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下載半導體層中的缺陷消除方法的技術資料

文檔序號：8272355

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本發明涉及一種半導體層中的缺陷消除方法，一種消除與將原子物種注入到被轉移到受主襯底（2）上的半導體層（10）中相關的缺陷的方法，其中，半導體層（10）通過熱傳導率低于被轉移半導體層（10）的熱傳導率的層（3，3’）而與受主襯底（2）絕熱，所...
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