一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈制造技術(shù)

一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈，屬專用照明裝置領(lǐng)域。其在燈殼的下端面，設(shè)置有數(shù)個(gè)LED發(fā)光器件；其中至少一個(gè)LED發(fā)光器件設(shè)置在燈殼縱向中心軸線位置上，其余LED發(fā)光器件圍繞中心點(diǎn)LED發(fā)光器件設(shè)置；在每個(gè)LED發(fā)光器件的位置上對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)反光杯；在半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上，各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑，與中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑重合，形成高亮度光斑；所述的燈殼、各個(gè)LED發(fā)光器件和對(duì)應(yīng)的反光杯，構(gòu)成一體式的聚光燈具。其采用LED光源作為照射光源，具有快速啟動(dòng)特性，響應(yīng)速度快，使用壽命長(zhǎng)，電能消耗低，節(jié)能環(huán)保，可提高目檢工作的整體工作效率和質(zhì)量，且其生產(chǎn)組裝方便，散熱效果好。可廣泛用于晶圓目檢用燈的設(shè)計(jì)制造領(lǐng)域。（*該技術(shù)在2024年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
—種半導(dǎo)體晶圓目檢燈
本技術(shù)屬于專用照明裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體晶圓目檢的專用照明裝置。
技術(shù)介紹
目檢是半導(dǎo)體晶圓測(cè)試中的一項(xiàng)重要工作，其通過肉眼觀察待測(cè)晶圓是否存在缺陷。目檢主要包括下列檢查內(nèi)容:檢測(cè)待測(cè)晶圓上是否有瑕疵(主要是指微塵粒子、刮痕、殘留物等)，對(duì)已印有電路圖案的圖案晶圓成品而言，則主要進(jìn)行外引腳之平整性、共面度、腳距、印字是否清晰及膠體是否有損傷等方面的外觀檢驗(yàn)。目前，在目檢過程中多使用高強(qiáng)度汞燈作為光源來照射晶圓表面。采用高強(qiáng)度汞燈作為照射光源，其缺點(diǎn)是壽命短(小于500小時(shí))，燈具的價(jià)格高，在目檢工作中需要頻繁更換燈具光源，且該種光源的啟動(dòng)時(shí)間比較長(zhǎng)，需預(yù)熱半小時(shí)左右才能達(dá)到目檢所需的穩(wěn)定光強(qiáng)度；其一方面增加了目檢工序的電能消耗和生產(chǎn)成本，另一方面無形之中又減少了有效工作時(shí)間，降低了目檢工作的整體工作效率。如何能夠使得目檢用照明燈具有快速啟動(dòng)特性，延長(zhǎng)燈具的使用壽命，減少其電能消耗，提高目檢工作的整體工作效率，是實(shí)際生產(chǎn)過程中急待解決的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈，其采用LED光源取代傳統(tǒng)的高強(qiáng)度汞燈作為照射光源，具有快速啟動(dòng)特性，響應(yīng)速度快，使用壽命長(zhǎng)，電能消耗低，節(jié)能環(huán)保，可提高目檢工作的整體工作效率和質(zhì)量，且其生產(chǎn)組裝方便，散熱效果好。本技術(shù)的技術(shù)方案是:提供一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈，包括用于支撐燈殼的撐桿和設(shè)置在撐桿末端的燈殼，其特征是:所述的燈殼為一圓柱或圓臺(tái)狀結(jié)構(gòu)；在燈殼的下端面，設(shè)置有數(shù)個(gè)LED發(fā)光器件；其中，至少一個(gè)LED發(fā)光器件設(shè)置在燈殼的縱向中心軸線位置上，構(gòu)成中心點(diǎn)LED發(fā)光器件；其余的LED發(fā)光器件圍繞所述的中心點(diǎn)LED發(fā)光器件設(shè)置，構(gòu)成多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件；在所述的每個(gè)LED發(fā)光器件的位置上，對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)反光杯；在所需照明的半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上，所述各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑，與所述中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑重合；所述的撐桿、燈殼、中心點(diǎn)LED發(fā)光器件、多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件和多個(gè)反光杯,構(gòu)成一體式的聚光燈具。具體的，其所述的各個(gè)LED發(fā)光器件位于所述對(duì)應(yīng)的各個(gè)反光杯上開口端的中心位置。進(jìn)一步的，其所述的反光杯為一截錐狀構(gòu)件，其反光杯的上開口端與所述燈殼的下端連接；所述反光杯的下開口端朝向半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面設(shè)置。其所述多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯的縱向中心軸線，與所述燈殼的下底面成一夾角設(shè)置，分別構(gòu)成一個(gè)向燈殼中心軸線傾斜的投光通道。