【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種壓阻式MEMS高過載加速度計,其特征在于:包括邊框、一組主梁、一組微梁以及質量塊;所述主梁設在邊框內,所有主梁與質量塊連接;所述微梁設在主梁一側或者兩側,微梁與主梁平行連接,當微梁設在主梁一側時,整個加速度計結構呈中心對稱,當微梁設在主梁兩側時,整個加速度計結構呈全對稱。
【技術特征摘要】
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