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    一種壓阻式MEMS高過載加速度計制造技術

    技術編號:10301590 閱讀:162 留言:0更新日期:2014-08-07 08:06
    本發明專利技術公開了一種壓阻式MEMS高過載加速度計,包括邊框、一組主梁、一組微梁以及質量塊;所述主梁設在邊框內,所有主梁與質量塊連接;所述微梁設在主梁一側或者兩側,微梁與主梁平行連接,當微梁設在主梁一側時,整個加速度計結構呈中心對稱,當微梁設在主梁兩側時,整個加速度計結構呈全對稱。本發明專利技術將主微梁的同時將結構簡化到一塊硅片上,既克服了高量程高靈敏度呈負相關的矛盾,又簡化了工藝,使得大批量生產成為可能,同時通過緩沖塊的設計消除了梁直接和質量塊連接所造成拐角處出現應力集中現象導致加速度計容易損壞的技術問題。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    一種壓阻式MEMS高過載加速度計,其特征在于:包括邊框、一組主梁、一組微梁以及質量塊;所述主梁設在邊框內,所有主梁與質量塊連接;所述微梁設在主梁一側或者兩側,微梁與主梁平行連接,當微梁設在主梁一側時,整個加速度計結構呈中心對稱,當微梁設在主梁兩側時,整個加速度計結構呈全對稱。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:徐曉蘇金博楠
    申請(專利權)人:東南大學
    類型:發明
    國別省市:江蘇;32

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