位于所述圍繞式LED發(fā)光器件上的各個(gè)反光杯的縱向中心軸線,朝向所述燈殼的縱向中心軸線傾斜；所述各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件上的各個(gè)反光杯的縱向中心軸線，與所述燈殼的縱向中心軸線成一夾角設(shè)置。更進(jìn)一步的，上述的夾角范圍為O?20度。其所述各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯的縱向中心軸線，在所述半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上，與所述燈殼的縱向中心軸線相交。更進(jìn)一步的，所述反光杯的上開口端與燈殼之間，對(duì)應(yīng)設(shè)置有螺紋式連接結(jié)構(gòu)或旋轉(zhuǎn)卡口式連接結(jié)構(gòu)。更進(jìn)一步的，在所述燈殼的上端面，設(shè)置散熱模塊或散熱模塊組。與現(xiàn)有技術(shù)比較，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是:1.采用LED光源取代傳統(tǒng)的高強(qiáng)度汞燈作為照射光源，具有快速啟動(dòng)特性，響應(yīng)速度快，使用壽命長(zhǎng)，電能消耗低，節(jié)能環(huán)保；2.米用一體式燈殼結(jié)構(gòu),其燈殼既能固定反光杯,又能作為散熱部件；3.可提高目檢工作的整體工作效率和質(zhì)量，且其生產(chǎn)組裝方便，散熱效果好。【附圖說明】圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)下端面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是燈殼內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是反光杯的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是燈殼與LED發(fā)光器件之間的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是各個(gè)反光杯輸出的光斑重合關(guān)系不意圖。圖中I為撐桿，2為燈殼,3為中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯,4為圍繞式LED發(fā)光器件反光杯，5為L(zhǎng)ED發(fā)光器件，6-1、6-2為導(dǎo)線走線孔，7為螺紋式連接結(jié)構(gòu)，8為光斑。【具體實(shí)施方式】下面結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)做進(jìn)一步說明。圖1和圖2中，本技術(shù)的技術(shù)方案提供了一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈，包括用于支撐燈殼的撐桿和設(shè)置在撐桿末端的燈殼，其特征是所述的燈殼I為一圓柱或圓臺(tái)狀結(jié)構(gòu)；在燈殼的下端面，設(shè)置有數(shù)個(gè)LED發(fā)光器件；其中，至少一個(gè)LED發(fā)光器件設(shè)置在燈殼的縱向中心軸線位置上，構(gòu)成中心點(diǎn)LED發(fā)光器件；其余的LED發(fā)光器件圍繞所述的中心點(diǎn)LED發(fā)光器件設(shè)置，構(gòu)成多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件；在所述的每個(gè)LED發(fā)光器件的位置上，對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)反光杯；在所需照明的半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上，所述各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯4輸出的光斑,與所述中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯3輸出的光斑重合；所述的撐桿、燈殼、中心點(diǎn)LED發(fā)光器件、多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件和多個(gè)反光杯,構(gòu)成一體式的聚光燈具。由圖可知，多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯4以中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯3為中心,均布在一個(gè)以此中心為圓心的圓周上。上述兩圖中給出的是采用9個(gè)小角度光源投射到一個(gè)平面上形成一個(gè)高亮度光斑的示意，其根據(jù)所需光斑的亮度與大小，設(shè)定各個(gè)光源的角度，形成一體式的聚光燈具。圖3中，多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯的縱向中心軸線,與燈殼的下底面成一夾角設(shè)置，分別構(gòu)成一個(gè)向燈殼中心軸線傾斜α角度的投光通道。換句話說，位于圍繞式LED發(fā)光器件上的各個(gè)反光杯的縱向中心軸線，朝向所述燈殼的縱向中心軸線傾斜。即:各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件上的各個(gè)反光杯的縱向中心軸線，與所述燈殼的縱向中心軸線成一夾角設(shè)置。作為具體加工工藝，實(shí)際制造時(shí)，燈殼內(nèi)部設(shè)有傾斜平面，該角度即為反光杯的安裝角度，亦即各個(gè)反光杯的縱向中心軸線與燈殼的縱向中心軸線之間的夾角。上述的夾角范圍為O?20度，可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)燈具與所需照明的半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面之間的距離和照明需要進(jìn)行調(diào)節(jié)或變換；換句話說，可根據(jù)所需光斑的亮度與大小，設(shè)定各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件上的各個(gè)反光杯的角度。