一種真空實驗平臺制造技術

本實用新型專利技術屬于無機化學儀器分析領域，具體涉及一種真空實驗平臺。目的在于提供一種啟動速度快、靈敏度高、漏點定位準確同時又具備抽空功能的真空實驗平臺。該平臺包括真空系統、為真空系統各部件提供電源的電源控制系統、與被檢工件進行匹配連接的接口系統，其中真空系統為被檢工件提供真空環境和真空指示；電源控制系統控制整機、機械泵、分子泵、離子泵、復合真空計等部件的電源。接口系統為待抽系統、工件提供形態各異的接口和轉換頭。本平臺在準確定位焊接器件的漏點、質譜計制造真空系統輔助抽空、真空系統輔助運行中效果明顯，同時，在質譜儀真空實驗中，能為離子源等試驗提供真空環境；具備抽速快、啟動迅速、使用方便、多功能等特點。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
一種真空實驗平臺
本技術屬于無機化學儀器分析領域，具體涉及一種真空實驗平臺。
技術介紹
使用氦質譜檢漏儀對質譜儀真空組件進行檢漏，由于高真空設備及組件漏點很小，而氦質譜檢漏儀檢漏時，氦氣擴散面大，漏點只能確定在一定范圍內，不能快速、準確的判斷漏點，這樣給尋找漏點及漏點的處理帶來一定困難。每臺質譜儀在安裝調試之前必須對其對各真空組件進行全面檢漏，需檢漏的部分包括:各閥門組件、管道、四通和分析管等。這些真空組件接口大小不一，形體差異大，數量較多，為了快速、準確的判斷漏點，因此需要一種啟動速度快、靈敏度高、漏點定位準確同時又具備抽空功能的設備。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種啟動速度快、靈敏度高、漏點定位準確同時又具備抽空功能的真空實驗平臺。本技術是這樣實現的:一種真空實驗平臺，包括為被檢工件提供真空環境和用于真空指示的真空系統，為真空系統各部件提供電源的電源控制系統，與被檢工件進行匹配連接的接口系統；所述真空系統包括依次相連的機械泵、分子泵、離子泵；還包括復合真空計，所述真空系統包括位于真空泵和被檢工件系統通道的電阻真空規和位于離子泵端的冷陰極真空規，所述復合真空計為冷陰極真空規和電阻真空規提供電源，并測量和顯示冷陰極真空規和電阻真空規檢測的真空度。如上所述的一種真空實驗平臺，其中:所述機械泵和分子泵之間置有第六擋板閥門，在分子泵和離子泵之間置有第四、五擋板閥門，冷陰極真空規位于第四、五擋板閥門之間，第四、五擋板閥門之間的位置依次通過第三、一擋板閥門與接口系統相連，第三、一擋板閥門之間連接有第二擋板閥門，第二擋板閥門與機械泵相連，所述電阻真空規位于機械泵和第六擋板閥門之間。如上所述的一種真空實驗平臺，其中:所述機械泵為RVP-2型前級機械泵，工作范圍為大氣壓至IX IO-2Pa;所述分子泵為FD-110A型渦輪分子泵，工作范圍1X10—1?IXlO-8Pa ;所述離子泵為抽速為25L/S的2L-25型濺射式鈦離子泵；所述復合真空計為ZDF-42C 型。如上所述的一種真空實驗平臺，其中:所述接口系統包括KF25標準接口、KF16標準接口、KF25焊接圓盤接口、KF16焊接法蘭接口。本技術的具有以下顯著特點:本技術在準確定位焊接器件的漏點、質譜計制造真空系統輔助抽空、真空系統輔助運行中效果明顯，同時，在質譜儀真空實驗，能為離子源等試驗提供真空環境；具備抽速快、啟動迅速、使用方便、多功能等特點。【附圖說明】圖1為本技術提供的一種真空實驗平臺結構示意圖；圖2為擋板閥門安裝結構圖；圖3為電源控制系統示意圖。【具體實施方式】下面結合附圖和具體實施例進一步介紹本技術提供的一種真空實驗平臺。如圖1所示，一種真空實驗平臺，包括真空系統、為真空系統各部件提供電源的電源控制系統、與被檢工件進行匹配連接的接口系統，其中真空系統為被檢工件提供真空環境和真空指示；電源控制系統控制整機、機械泵、分子泵、離子泵、復合真空計等部件的電源。接口系統為待抽系統、工件提供形態各異的接口和轉換頭。(I)真空系統真空系統包括一臺分子泵(例如FD-110A型渦輪分子泵)，一臺機械泵(例如RVP-2型前級機械泵)，一臺離子泵(例如抽速為25L/S的2L-25型濺射式鈦離子泵)，前級管路，一臺分子泵電源，一臺離子泵電源，一臺復合真空計(例如ZDF-42C型)，多組擋板閥門，(例如六組CD-J16F型)。復合真空計安裝在分子泵電源和離子泵電源的下面，接電阻規和冷規，分別用來測量系統的低真空度和高真空度。如圖2所示，多組擋板閥門(第一擋板閥門F1、第二擋板閥門F2、第三擋板閥門F3、第四擋板閥門F4、第五擋板閥門F5、第六擋板閥門F6)安裝儀器左側前面板，通過真空波紋管連接測量接口和各類真空泵，檢測時按真空要求，打開相應閥門。凡是利用機械運動(轉動或滑動)以獲得真空的泵，稱為機械真空泵。機械真空泵利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。旋片真空泵主要由定子、旋片、轉子組成。