據權利要求7所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,第一摻雜類型為P型,第二摻雜類型為N型;

    9.根據權利要求8所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,

    10.根據權利要求8所述的雙極性SIC功率器件,其特征在于,所述集電極第一摻雜類型區(11)和所述集電極第二摻雜類型區(12)的厚度相同,且所述集電極厚度的取值范圍為大于等于0.1μm小于等于1.0μm;

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    【技術特征摘要】

    1.一種雙極性sic功率器件,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的雙極性sic功率器件,其特征在于,集電極第一摻雜類型區(11)為條形,所述集電極第二摻雜類型區(12)為條形;

    3.根據權利要求2所述的雙極性sic功率器件,其特征在于,同一個所述集電極第一摻雜類型區(11):

    4.根據權利要求3所述的雙極性sic功率器件,其特征在于,第一摻雜類型為p型,第二摻雜類型為n型;

    5.根據權利要求2至4任一所述的雙極性sic功率器件,其特征在于,

    6.?根據權利要求2至4任一所述的雙極性sic功率器件,其特征在于,?所述集電極第一摻雜類型區(11)和所述集電極第二摻雜類型區(12)寬度之比的取值...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:祁金偉
    申請(專利權)人:蘇州華太電子技術股份有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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