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下載一種可避免空洞的電鍍銅的方法的技術資料

文檔序號：8656695

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本發明涉及半導體制造領域，具體來說是一種可避免空洞的電鍍銅的方法。包括以下步驟：在晶圓上刻蝕出需要填充的溝槽；在所述溝槽的表面以及晶圓的上表面添加添加劑；使用4～5安培的電流對所述溝槽通過電鍍方式填充銅，填充過程中所述晶圓的轉速為85～95...
該專利屬于陸偉所有，僅供學習研究參考，未經過陸偉授權不得商用。

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