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本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種碳化硅單晶生長(zhǎng)爐的壓力控制系統(tǒng)，包括生長(zhǎng)室、與生長(zhǎng)室連通的充氣鏈路、抽氣鏈路和壓力控制裝置；所述充氣鏈路包括兩個(gè)充氣閥及設(shè)于兩個(gè)充氣閥之間的流量計(jì)；所述抽氣鏈路包括第一鏈路、第二鏈路；所述壓力...該專利屬于北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司授權(quán)不得商用。