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一種平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)系統(tǒng)，包括：平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置、平面光柵正級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路、平面光柵負(fù)級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路；平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置中標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡安裝在ZYGO干涉儀上，ZYGO...該專(zhuān)利屬于上海理工大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)上海理工大學(xué)授權(quán)不得商用。