一種聲波諧振器，包括：帶有空氣腔的基底；在基底上形成并位于空氣腔之上的第一低、高聲阻抗層對；在第一低、高聲阻抗層對上形成的種子層；在種子層上形成的第一電極；在第一電極上形成的壓電層；在壓電層上形成的第二電極；在第二電極上形成的第二低、高...

本發明公開一種壓電諧振器結構，包括：具有頂面、底面、第一末端和對應的第二末端以及中間部分的基底、聲反射層、第一電極、壓電層和第二電極，其中，基底、聲反射層、第一電極、壓電層和第二電極由下到上依次設置，并且，基底、聲反射層、第一電極、壓電...

一種體波諧振器及其加工方法，聲波諧振器：位于基底上或嵌于基底內部的具有第一邊緣和第二邊緣的聲學鏡；位于基底上與聲學鏡的兩個邊緣充分接觸的介電層；位于聲學鏡上的包含第一末端部、第二末端部、以及位于第一末端部和第二末端部之間的主體部分的第一...