在泵腔內偏心地裝有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁(轉動后還有旋片離心力)。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。當轉子在定子腔內旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。工作范圍為大氣壓至lX10_2Pa。渦輪分子泵是由一系列的動、靜相間的葉輪相互配合組成。每個葉輪上的葉片與葉輪水平面傾斜成一定角度。動片與定片傾角方向相反。主軸帶動葉輪在靜止的定葉片之問高速旋轉，高速旋轉的葉輪將動量傳遞給氣體分子使其產生定向運動，從而實現抽氣目的。工作范圍1X10—1?lX10_8Pa。分子泵的轉速越高，對提高分子泵的抽速越有利。實踐表明，對不同分子量的氣體分子其速度越大，泵抽除越困難。例:H2在空氣中含量很小，但由于H2分子具有很大的運動速度(最高速度為1557m/s)，所以分子泵對H2的抽吸困難。通過對極限真空中殘余氣體的分析，可發現氫氣比重可達85 %，而分子量較大，而運動速度慢的油分子所占的比重幾乎為零。這就是分子泵對油蒸氣等高分子量的氣體的壓縮比很高，抽吸效果好的原因。濺射式鈦離子泵靠放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設備。主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部分組成，極間電壓幾千伏特，軸向磁場幾千高斯。電場迫使電離或離子轟擊陰極產生的電子在陰極間震蕩，磁場不讓電子直接到達陽極而是沿螺旋路徑運動，以增大電離幾率。濺射離子泵的工作范圍是10-2?IO-8Pa0真空系統由前級機械泵、分子泵及離子泵組成，由一個抽氣接口(可擴展到多個接口)連接被抽系統進行抽空和對被抽系統進行檢漏，同時可能通過離子泵對被抽系統進行長期真空運行。在前級真空度達到IOPa左右時，可啟動分子泵，機械真空泵作為分子泵的前級為分子泵啟動提供預真空。打開閥門F2，將系統抽至前級真空。渦輪分子泵為離子泵提供預真空，分子泵啟動后將被抽系統抽至KT3Pa的真空，啟動離子泵。在前級真空泵和被抽氣系統通道之間裝有ZJ — 52型電阻真空規，用于測量前級真空，測量范圍為IO5?10_nPa。在離子泵端裝有一個ZJ - M014型冷陰極真空規，用于高真空測量，測量范圍為10_2?10_7Pa。真空測量部件為微機型復合真空計。(2)電源控制系統該設備電源配電和控制部件設置在設備右側。部件前面板上設置5個電源開關，部件內部設置中間斷電器、分線器、保險器和輸出插口。圖3為電源控制系統示意圖。各開關的控制功能為:總電源開關:控制整機總電源；機械泵開關:控制機械真空泵電源；分子泵電源開關:控制渦輪分子泵電源；離子泵電源開關:控制離子泵電源線；測量部件開關:控制復合真空計電源；系統總電源、機械泵電源為三相電源，其接通和斷開由對應的中間繼電器控制，這兩個電間繼電器由部件前面板上對應的開關控制。電源控制系統的電源開關直接控制相關電源的接通與切斷。分子泵電源開關控制渦輪分子泵電源，接通該開關，分子泵電源接通，通過分子泵啟動控制開頭“工作”鍵，按下此鍵，分子泵開始啟動，按下“停止”按鈕，切斷分子泵電源，分子泵停機。離子泵開關控制離子泵電源本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空實驗平臺，其特征在于：包括為被檢工件提供真空環境和用于真空指示的真空系統，為真空系統各部件提供電源的電源控制系統，與被檢工件進行匹配連接的接口系統；所述真空系統包括依次相連的機械泵、分子泵、離子泵；還包括復合真空計，所述真空系統包括位于真空泵和被檢工件系統通道的電阻真空規和位于離子泵端的冷陰極真空規，所述復合真空計為冷陰極真空規和電阻真空規提供電源，并測量和顯示冷陰極真空規和電阻真空規檢測的真空度。

【技術特征摘要】
1.一種真空實驗平臺，其特征在于:包括為被檢工件提供真空環境和用于真空指示的真空系統，為真空系統各部件提供電源的電源控制系統，與被檢工件進行匹配連接的接口系統；所述真空系統包括依次相連的機械泵、分子泵、離子泵；還包括復合真空計，所述真空系統包括位于真空泵和被檢工件系統通道的電阻真空規和位于離子泵端的冷陰極真空規，所述復合真空計為冷陰極真空規和電阻真空規提供電源，并測量和顯示冷陰極真空規和電阻真空規檢測的真空度。2.根據權利要求1所述的一種真空實驗平臺，其特征在于:所述機械泵和分子泵之間置有第六擋板閥門(F6)，在分子泵和離子泵之間置有第四、五擋板閥門(F4、F5)，冷陰極真空規位于第四、五擋板閥門(F4、F5)之間，第四、五擋板閥門(F4、F5)之間的位置...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李振中，陳穎川，佘永東，韓雅琦，
申請(專利權)人：四川紅華實業有限公司，
類型：新型
國別省市：四川;51