【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
生長氧化物單晶體的熱場裝置
本技術(shù)屬于晶體設(shè)備
,具體涉及一種生長氧化物單晶體的熱場裝置。
技術(shù)介紹
人工生產(chǎn)氧化物的單晶體,需要的生長溫度很高,制造過程中晶體需要在平恒穩(wěn)定高溫的環(huán)境中生長才不會炸裂,熱場裝置為晶體的生長提供必要的恒溫環(huán)境。現(xiàn)有技術(shù)中專利CN202830220U公開了一種提拉法晶體生長的熱場裝置,該技術(shù)中將觀察孔直接開在了保溫層上,隧道的長度較短,外界環(huán)境距離溫場內(nèi)部距離短,溫場內(nèi)部的溫度受到外界環(huán)境溫度的影響較大,容易引起溫場內(nèi)部溫度頻繁波動,保溫、恒溫效果不好,在溫度頻繁波動的溫場中提拉晶體,晶體容易炸裂,導致廢品率增高,生產(chǎn)成本增高。
技術(shù)實現(xiàn)思路
針對現(xiàn)有技術(shù)中,生產(chǎn)氧化物的單晶體存在熱場裝置的恒溫、保溫效果不好,溫場內(nèi)部容易受到外界環(huán)境的影響,溫度頻繁波動,導致提拉晶體時晶體容易出現(xiàn)炸裂現(xiàn)象,本技術(shù)提供一種生長氧化物單晶體的熱場裝置,其技術(shù)方案如下:一種生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈,坩堝上方設(shè)有保溫罩,保溫罩呈圓筒形,保溫罩的筒壁上開有觀察隧道口,保溫罩上方安裝ZrO2蓋,保溫罩外安裝有Al2O3泡沫磚,觀察隧道口穿過Al2O3泡沫磚,坩堝外同心安裝有ZrO2保溫筒,保溫筒呈圓筒形,保溫筒由多塊疊裝在一起組成,保溫筒外安裝石英管,石英管由上下兩塊組裝在一起,在保溫筒和石英管之間安裝有氧化鋯粘層,坩堝底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托,ZrO2底托呈長方形,ZrO2底托下方設(shè)有兩塊Al2O3底托,Al2O3底托呈倒置的杯形套裝在一起組成,Al2O3底托下方套裝石英底托,石英底托下方套裝黃銅底 ...
【技術(shù)保護點】
生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝(6)外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈(8),坩堝(6)上方設(shè)有保溫罩(2),保溫罩(2)呈圓筒形,保溫罩(2)的筒壁上開有觀察隧道口(13),保溫罩(2)上方安裝ZrO2蓋(1),其特征在于:保溫罩(2)外安裝有Al2O3泡沫磚(12),觀察隧道口(13)穿過AI2O3泡沫磚(12),坩堝(6)外同心安裝有ZrO2保溫筒(3),保溫筒(3)呈圓筒形,保溫筒(3)由多塊疊裝在一起組成,保溫筒(3)外安裝石英管(4),石英管(4)由上下兩塊組裝在一起,在保溫筒(3)和石英管(4)之間安裝有氧化鋯粘層(5),坩堝(6)底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托(7),ZrO2底托(7)呈長方形,ZrO2底托(7)下方設(shè)有兩塊Al2O3底托(9),?Al2O3底托(9)呈倒置的杯形套裝在一起組成,Al2O3底托(9)下方套裝石英底托(10),石英底托(10)下方套裝黃銅底托(11)。
【技術(shù)特征摘要】
1.生長氧化物單晶體的熱場裝置,在坩堝(6)外同心設(shè)置有感應(yīng)線圈(8),坩堝(6)上方設(shè)有保溫罩(2),保溫罩(2)呈圓筒形,保溫罩(2)的筒壁上開有觀察隧道口(13),保溫罩(2)上方安裝ZrO2蓋(1),其特征在于:保溫罩(2)外安裝有Al2O3泡沫磚(12),觀察隧道口(13)穿過AI2O3泡沫磚(12),坩堝(6)外同心安裝有ZrO2保溫筒(3),保溫筒(3)呈圓筒形,保溫筒(3)由多塊疊...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:黃永臣,白鳳周,劉鵬,黃楠,
申請(專利權(quán))人:玉溪市明珠晶體材料有限公司,
類型:新型
國別省市:云南;53
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