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    生長氧化物單晶體的熱場裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:10361500 閱讀:325 留言:0更新日期:2014-08-27 17:35
    生長氧化物單晶體的熱場裝置,包括坩堝,置于熱場中央,坩堝外有保溫筒、石英管和感應(yīng)線圈,上方設(shè)有保溫罩和ZrO2蓋,保溫罩外安裝泡沫磚,泡沫磚上開有觀察隧道口,下方有不同材料套裝組成的底托,在保溫筒和石英管之間有氧化鋯粘,熱場的保溫筒、石英管、底托都分別由體積較小的多塊疊裝組成,這種結(jié)構(gòu)不容易炸裂和損壞,損外的更換量小。本技術(shù)的熱場裝置觀察隧道較長,不易受到外界溫度的影響,熱場內(nèi)的溫度梯度小,溫度平穩(wěn)恒定,晶體不容易炸裂,溫場的保溫性、氣密性和穩(wěn)固性較好,對設(shè)備和原料的損耗小,提拉晶體的成品率、成功率高,成本低。(*該技術(shù)在2024年保護過期,可自由使用*)

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
    生長氧化物單晶體的熱場裝置
    本技術(shù)屬于晶體設(shè)備
    ,具體涉及一種生長氧化物單晶體的熱場裝置。
    技術(shù)介紹
    人工生產(chǎn)氧化物的單晶體,需要的生長溫度很高,制造過程中晶體需要在平恒穩(wěn)定高溫的環(huán)境中生長才不會炸裂,熱場裝置為晶體的生長提供必要的恒溫環(huán)境。現(xiàn)有技術(shù)中專利CN202830220U公開了一種提拉法晶體生長的熱場裝置,該技術(shù)中將觀察孔直接開在了保溫層上,隧道的長度較短,外界環(huán)境距離溫場內(nèi)部距離短,溫場內(nèi)部的溫度受到外界環(huán)境溫度的影響較大,容易引起溫場內(nèi)部溫度頻繁波動,保溫、恒溫效果不好,在溫度頻繁波動的溫場中提拉晶體,晶體容易炸裂,導致廢品率增高,生產(chǎn)成本增高。
    技術(shù)實現(xiàn)思路
    針對現(xiàn)有技術(shù)中,生產(chǎn)氧化物的單晶體存在熱場裝置的恒溫、保溫效果不好,溫場內(nèi)部容易受到外界環(huán)境的影響,溫度頻繁波動,導致提拉晶體時晶體容易出現(xiàn)炸裂現(xiàn)象,本技術(shù)提供一種生長氧化物單晶體的熱場裝置,其技術(shù)方案如下:一種生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈,坩堝上方設(shè)有保溫罩,保溫罩呈圓筒形,保溫罩的筒壁上開有觀察隧道口,保溫罩上方安裝ZrO2蓋,保溫罩外安裝有Al2O3泡沫磚,觀察隧道口穿過Al2O3泡沫磚,坩堝外同心安裝有ZrO2保溫筒,保溫筒呈圓筒形,保溫筒由多塊疊裝在一起組成,保溫筒外安裝石英管,石英管由上下兩塊組裝在一起,在保溫筒和石英管之間安裝有氧化鋯粘層,坩堝底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托,ZrO2底托呈長方形,ZrO2底托下方設(shè)有兩塊Al2O3底托,Al2O3底托呈倒置的杯形套裝在一起組成,Al2O3底托下方套裝石英底托,石英底托下方套裝黃銅底托。本技術(shù)在保溫罩外設(shè)置安裝泡沫磚,再在泡沫磚上開觀察隧道口,延長了觀察隧道的長度,可減少溫場內(nèi)部與外界環(huán)境的接觸,使溫場內(nèi)部始終保持在溫度平穩(wěn)恒定的狀態(tài),晶體不會炸裂,坩堝外的保溫筒、石英管和坩堝下方的底托都分別采取由多塊進行疊裝組成,多塊疊裝不容易炸裂和損壞,損外時只需要進行小塊的更換,設(shè)備的損耗小、成本低,在保溫筒和石英管之間裝有氧化鋯粘層進行保溫隔熱并保護石英管,在保溫筒外安裝石英管、Al2O3底托下方安裝石英底托能大大提高溫場的氣密性,更加有利于提高溫場內(nèi)部的保溫和恒溫效果,采用不同的材料組裝底托,能優(yōu)化發(fā)揮不同材料的特有性能,可起到保溫性、氣密性和穩(wěn)固性互補的作用。本技術(shù)結(jié)構(gòu)合理,熱場中的組成部件不容易損壞,使用壽命長,設(shè)備和原料的損耗小,成本低,溫場內(nèi)部的溫度平穩(wěn),梯度小,波動少,提拉晶體的成功率、成品率高。【附圖說明】圖1為本技術(shù)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。【具體實施方式】實施例:如圖1所示,一種生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝6外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈8,坩堝6上方設(shè)有保溫罩2,保溫罩2呈圓筒形,保溫罩2的筒壁上開有觀察隧道口 13,保溫罩2上方安裝ZrO2蓋1,保溫罩2外安裝有Al2O3泡沫磚12,觀察隧道口 13穿過Al2O3泡沫磚12,坩堝6外同心安裝有ZrO2保溫筒3,保溫筒3呈圓筒形,保溫筒3由多塊疊裝在一起組成,保溫筒3外安裝石英管4,石英管4由上下兩塊組裝在一起,在保溫筒3和石英管4之間安裝有氧化鋯粘層5,坩堝6底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托7,ZrO2底托7呈長方形,ZrO2底托7下方設(shè)有兩塊Al2O3底托9,Al2O3底托9呈倒置的杯形套裝在一起組成,Al2O3底托9下方套裝石英底托10,石英底托10下方套裝黃銅底托11。本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護點】
    生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝(6)外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈(8),坩堝(6)上方設(shè)有保溫罩(2),保溫罩(2)呈圓筒形,保溫罩(2)的筒壁上開有觀察隧道口(13),保溫罩(2)上方安裝ZrO2蓋(1),其特征在于:保溫罩(2)外安裝有Al2O3泡沫磚(12),觀察隧道口(13)穿過AI2O3泡沫磚(12),坩堝(6)外同心安裝有ZrO2保溫筒(3),保溫筒(3)呈圓筒形,保溫筒(3)由多塊疊裝在一起組成,保溫筒(3)外安裝石英管(4),石英管(4)由上下兩塊組裝在一起,在保溫筒(3)和石英管(4)之間安裝有氧化鋯粘層(5),坩堝(6)底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托(7),ZrO2底托(7)呈長方形,ZrO2底托(7)下方設(shè)有兩塊Al2O3底托(9),?Al2O3底托(9)呈倒置的杯形套裝在一起組成,Al2O3底托(9)下方套裝石英底托(10),石英底托(10)下方套裝黃銅底托(11)。

    【技術(shù)特征摘要】
    1.生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝(6)外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈(8),坩堝(6)上方設(shè)有保溫罩(2),保溫罩(2)呈圓筒形,保溫罩(2)的筒壁上開有觀察隧道口(13),保溫罩(2)上方安裝ZrO2蓋(1),其特征在于:保溫罩(2)外安裝有Al2O3泡沫磚(12),觀察隧道口(13)穿過AI2O3泡沫磚(12),坩堝(6)外同心安裝有ZrO2保溫筒(3),保溫筒(3)呈圓筒形,保溫筒(3)由多塊疊...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:黃永臣白鳳周劉鵬黃楠
    申請(專利權(quán))人:玉溪市明珠晶體材料有限公司
    類型:新型
    國別省市:云南;53

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