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下載制造三維集成電路的系統及方法的技術資料

文檔序號：8687816

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本發明公開一種制造三維集成電路之系統及方法。在一實施例中，該方法包含：提供一具有多個空間光調制器(SLM)成像單元之成像寫入系統，其中該等SLM成像單元系排列成一個或多個平行陣列；接收光罩數據，其中該光罩數據系供寫入一三維集成電路之一層或多...
該專利屬于派因布魯克成像系統公司所有，僅供學習研究參考，未經過派因布魯克成像系統公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

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