由圖可知，燈殼背面(即前述的燈殼上端面)采用平整的平面結(jié)構(gòu)，可根據(jù)實(shí)際需要安裝散熱器或散熱模塊組，以提供良好的散熱解決方案。同理，燈殼采用金屬材質(zhì)結(jié)構(gòu)，有助于增強(qiáng)整體的散熱作用，也便于制造加工。圖4中，反光杯為一截錐狀構(gòu)件，其反光杯的上開口端與燈殼的下端連接；反光杯的下開口端朝向半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面設(shè)置。本領(lǐng)域的技術(shù)人員由圖可知，本技術(shù)方案中的反光杯，實(shí)際上就是一種小角度反光杯，由于其為現(xiàn)有技術(shù)，故其具體反光機(jī)理和投光結(jié)構(gòu)在此不再詳述。由圖可知，在反光杯的上開口端外表面，設(shè)置有螺紋式連接結(jié)構(gòu)或旋轉(zhuǎn)卡口式連接結(jié)構(gòu)(圖中以螺紋式連接結(jié)構(gòu)7表示)；對(duì)應(yīng)的，在燈殼的下端面，亦設(shè)置有相對(duì)應(yīng)的螺紋式連接結(jié)構(gòu)或旋轉(zhuǎn)卡口式連接結(jié)構(gòu)，通過兩者之間的螺紋旋轉(zhuǎn)配合或卡扣旋轉(zhuǎn)配合，用于固定反光杯的位置與角度，將反光杯的上開口端牢固地固定在燈殼的下端面上。圖5中，LED發(fā)光器件5位于所對(duì)應(yīng)的反光杯上開口端的中心位置,基于制造結(jié)構(gòu)上的原因，在LED發(fā)光器件的周邊，設(shè)置有導(dǎo)線走線孔6-1、6-2，LED發(fā)光器件的電源線從該孔穿出，這樣可以采用驅(qū)動(dòng)電源外置的結(jié)構(gòu)形式，有利于提高電源的電能利用率和采用合理的集中散熱方案。圖6中，本技術(shù)方案將多束小角度燈管(包括中心點(diǎn)LED發(fā)光器件和環(huán)繞在其周圍的圍繞式本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈，包括用于支撐燈殼的撐桿和設(shè)置在撐桿末端的燈殼，其特征是：所述的燈殼為一圓柱或圓臺(tái)狀結(jié)構(gòu)；在燈殼的下端面，設(shè)置有數(shù)個(gè)LED發(fā)光器件；其中，至少一個(gè)LED發(fā)光器件設(shè)置在燈殼的縱向中心軸線位置上，構(gòu)成中心點(diǎn)LED發(fā)光器件；其余的LED發(fā)光器件圍繞所述的中心點(diǎn)LED發(fā)光器件設(shè)置，構(gòu)成多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件；在所述的每個(gè)LED發(fā)光器件的位置上，對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)反光杯；在所需照明的半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上，所述各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑，與所述中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑重合；所述的撐桿、燈殼、中心點(diǎn)LED發(fā)光器件、多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件和多個(gè)反光杯，構(gòu)成一體式的聚光燈具。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈，包括用于支撐燈殼的撐桿和設(shè)置在撐桿末端的燈殼，其特征是: 所述的燈殼為一圓柱或圓臺(tái)狀結(jié)構(gòu)； 在燈殼的下端面，設(shè)置有數(shù)個(gè)LED發(fā)光器件； 其中，至少一個(gè)LED發(fā)光器件設(shè)置在燈殼的縱向中心軸線位置上，構(gòu)成中心點(diǎn)LED發(fā)光器件；其余的LED發(fā)光器件圍繞所述的中心點(diǎn)LED發(fā)光器件設(shè)置，構(gòu)成多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件； 在所述的每個(gè)LED發(fā)光器件的位置上，對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)反光杯； 在所需照明的半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上，所述各個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑，與所述中心點(diǎn)LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑重合； 所述的撐桿、燈殼、中心點(diǎn)LED發(fā)光器件、多個(gè)圍繞式LED發(fā)光器件和多個(gè)反光杯,構(gòu)成一體式的聚光燈具。2.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓目檢燈，其特征是所述的各個(gè)LED發(fā)光器件位于所述對(duì)應(yīng)的各個(gè)反光杯上開口端的中心位置。3.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓目檢燈，其特征是所述的反光杯為一截錐狀構(gòu)件，其反光杯的上開口端與所述燈殼的下端連接；所述反光杯的下開口端朝向半...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王峰，莊美琳，李抒智，陳佳，楊衛(wèi)橋，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海半導(dǎo)體照明工程技術(shù)研究中心，
類型：新型
國別省市：上海;31