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本實用新型涉及一種壓力傳感器、振蕩器及超聲波傳感器。壓力傳感器，包括在控制、讀出電路襯底上依次層疊排列的第一極板、第二極板、第三極板、第四極板和第五極板，其中第一極板、第三極板和第四極板相對襯底固定，第一極板和第二極板相對且之間具有間隙，第...該專利屬于上海麗恒光微電子科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海麗恒光微電子科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種壓力傳感器、振蕩器及超聲波傳感器。壓力傳感器，包括在控制、讀出電路襯底上依次層疊排列的第一極板、第二極板、第三極板、第四極板和第五極板，其中第一極板、第三極板和第四極板相對襯底固定，第一極板和第二極板相對且之間具有間隙，第...