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本實用新型提供一種安全輸送冷卻氣體的裝置，在所述冷卻氣體輸送管道和所述導體連接器的連接端設置一管道分隔裝置，將所述冷卻氣體輸送管道的內徑分隔為若干路口徑小于0.5毫米的氣體輸送通道。利用帕邢定律和帕邢曲線知：擊穿電壓U（千伏）是電極距離d（...該專利屬于中微半導體設備（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中微半導體設備（上海）有限公司授權不得商用。
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本實用新型提供一種安全輸送冷卻氣體的裝置，在所述冷卻氣體輸送管道和所述導體連接器的連接端設置一管道分隔裝置，將所述冷卻氣體輸送管道的內徑分隔為若干路口徑小于0.5毫米的氣體輸送通道。利用帕邢定律和帕邢曲線知：擊穿電壓U（千伏）是電極距離d（...