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下載制備非極性A面GaN薄膜的方法的技術資料

文檔序號：8272339

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本發明提供了一種制備非極性GaN薄膜的方法。該方法包括：在襯底表面制備A面ZnO緩沖薄膜；在制備的A面ZnO緩沖薄膜上制備非極性GaN薄膜。本發明中，ZnO緩沖層能夠協調GaN和襯底之間的晶格失配和熱失配，從而極大的提高了制備的非極性GaN...
該專利屬于中國科學院半導體研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院半導體研究所授權不得商用。

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