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下載一種多晶硅片的擺動式脫膠沖淋裝置的技術資料

文檔序號：8542946

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本實用新型公開了一種多晶硅片的擺動式脫膠沖淋裝置，包括水槽，所述水槽頂部設有蓋板，水槽底部設有排水孔，水槽的左右側壁上部分別對稱設有沖淋管。用本實用新型進行脫膠沖淋時，將多晶硅片通過脫膠工裝放入水槽，開啟電源后，電機啟動，帶動傳動輪轉動，通...
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詳細技術文檔下載地址

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